JP2022523492A - モアレターゲット及びそれを用い半導体デバイスの位置ずれを計測する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願では、「専有面積低減及びインダイ計測用モアレインボックスオーバレイマークデザイン」(MOIRE IN BOX OVERLAY MARK DESIGN FOR REAL ESTATE REDUCTION AND IN DIE MEASUREMENTS)と題する2019年1月28日付米国仮特許出願第62/797484号を参照し、その開示内容を参照により本願に繰り入れると共に、それに基づく優先権を本願にて主張することとする。
F=Q/|P-Q| (等式1)
にて定義される因数F倍に大きくなる。なお、Pは第1周期構造のピッチ、Qは第2周期構造のピッチである。
M=P×Q/|P-Q| (等式2)
にて定義されている通り、ピッチP及びQにより定まる。
Claims (35)
- 半導体デバイス製造に際し位置ずれの光学計測に用いられるターゲットであって、
半導体デバイスの第1層上に形成されておりある軸に沿い第1ピッチを呈する第1周期構造と、
前記半導体デバイスの第2層上に形成されており前記軸に沿い第1ピッチとは異なる第2ピッチを呈する第2周期構造であり、その軸に沿い第1周期構造を越え張り出している第2周期構造と、
を備えるターゲット。 - 請求項1に記載のターゲットであって、第1ピッチ及び第2ピッチがそれぞれ2000nm未満であるターゲット。
- 請求項1に記載のターゲットであって、第1ピッチ及び第2ピッチがそれぞれ650nm未満であるターゲット。
- 請求項1~3のうち何れかに記載のターゲットであって、第1ピッチ及び第2ピッチが、本ターゲットが少なくとも一通りの波長の光により照明されたときに、当該少なくとも一通りの波長より大きな第3ピッチを呈するモアレパターンをもたらすものであるターゲット。
- 請求項1~4のうち何れかに記載のターゲットであって、50μm×50μmより小さいエリアを有するターゲット。
- 請求項1~4のうち何れかに記載のターゲットであって、4μm×4μmより小さいエリアを有するターゲット。
- 請求項1~4のうち何れかに記載のターゲットであって、2μm×2μmより小さいエリアを有するターゲット。
- 請求項1~7のうち何れかに記載のターゲットであって、その形状が長方形であるターゲット。
- 請求項1~8のうち何れかに記載のターゲットであって、第2周期構造が、前記軸に沿い正反対な二方向に、第1周期構造を越え張り出しているターゲット。
- 請求項1~9のうち何れかに記載のターゲットであって、第1周期構造がライン及びライン間スペースにより画定されており、それらライン及びライン間スペースそれぞれの幅が第1ピッチの50%に等しいターゲット。
- 請求項1~9のうち何れかに記載のターゲットであって、第1周期構造がライン及びライン間スペースにより画定されており、それらラインそれぞれの幅が第1ピッチの10%~90%であるターゲット。
- 請求項10又は11に記載のターゲットであって、第1周期構造の各ラインが複数本のサブライン及びサブライン間サブスペースにより画定されているターゲット。
- 請求項12に記載のターゲットであって、第1周期構造のサブライン及びサブライン間サブスペースのピッチが約12nm~50nmであるターゲット。
- 請求項1~13のうち何れかに記載のターゲットであって、第2周期構造がライン及びライン間スペースにより画定されており、それらライン及びライン間スペースそれぞれの幅が第2ピッチの50%に等しいターゲット。
- 請求項1~13のうち何れかに記載のターゲットであって、第2周期構造がライン及びライン間スペースにより画定されており、それらラインそれぞれの幅が第2ピッチの10%~90%であるターゲット。
- 請求項14又は15に記載のターゲットであって、第2周期構造の各ラインが複数本のサブライン及びサブライン間サブスペースにより画定されているターゲット。
- 請求項16に記載のターゲットであって、第2周期構造のサブライン及びサブライン間サブスペースのピッチが約12nm~50nmであるターゲット。
- 半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、
少なくとも第1層及び第2層を備える多層半導体デバイスを準備し、但しそのデバイスを、
第1層上に形成されておりある軸に沿い第1ピッチを呈する第1周期構造、並びに
第2層上に形成されており前記軸に沿い第1ピッチとは異なる第2ピッチを呈する第2周期構造であり、その軸に沿い第1周期構造を越え張り出している第2周期構造、
が備わるターゲットを備えるものとし、
少なくとも一通りの波長の光で以て前記ターゲットを照明することで、第3ピッチにより特徴付けられるモアレパターンをもたらし、且つ
前記モアレパターンの分析を実行することで、前記軸沿いでの第1層及び第2層の位置ずれを確認する半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。 - 請求項18に記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、前記ターゲットのエリアが50μm×50μmよりも小さい半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18に記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、前記ターゲットのエリアが4μm×4μmよりも小さい半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18に記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、前記ターゲットのエリアが2μm×2μmよりも小さい半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18~21のうち何れかに記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、前記ターゲットの形状が長方形である半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18~22のうち何れかに記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第2周期構造が、前記軸に沿い正反対な二方向に、第1周期構造を越え張り出している半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18~23のうち何れかに記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第1ピッチ及び第2ピッチそれぞれが前記少なくとも一通りの波長よりも小さい半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18~24のうち何れかに記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第3ピッチが前記少なくとも一通りの波長よりも大きい半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18~23のうち何れかに記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第1ピッチ及び第2ピッチそれぞれが前記少なくとも一通りの波長よりも大きい半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18~26のうち何れかに記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第1周期構造がライン及びライン間スペースにより画定されており、第1周期構造のライン及びライン間スペースそれぞれの幅が第1ピッチの50%に等しい半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18~26のうち何れかに記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第1周期構造がライン及びライン間スペースにより画定されており、第1周期構造のラインそれぞれの幅が第1ピッチの10%~90%である半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項27又は28に記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第1周期構造の各ラインが複数本のサブライン及びサブライン間サブスペースにより画定されている半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項29に記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第1周期構造のサブライン及びサブライン間サブスペースのピッチが約12nm~50nmである半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18~30のうち何れかに記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第2周期構造がライン及びライン間スペースにより画定されており、第2周期構造のライン及びライン間スペースそれぞれの幅が第2ピッチの50%に等しい半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18~30のうち何れかに記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第2周期構造がライン及びライン間スペースにより画定されており、第2周期構造のラインそれぞれの幅が第2ピッチの10%~90%である半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項31又は32に記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第2周期構造の各ラインが複数本のサブライン及びサブライン間サブスペースにより画定されている半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項33に記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、第2周期構造のサブライン及びサブライン間サブスペースのピッチが約12nm~50nmである半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
- 請求項18~34のうち何れかに記載の半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法であって、
第2周期構造が第1対称中心により特徴付けられており、
前記ターゲットの前記照明によりそのターゲットから信号がもたらされ、その信号が前記モアレパターンに起因する正弦波的変化を呈しており、その正弦波的変化が第2対称中心により特徴付けられており、且つ
前記モアレパターンの前記分析による前記軸沿いでの第1層及び第2層の位置ずれの確認が、第1対称中心及び第2対称中心の所在個所の比較を含むものである半導体デバイス製造時位置ずれ計測方法。
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