SU574776A1 - Диэлектрический состав дл межслойной изол ции - Google Patents
Диэлектрический состав дл межслойной изол цииInfo
- Publication number
- SU574776A1 SU574776A1 SU7602371057A SU2371057A SU574776A1 SU 574776 A1 SU574776 A1 SU 574776A1 SU 7602371057 A SU7602371057 A SU 7602371057A SU 2371057 A SU2371057 A SU 2371057A SU 574776 A1 SU574776 A1 SU 574776A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- dielectric composition
- inter
- layer insulation
- composition
- dielectric
- Prior art date
Links
Landscapes
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
1
Изобретение касаетс диэлектрического сотава дл межслойиой изол ции и может ыть исиользовано при изготовлении толстоленочных больших гибридных интегральных хем.
Известен диэлектрический состав дл межлойной изол ции, включающий стеклоцемент ледующего соетава, вес. %:
20-38
Si02 2-20
ТЮг 0-15 PbFs 0-5 WOs 21-42 PbO 4-12 BaO 0-5 SrO 0-5 CdO 1-25 АЬОз 0-20 ZnO 0-5 Zr02 0-5 Sn02 0-5 Ta205 0-5. SbzOz затем добавл ют инертК стеклоцементу
ную св зку, содержащую 8% этилцеллюлозы и 92% р-терпеиового масла 1.
Недостатком данного состава вл етс то, что сопротивление изол ции такого стеклоцемента в составе конденсатора и термостойкость пленок на основе такого стеклоцемента недостаточна.
Известен также стеклокристаллический состав 2 дл изол ции интегральных схем, содержащий РЬО, ZnO, Si02, Ti02, в следующем соотношении, вес. %: РЬО35-50
Si0225-40
ZnO15-25
TiOa3-5
Термостойкость такого состава недостаточна , а растекаемость паст, приготовленных на его основе, превышает норму.
Прототипом изобретени вл етс диэлектрический состав 3 дл мех :слойной изол ции , включающий 50-95 вес. % ситаллоцемента и 5-50 вес. % окиси алюмини .
Недостатком этого диэлектрического состава вл ютс неудовлетворительиые электрофизические свойства изготавл емых на его основе паст.
Целью изобретени вл етс улучшение электрофизических свойств диэлектрического состава дл межслойной изол ции.
Поставленна цель достигаетс тем, что известный диэлектрический состав содержит в качестве наполнител окись кремни , окись марганца и окись хрома при следующем соотношении компонентов, вес. %:
Окись алюмини 16-24
Окись кремни 0,05-0,3
Окись марганца0,03-0,2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU7602371057A SU574776A1 (ru) | 1976-06-10 | 1976-06-10 | Диэлектрический состав дл межслойной изол ции |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU7602371057A SU574776A1 (ru) | 1976-06-10 | 1976-06-10 | Диэлектрический состав дл межслойной изол ции |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU574776A1 true SU574776A1 (ru) | 1977-09-30 |
Family
ID=20665113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU7602371057A SU574776A1 (ru) | 1976-06-10 | 1976-06-10 | Диэлектрический состав дл межслойной изол ции |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU574776A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1084716C (zh) * | 1997-02-28 | 2002-05-15 | 株式会社村田制作所 | 绝缘陶瓷组合物及其用途 |
-
1976
- 1976-06-10 SU SU7602371057A patent/SU574776A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1084716C (zh) * | 1997-02-28 | 2002-05-15 | 株式会社村田制作所 | 绝缘陶瓷组合物及其用途 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE551305T1 (de) | Dauerhafte glasemaillezusammensetzungen | |
| KR940005506A (ko) | 자외선 흡수 유리 및 이의 제조방법 | |
| JPH10510793A (ja) | 高級ガラス用のガラス化混合物 | |
| EP1701211A3 (en) | Black conductive thick film compositons, electrodes, and methods of forming thereof | |
| SU574776A1 (ru) | Диэлектрический состав дл межслойной изол ции | |
| CA2476739A1 (en) | Durable glass enamel composition | |
| JPS59174544A (ja) | 半導体被覆用ガラス | |
| JPS5594975A (en) | Low expansion powder composition for bonding use | |
| WO2001090012A1 (fr) | Composition de verre et materiau de formation de verre comprenant cette composition | |
| KR930007837A (ko) | 리드 실리케이트 유리 | |
| JPS5673646A (en) | Optical glass | |
| JPS56109836A (en) | Glass composition for bulb | |
| SU1169951A1 (ru) | Стекло | |
| GB649600A (en) | Improvements in or relating to glass solders | |
| SU787380A1 (ru) | Легкоплавкое стекло | |
| SU421643A1 (ru) | Легкоплавкое стекло | |
| SU523056A1 (ru) | Стекло дл спаивани с алюминием | |
| SU1470678A1 (ru) | Стекло | |
| JPS569246A (en) | Harmful heavy metal-free flux composition for glass coloring | |
| GB607797A (en) | Improved glass compositions | |
| RU2004508C1 (ru) | Стекло дл ситаллоцемента | |
| SU1060586A1 (ru) | Глазурь | |
| SU1675238A1 (ru) | Легкоплавкое стекло | |
| JPS5645055A (en) | Semiconductor device | |
| RU2013395C1 (ru) | Стекло |