JPS62150110A - レ−ザスペツクル歪計測装置 - Google Patents
レ−ザスペツクル歪計測装置Info
- Publication number
- JPS62150110A JPS62150110A JP29039885A JP29039885A JPS62150110A JP S62150110 A JPS62150110 A JP S62150110A JP 29039885 A JP29039885 A JP 29039885A JP 29039885 A JP29039885 A JP 29039885A JP S62150110 A JPS62150110 A JP S62150110A
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- Japan
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- speckle
- laser
- laser beam
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、セラミックスやＣＦＲＰ等の新素材について
の強度実験における歪計測、タービン翼やエンジン等に
ついての強度実験における歪計測、ボイラや橋梁さらに
は船舶等の各種構造物における歪計測などに用いられる
レーザスペックル歪計測装置に関する。
の強度実験における歪計測、タービン翼やエンジン等に
ついての強度実験における歪計測、ボイラや橋梁さらに
は船舶等の各種構造物における歪計測などに用いられる
レーザスペックル歪計測装置に関する。
第２図は従来のレーザスペックル歪計測装置の構成を示
す図である。第２図中、ｌは試液片であり、上端を固定
治具２により固定されている。３は上記試験片１の下端
に取付けられ上記試験片１に荷重をかけるための重りで
ある。４はコンピュータなどの演算制御器であり、後述
するイメージセンサ１３の出力信号を受信し相互相関関
数を算出し、スペックル移動々どを演算制御するもので
ある。５は入出力装置であり、演算制御器４の操作およ
び演算結果の表示などを行なう装置である。６．７は第
１．第２のレーザ光源であり、これらは通常０．６３２
８μｍの波長のレーザ光を発生するＨｅ −Ｎｅレーザ
などが用いられる。８．９は第１．第２の平面鏡であり
、前記レーザ光源６，７から発したレーザ光線を試験片
１上の測定点Ｐに対し法線とθなる角度をもって照射す
るものとなっている。１０はレーザ用電源であり、一対
の固体素子リレー１１．１２を介して前記レーザ光源６
．１へ電力を供給する。固体素子リレー１１．１２は演
算制御器４により制御されて電源ＩＱからの電力の通電
、シゃ断を行なうスイッチング機能を有している。
す図である。第２図中、ｌは試液片であり、上端を固定
治具２により固定されている。３は上記試験片１の下端
に取付けられ上記試験片１に荷重をかけるための重りで
ある。４はコンピュータなどの演算制御器であり、後述
するイメージセンサ１３の出力信号を受信し相互相関関
数を算出し、スペックル移動々どを演算制御するもので
ある。５は入出力装置であり、演算制御器４の操作およ
び演算結果の表示などを行なう装置である。６．７は第
１．第２のレーザ光源であり、これらは通常０．６３２
８μｍの波長のレーザ光を発生するＨｅ −Ｎｅレーザ
などが用いられる。８．９は第１．第２の平面鏡であり
、前記レーザ光源６，７から発したレーザ光線を試験片
１上の測定点Ｐに対し法線とθなる角度をもって照射す
るものとなっている。１０はレーザ用電源であり、一対
の固体素子リレー１１．１２を介して前記レーザ光源６
．１へ電力を供給する。固体素子リレー１１．１２は演
算制御器４により制御されて電源ＩＱからの電力の通電
、シゃ断を行なうスイッチング機能を有している。
イメージセンサ１３は測定点Ｐの法線上であって、かつ
測定点ＰからＬｏなる距離だけ離れた位置に設置されて
いる。
測定点ＰからＬｏなる距離だけ離れた位置に設置されて
いる。
第３図は第２図に示した装置による測定原理を示す図で
ある。第３図において、Ｓはレーザ光源、Ｍは物体面、
Ｎはスペックル観測面、を示している。上記物体面Ｍば
ｘ−７面上にあり、レーザ光線入射面はｘ−ｚ面上にあ
り、スペックル観測面ＮはＸ−Ｙ面上にある。
ある。第３図において、Ｓはレーザ光源、Ｍは物体面、
Ｎはスペックル観測面、を示している。上記物体面Ｍば
ｘ−７面上にあり、レーザ光線入射面はｘ−ｚ面上にあ
り、スペックル観測面ＮはＸ−Ｙ面上にある。
第３図に示すように、レーザ光源Ｓから発した光は測定
点Ｐで２方向に反射し、その反射光のビーム径に対し十
分大きな距離り。たけ離れた位置にある観測面Ｎに達す
る。観測面Ｎ上に生じたスペックルはイメージセンサ１
３で検出される。測定点Ｐの並進ベクトルを（ａｘ、ａ
アｌ ’ ｚ ） １回転ベクトルを（Ω工、Ωア、Ω
２）、歪をεＸＸとすれば、上記観測面ＮでのＸ方向の
ス４ ツクル移動Ａ工は次式で与えられる。
点Ｐで２方向に反射し、その反射光のビーム径に対し十
分大きな距離り。たけ離れた位置にある観測面Ｎに達す
る。観測面Ｎ上に生じたスペックルはイメージセンサ１
３で検出される。測定点Ｐの並進ベクトルを（ａｘ、ａ
アｌ ’ ｚ ） １回転ベクトルを（Ω工、Ωア、Ω
２）、歪をεＸＸとすれば、上記観測面ＮでのＸ方向の
ス４ ツクル移動Ａ工は次式で与えられる。
−Ｌ０［ｇｘｘｓｉｎθ−Ωｙ（ｃｏｓ＃、＋１ ）
） ・”（１）ただし、Ｌ、は入射ビームの波面の
曲率半径、θはレーザ光線の入射角である。
） ・”（１）ただし、Ｌ、は入射ビームの波面の
曲率半径、θはレーザ光線の入射角である。
なお、スペックル移動ＡｘＦｉ、例えば観測面ＮのＸ方
向に置いた一次元イメージセ／すにより測定した物体変
形前後のスペックル模様の相互相関関数のピーク位置か
ら容易に求めることができる。
向に置いた一次元イメージセ／すにより測定した物体変
形前後のスペックル模様の相互相関関数のピーク位置か
ら容易に求めることができる。
歪εＸＸを求めるには、次のようにする。上記（１）式
の関係よりレーザ光線の入射角θおよび（−〇）につい
て、スペックル移ｗＪＡ！（θ）とＡｘ（−のを測定し
、その差ΔＡｘすなわち ΔＡｘ＝ＡＸ（θ）−Ａｘ（−〇） ＝” Ｌｏ ’ｚｚ ｓｉｎθ −・−（２
）を算出する。そうすると、 となる。したがって、スペックル移動の差ΔＡｘを求め
て、第（３）式より歪を算出すればよい。
の関係よりレーザ光線の入射角θおよび（−〇）につい
て、スペックル移ｗＪＡ！（θ）とＡｘ（−のを測定し
、その差ΔＡｘすなわち ΔＡｘ＝ＡＸ（θ）−Ａｘ（−〇） ＝” Ｌｏ ’ｚｚ ｓｉｎθ −・−（２
）を算出する。そうすると、 となる。したがって、スペックル移動の差ΔＡｘを求め
て、第（３）式より歪を算出すればよい。
次に測定の手順を第２図について具体的に説明する。
０）試験片１の変形前のスペックル模様の光強度分布測
定を行なうべく、先ず、演算制御器４により第１の固体
素子リレー１ノを通電状態となし、第１のレーザ光源６
だけを作動させ、レーザ光線を平面′ａ８を介して測定
点Ｐに照射する。スペックル模様をイメージセンサ１３
で検出し、演算制御器４に記憶させる。この場合のスペ
ックル模様をＩ 、 （Ｘ）とする。
定を行なうべく、先ず、演算制御器４により第１の固体
素子リレー１ノを通電状態となし、第１のレーザ光源６
だけを作動させ、レーザ光線を平面′ａ８を介して測定
点Ｐに照射する。スペックル模様をイメージセンサ１３
で検出し、演算制御器４に記憶させる。この場合のスペ
ックル模様をＩ 、 （Ｘ）とする。
０次に、演算制御器４により、第２の固体素子リレー１
２を通電状態となし、第２のレーザ光源７だけを作動さ
せ、レーザ光線を平面鏡９を介して測定点Ｐに照射する
。そして、スペックル模様をイメージセンサ１３で検出
し、演算制御装置４に記憶させる。この場合のスペック
ル模様をｒ’、（ｘ）とする。
２を通電状態となし、第２のレーザ光源７だけを作動さ
せ、レーザ光線を平面鏡９を介して測定点Ｐに照射する
。そして、スペックル模様をイメージセンサ１３で検出
し、演算制御装置４に記憶させる。この場合のスペック
ル模様をｒ’、（ｘ）とする。
■試験片１の変形後のスペックル模様の光強度分布測定
を行なうべく試験片１が変形したあと、上記■と同様に
して、スペックル模様工２（ｙ：Ｊを演算制御器４に記
憶させる。
を行なうべく試験片１が変形したあと、上記■と同様に
して、スペックル模様工２（ｙ：Ｊを演算制御器４に記
憶させる。
■上記■と同じ状態にある試験片１について、上記■と
同様にして、スペックル模様ｒ′２（ｘ）を演算制御器
４に記憶させる。
同様にして、スペックル模様ｒ′２（ｘ）を演算制御器
４に記憶させる。
■上記■ないし■で測定した試験片１の変形前後でのス
（ツクル模様Ｉ 、（Ｘ）とｒ’ （ｘ） 、およびＩ
２ （Ｘ）とＩ’２（Ｘ）を用いて、それぞれの相互
相関関数を演算制御器４で算出させ、そのピーク値より
、スペックル移動Ａｘ（θ）およびＡｘ（−〇）を求め
る。
（ツクル模様Ｉ 、（Ｘ）とｒ’ （ｘ） 、およびＩ
２ （Ｘ）とＩ’２（Ｘ）を用いて、それぞれの相互
相関関数を演算制御器４で算出させ、そのピーク値より
、スペックル移動Ａｘ（θ）およびＡｘ（−〇）を求め
る。
■上記■のスペックル移動ＡＸ（θ）およびＡｘ（−〇
）から、スペックル移動の差ΔＡＸおよび第（３）式の
’ＸＸすなわち、 を演算制御器４に計算させ、その結果を入出力装置５に
て表示する。
）から、スペックル移動の差ΔＡＸおよび第（３）式の
’ＸＸすなわち、 を演算制御器４に計算させ、その結果を入出力装置５に
て表示する。
以上述べたように、第２図の装置によれば試験片１にス
トレンダ−ジム格子などを貼りつけることなく、レーザ
光線を照射することにより自然に発生するスＲツクルを
利用して、歪を非接触方式で計測可能な特徴がある。
トレンダ−ジム格子などを貼りつけることなく、レーザ
光線を照射することにより自然に発生するスＲツクルを
利用して、歪を非接触方式で計測可能な特徴がある。
しかるに上述した従来のレーザスペックル歪計測装置で
は、歪を測定するのに、物体の変形前後でレーザ光線を
交互に切換えて照射する必要がある。したがって振動歪
など高速度で変化する歪の計測への適用が困難であると
いう問題があった。
は、歪を測定するのに、物体の変形前後でレーザ光線を
交互に切換えて照射する必要がある。したがって振動歪
など高速度で変化する歪の計測への適用が困難であると
いう問題があった。
そこで本発明は、振動歪などの高速度で変化する歪をも
計測可能なレーザスペックル歪計測装置を提供すること
を目的とする。
計測可能なレーザスペックル歪計測装置を提供すること
を目的とする。
〔問題点を解決するための手段および作用〕本発明は上
記問題点を解決し目的を達成するために１次の如き手段
を講じたことを特徴としている。
記問題点を解決し目的を達成するために１次の如き手段
を講じたことを特徴としている。
（１）第１．第２の二つのレーザ光源から、例えば赤色
と青色といった波長の異なる第１．第２のレーザ光線を
出射させ、これを物体の表面へ、正負同一の入射角θ、
−〇で照射する。
と青色といった波長の異なる第１．第２のレーザ光線を
出射させ、これを物体の表面へ、正負同一の入射角θ、
−〇で照射する。
（２）物体表面から法線方向へ反射した第１のレーザ光
線と第２のレーザ光線との合成レーザ反射光をビームス
プリッタで二方向に分割する。
線と第２のレーザ光線との合成レーザ反射光をビームス
プリッタで二方向に分割する。
（３）分割された一方の光に含まれる前記第１のレーザ
光線のみを第１のフィルタで透過抽出する。
光線のみを第１のフィルタで透過抽出する。
（４）第１のフィルタで透過抽出した第１のレーザ光線
のスペックルを、第１のスペックル検出器で検出する。
のスペックルを、第１のスペックル検出器で検出する。
（５）前記ビームスプリッタで分割された他方の光に含
まれる前記第２のレーザ光線のみを、第２のフィルタで
透過抽出する。
まれる前記第２のレーザ光線のみを、第２のフィルタで
透過抽出する。
（６）第２のフィルタで透過抽出した第２のレーザ光を
、測定点からの距離が前記第１のスペックル検出器と等
距離に配置された第２のスペックル検出器で検出する。
、測定点からの距離が前記第１のスペックル検出器と等
距離に配置された第２のスペックル検出器で検出する。
（７）第１．第２のスペックル検出器で検出したスペッ
クルの移ａｌの差に基いて前記物体における歪の変化を
演算手段によシ算出する。
クルの移ａｌの差に基いて前記物体における歪の変化を
演算手段によシ算出する。
第１図は本発明の一実施例を示す図である。
なお第２図と同一部分には同一符号を付してある。
第１図において、２１．２２は第１．第２のレーザ光源
である。第１のレーザ光源２１は、例えばＨｅ−Ｎｏレ
ーザであシ、赤色（波長０．６３２８μｍ）の第１のレ
ーザ光線を発生する。この第１のレーザ光線は平面鏡８
′ｔ−介して試験片１上の測定点Ｐへ入射角度θで照射
する。第２のレーザ光源２２は、例えばＡｒレーザであ
シ、青色（波長０．４８８０μｍ）の第２のレーザ光線
を発生する。この第２のレーザ光線は平面鏡９を介して
試験片１上の測定点Ｐへ入射角度−〇で照射する。
である。第１のレーザ光源２１は、例えばＨｅ−Ｎｏレ
ーザであシ、赤色（波長０．６３２８μｍ）の第１のレ
ーザ光線を発生する。この第１のレーザ光線は平面鏡８
′ｔ−介して試験片１上の測定点Ｐへ入射角度θで照射
する。第２のレーザ光源２２は、例えばＡｒレーザであ
シ、青色（波長０．４８８０μｍ）の第２のレーザ光線
を発生する。この第２のレーザ光線は平面鏡９を介して
試験片１上の測定点Ｐへ入射角度−〇で照射する。
３０はビームスプリッタであシ、測定点Ｐの法線上に設
置され、測定点Ｐからの合成されたレーザ反射光の一部
を透過し、他の一部を直角方向に反射することによシ、
二分割する。３１は第１のフィルタであシ、上記ビーム
スグリツタ透過光のうち、例えば赤色の第１のレーザ光
のみ全透過抽出し、第１のスペックル検出器であるイメ
ージセンサ４１へ入射させる。３２は第２のフィルタで
あり、上記ビームスグリツタ反射光のうち、例えば青色
の第２のレーザ光のみを透過抽出し、第２のスペックル
検出器でちるイメージセンサ４２へ入射させる。第１．
第２のイメージセンサ４１，４２は測定点Ｐからいずれ
もＬｏだけ離れた位置に配置され、スペックル模様の光
強度分布全検出し、それぞれ演算制御器４へ送信する。
置され、測定点Ｐからの合成されたレーザ反射光の一部
を透過し、他の一部を直角方向に反射することによシ、
二分割する。３１は第１のフィルタであシ、上記ビーム
スグリツタ透過光のうち、例えば赤色の第１のレーザ光
のみ全透過抽出し、第１のスペックル検出器であるイメ
ージセンサ４１へ入射させる。３２は第２のフィルタで
あり、上記ビームスグリツタ反射光のうち、例えば青色
の第２のレーザ光のみを透過抽出し、第２のスペックル
検出器でちるイメージセンサ４２へ入射させる。第１．
第２のイメージセンサ４１，４２は測定点Ｐからいずれ
もＬｏだけ離れた位置に配置され、スペックル模様の光
強度分布全検出し、それぞれ演算制御器４へ送信する。
このように構成された本装置は次のように作動する。
（１）試験片１の変形前のスペックル模様の光強度分布
測定を行なうべく、第１のレーザ光源すなわちＨｃ −
Ｎ ａレーザ光源２１を作動させ、発生した赤色の第１
のレーザ光線を平面鏡８に介して測定点Ｐに照射すると
同時に、第２のレーザ光源すなわちＡｒレーザ光源２２
を作動させ、発生した第２のレーザ光線を平面鏡９を介
して測定点Ｐに照射する。そうすると測定点Ｐから赤色
と青色とが混りた合成レーザ反射光が法線方向に反射す
る。この反射光はビームスプリッタ３Ｑで二分割される
。二分割された一方の光つまシビームスグリッタ透過光
は、第１のフィルタ３１によシ赤色光だけつまシ第１の
レーザ光線だけが透過抽出され、第１のイメージセンサ
４１に到達する。かくしてそのスペックル模様すなわち
赤色レーザ光のスペックルの光強度分布が検出され、演
算制御器４に記憶される。
測定を行なうべく、第１のレーザ光源すなわちＨｃ −
Ｎ ａレーザ光源２１を作動させ、発生した赤色の第１
のレーザ光線を平面鏡８に介して測定点Ｐに照射すると
同時に、第２のレーザ光源すなわちＡｒレーザ光源２２
を作動させ、発生した第２のレーザ光線を平面鏡９を介
して測定点Ｐに照射する。そうすると測定点Ｐから赤色
と青色とが混りた合成レーザ反射光が法線方向に反射す
る。この反射光はビームスプリッタ３Ｑで二分割される
。二分割された一方の光つまシビームスグリッタ透過光
は、第１のフィルタ３１によシ赤色光だけつまシ第１の
レーザ光線だけが透過抽出され、第１のイメージセンサ
４１に到達する。かくしてそのスペックル模様すなわち
赤色レーザ光のスペックルの光強度分布が検出され、演
算制御器４に記憶される。
この場合のスペックル模様を工１００とする。前記二分
割された他方の光つまシビームスゾリッタ反射光は、第
２のフィルタ３２によシ青色光だけつまシ第２のレーザ
光線だけ透過抽出され、第２のイメージセンサ４２に到
達する。かくしてそのスペックル模様すなわち青色レー
ザ光のスペックルの光強度分布が検出され、演算制御器
４に記憶される。この場合のスペックル模様全Ｉ’、（
Ｘ）とする。
割された他方の光つまシビームスゾリッタ反射光は、第
２のフィルタ３２によシ青色光だけつまシ第２のレーザ
光線だけ透過抽出され、第２のイメージセンサ４２に到
達する。かくしてそのスペックル模様すなわち青色レー
ザ光のスペックルの光強度分布が検出され、演算制御器
４に記憶される。この場合のスペックル模様全Ｉ’、（
Ｘ）とする。
（２ン 試験片１の変形後のスペックル模様の光強度
分布を測定すべく試験片１が変形したあと、上記（１）
と同様にして、第１のイメージセンサ４１により、検出
した赤色レーザ光のスペックル模様工２００を演算制御
器４に記憶させるのと同時に、第２のイメージセンサ４
２によシ検出した青色レーザ光のスペックル模様工達虎
演算制御器４に記憶させる。
分布を測定すべく試験片１が変形したあと、上記（１）
と同様にして、第１のイメージセンサ４１により、検出
した赤色レーザ光のスペックル模様工２００を演算制御
器４に記憶させるのと同時に、第２のイメージセンサ４
２によシ検出した青色レーザ光のスペックル模様工達虎
演算制御器４に記憶させる。
（３） 上記（１）及び（２）で測定した試験片１の
変形前後でのスペックル模様Ｉ、００と工′、（３）、
および工２（３）とＩ′２００を用いて、それぞれの相
互相関関数を演算制御器４で算出し、そのピーク値よシ
、スペックル移動Ａｘ（の及びＡｘ（−〇）を求める。
変形前後でのスペックル模様Ｉ、００と工′、（３）、
および工２（３）とＩ′２００を用いて、それぞれの相
互相関関数を演算制御器４で算出し、そのピーク値よシ
、スペックル移動Ａｘ（の及びＡｘ（−〇）を求める。
（４）上記（３）のスペックル移ｗＪＡｘ（θ）及びＡ
ｘ（−〇）から、スペックル移動の差ΔＡＸ及び第（３
）式のεｘｘすなわち ？演算制御器４で計算して、その結果を入出力装置５に
表示する。
ｘ（−〇）から、スペックル移動の差ΔＡＸ及び第（３
）式のεｘｘすなわち ？演算制御器４で計算して、その結果を入出力装置５に
表示する。
以上の如く１本装置によれば、従来の装置のように、２
方向からのレーザ光線照射を交互に変える必要がない。
方向からのレーザ光線照射を交互に変える必要がない。
なお１本発明は前記実施例に限定されるものではない。
たとえば前記実施例ではスペックル詩測定するようにし
てもよい。このほか本発明の要旨を逸脱しない範囲で種
々変形実施可能であるのは勿論である。
てもよい。このほか本発明の要旨を逸脱しない範囲で種
々変形実施可能であるのは勿論である。
本発明によれば、二方向からのレーザ光線の照射切換え
が不要なので、従来のレーザスペックル歪計測装置では
計測できなかった振動歪などの高速度で変化する歪をも
計測することができ、適用範囲が広〈産業上の利用価値
の高いレーザスペックル歪計測装置全提供できる。
が不要なので、従来のレーザスペックル歪計測装置では
計測できなかった振動歪などの高速度で変化する歪をも
計測することができ、適用範囲が広〈産業上の利用価値
の高いレーザスペックル歪計測装置全提供できる。
第１図は本発明の一実施例の構成を示す図である。第２
図は従来例の構成を示す図、第３図は第２図に示す装置
の歪計測原理を示す図である。 １・・・試験片、２・・・固定治具、３・・・重シ、４
・・・演算制御器（コンピュータ）、５・・・入出力装
置。 ６．７・・・レーザ光源、８，９・・・平面鏡、２１゜
２２・・・第１．第２のレーザ光源、３０・・・ビーム
スプリッタ、３１．３２・・・第１．第２のフィルタ、
４１．４２−・・第１．第２のイメーゾセンサ（スペッ
クル検出器）。 出願人復代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図
図は従来例の構成を示す図、第３図は第２図に示す装置
の歪計測原理を示す図である。 １・・・試験片、２・・・固定治具、３・・・重シ、４
・・・演算制御器（コンピュータ）、５・・・入出力装
置。 ６．７・・・レーザ光源、８，９・・・平面鏡、２１゜
２２・・・第１．第２のレーザ光源、３０・・・ビーム
スプリッタ、３１．３２・・・第１．第２のフィルタ、
４１．４２−・・第１．第２のイメーゾセンサ（スペッ
クル検出器）。 出願人復代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 物体の表面へ正、負同一の入射角で二方向から波長の異
なる第１、第２のレーザ光線をそれぞれ照射する第１、
第２のレーザ光源と、この第１、第２のレーザ光源から
発した第１、第２のレーザ光線による前記物体表面から
法線方向に反射した合成レーザ反射光を二方向に分割す
るビームスプリッタと、このビームスプリッタにて分割
された一方の光に含まれる前記第１のレーザ光線のみを
透過する第１のフィルタと、この第１のフィルタを透過
した第１のレーザ光線のスペックルを検出する第１のス
ペックル検出器と、前記ビームスプリッタにて分割され
た他方の光に含まれる前記第２のレーザ光線のみを透過
する第２のフィルタと、この第２のフィルタを透過した
第２のレーザ光線のスペックルを検出する第２のスペッ
クル検出器と、前記第１、第２のスペックル検出器でそ
れぞれ検出された光のスペックル移動量の差に基いて前
記物体における歪の変化を算出する演算手段とを具備し
たことを特徴とするレーザスペックル歪計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29039885A JPS62150110A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | レ−ザスペツクル歪計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29039885A JPS62150110A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | レ−ザスペツクル歪計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62150110A true JPS62150110A (ja) | 1987-07-04 |
| JPH0566963B2 JPH0566963B2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=17755492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29039885A Granted JPS62150110A (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 | レ−ザスペツクル歪計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62150110A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6188483B1 (en) | 1997-12-03 | 2001-02-13 | Dr. Ettemeyer Gmbh & Co. | Method and apparatus for determining deformation and elongation on curved bodies |
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| US7950841B2 (en) * | 2005-02-23 | 2011-05-31 | Air Liquide Industrial U.S. Lp | Concrete cooling injection unit and method of injecting a coolant into a concrete mixture |
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-
1985
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0566963B2 (ja) | 1993-09-22 |
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