SU620513A1 - Катодный узел - Google Patents

Description

(54) КАТОДНЫЙ УЗЕЛ

Изобретение относитс  к области нанесени  покрытий в вакууме и может найти применение при изготовлении тонкопленочных покрытий сложного состава .

Известна конструкци  катоднот узла, Где катод вьтолнен из сплава соответствующих материалов flj .

Недостатком такого устройства  вл етс  то, что не всегда можно приготовит сплав из необходимых исходных материалов .

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущно,сти  вл етс  катодный узел преимущественно дл  нанесени  многокомпонентных покрытий катодньм распылением , содержащий водоохлаждаемое основание с размещенньми на нем мишен ми из основного и легирующих MQTepitaлов .

Цель изобретени  - обеснечеине ЕЮЗможиости регутиронани  состава покрыти 

Это достигаетс  тем, что в като ном узле преимущественно дч  нанесе1Н1  многокомпонентных покрытий катодным

распылением, содержащего вопоохлаждаемое основание с размещенными на нем ми шен ми из основного и легирующих материалов , мишень из основного материала выполнена в г.иде двух перфорированных пластин, установленных с возможностью перемещени  относительно друг друга над мишенью из ле1-ирующего материала.

На чертеже представлена конструкци 

катодного узла.

Мишень 1 из легирующего материала, например хрома, размещена на охлажденном основании 2, мишени 3 и 4 вьтолнены из основного материала. В них сделаны расположенные в шахматном пор дке отверсти , мишени 1 и 3 неподвижны, а MHUJfeHb 4 может перемещатьс  за счет

Claims (2)

1. жесткого прикрепленного к ней стержн  5. Дл  устранени  вли ни  границ мииени 4 на состав покрьти  используетс  кв-арцевый экран 6 с отве х:тием. Стержень 5 защищен от распылени  м таллическим экраном 7. Устройство работает следующим образом . Когда отверсти  в мишен х 3 и 4 полностью совпадают, идет совместное растыление основного и легируюшего материалов. При этом содержание легиру ршего материала в покрытии  вл етс  наибольшим. По мере движени  мишени 4 отверсти  в мишени 3 закрываютс Площадь распылени  мишени 1 из легирую щего материала уменьшаетс , соответств но уменьшает с  содержание легирующего материала в локрытии. Когда мишень 4 сместитс , все отверсти  в мишени 3 будут полностью закрыты и будет распыл тьс  только мишень из основного материала. Предлагаемый катодный узел может найти применение при изготовлении различных тонкопленочных приборов,например в микроэлектронике при создании полупроводниковых приборов, когда необходимо иметь покрыти  сложного состава с изменением процентного содержани  легирующей примеси по толщине покрьцти . Формула изобретени  Катодный узел, преимущественно дл  нанесени  многокомпонентных покрытий катодным распылением, содержащий водоохлаждаемое основание с размещенными на нем мишен ми из основного и легирующих материалов, о т л и ч а ю u и и с   тем, что, с целью обеспечени  возможности регулировани  состава покрыти , мишень из основного материала выполнена в виде двух перфорированных пластин, установленных с возможностью перемещени  относительно друг друга над мишенью из легирующего материала. Источники информации, прин тые во вниманиеПри экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 491734, С 23 С 15/00, 1975.
2. 2.Патент ФРГ Nt 1515314, кл. С 23 С 15/ОО, 1973.

   / // / // II II If II

   II /Л о II и М

   рт