SU597246A1 - Электродуговой испаритель металлов - Google Patents

Description

Изобретение от}1оснтс  к технике нанесени  металлических покрьтг-й в вакуумвр может быть использонг с ь качестве экспериментальь от о ичч технологического оборудовани  дл  получени  покрытий, в частности, на поверхности труб

Известен электродуговой испарител металлов, содержащий анод, полый цилиндрический катод, охватывающий его соленоид, механизм осевого перемеыени  катодного п тна ij .

Этот испаритель малонадежен из-за сложности конструкции,

Цель изобретени  - упрощение устройства .

Это достигаетс  тем, что со сторонй торцов катода установлены ;.атчики крайнего положени  катодного п тна в виде кольцевых электродов, соединенных с механизмом осевого перемещени  катодного п тна, который содержит токопровод щую шину., установленную снаружи катода параллельно его оси о

На чертеже схематически изображен электродуговой испаритель металлов,

Полый цилиндрический катод 1 изготовлен из испар емого метал.-;а. Анодом 2  вл етс  напыл емое изделие о

сне с HiSM распело 1на которого Oi.ibm

катода расположен а 4 , В Гцилиндричесвченной катодом, в

кой полости f огоа;непссредстнекной 6 лкэости от его торпьпевые электроды UOB уСгаиэЕленн Io и 6, шина и Электр оды соед -;нены с выходом блока 7 пита нк , У тораа катод аее устройство 8, Dan:. noji-Si-irac Испаритель т в .ный объе ( ь:а чертеже не пек азан), в котором с качки создают разvioMCLiibio сисхе --;.у от режение 1 10 ьт р

Т г с т с

ОДУ 2 подвод т пиК катоду 1 и ан посто нного тока танке от источника Соленоид 3 подклюнапр жен11ем 60 В„ итани , создающему чают к источнику п итного пол  30-60 напр женность мггк В магнитном поле с оленоида катодное с   S направлении, п тно дуги Еращгет лини м пол , т,е нормальном силоЕь:. по окр уж н о с т и, П р и пропускании по шине 4 тока в 50-200 Д. на поверхности катода вблизи шины по вл етс  составльна  полю солел юи (ЗЯ пол , норма HOHj.a . В результа те силовые линии пол  в районе проз одника с током ис дное п тно мещаетKp iS л ;:ЮТСЯ : К НТО

с  вдоль оси. Шаг .смещени  зависит от силы тока в шине напр женности магнитного пол  соленоида катода, рассто ни  между поверхностью испарени  катода и токопровод щей шины„ Дл  того, чтобы катодное п тно дуги могло двигатьс  в разных направлени х, на катода установлены датчики крайнего его положени  - кольцевые электроды 5 и б. Когда катодное п тно достигает конца катода, соответствую щий кольцевой электрод выдает сигнал на блок питани . Направление тока Б .цепи шины 4 мен етс  на противоположное , и катодное п тно дуги начинает двигатьс  обратно.

Claims (1)

1., Патент США If- 3694691 кл. 315-108, .1970,

А

CZ3--

..™„ч.