SU546021A1 - Материал дл изготовлени тонкопленочных резисторов - Google Patents
Материал дл изготовлени тонкопленочных резисторовInfo
- Publication number
- SU546021A1 SU546021A1 SU2156759A SU2156759A SU546021A1 SU 546021 A1 SU546021 A1 SU 546021A1 SU 2156759 A SU2156759 A SU 2156759A SU 2156759 A SU2156759 A SU 2156759A SU 546021 A1 SU546021 A1 SU 546021A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- thin film
- film resistors
- making thin
- mixture
- film
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Пример 2 (дл среднего значени ) Смесь порошков (в объемных %):
Металлосилицидный 50 Муллит50
Така смесь после нспарани может дать пленку с поверхностным сопротивлением 30 ком/кв (толщина, ТКС и стабильность сопротивлени такие же, как в первом тр мере). При.мер 3 (дл максимума) Смесь порошков (в объемных %):
Металлосилицидный сплав 80 Муллит20
Эта смесь после испарени может дать пленку с 1поверх«остным сопротивлением 10 ком/кв при остальных ха.рактеристиках, раБно-ценных указанным в первом примере.
Этот материал используетс дл получени керметных плепо:к термическим испарением его |В вакууме с помош,ью обычных тариемов дл пленочной технологии. Пленки подвергают термической обработке дл стабилизации электрических характеристик. Оптимальную темлературу и длительность
обработки пленок подбирают опытным путем в зависимости от свойств подложки.
Предлагаемый материал позвол ет лолучать высокоомные резисти,вные лленки, величина старени которых примерло в восемь раз меньше, чем у известных материалов.
Claims (2)
1. Авторское Свидетельство СССР № 352319, кл. Н 01 С 7/00, 12.05.70.
2. Авторское свидетельство по за вке № 1847999/21, кл. Н 01 С 7/00, 20.11.72 (прототип ).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2156759A SU546021A1 (ru) | 1975-07-21 | 1975-07-21 | Материал дл изготовлени тонкопленочных резисторов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2156759A SU546021A1 (ru) | 1975-07-21 | 1975-07-21 | Материал дл изготовлени тонкопленочных резисторов |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU546021A1 true SU546021A1 (ru) | 1977-02-05 |
Family
ID=48228061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU2156759A SU546021A1 (ru) | 1975-07-21 | 1975-07-21 | Материал дл изготовлени тонкопленочных резисторов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU546021A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4197218A (en) * | 1977-11-21 | 1980-04-08 | Hooker Chemicals & Plastics Corp. | Electrically conductive articles |
-
1975
- 1975-07-21 SU SU2156759A patent/SU546021A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4197218A (en) * | 1977-11-21 | 1980-04-08 | Hooker Chemicals & Plastics Corp. | Electrically conductive articles |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3671913A (en) | Aging-proof humidity sensing element and method for the production thereof | |
| JPS56130374A (en) | Thermal head | |
| SU546021A1 (ru) | Материал дл изготовлени тонкопленочных резисторов | |
| CH493909A (de) | Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Schichtwiderstandes | |
| US3665599A (en) | Method of making refractory metal carbide thin film resistors | |
| US3851291A (en) | Thin film thermistor | |
| US3966578A (en) | Method of making thin film thermistor | |
| SU438050A1 (ru) | Материал дл высокоомных резисторов | |
| GB1133402A (en) | Improvements relating to stable nickel-chromium resistance films | |
| JPS5417853A (en) | Manufacture of integrated thermal heads | |
| SU385326A1 (ru) | Токопроводящий материал для металлопленочных резисторов на основе никеля | |
| SU115380A1 (ru) | Способ получени возгонкой в вакууме высокоомных тонкослойных сопротивлений | |
| SU103174A1 (ru) | Электрическое непроволочное сопротивление | |
| JPS5494696A (en) | Metal film resistor | |
| SU886328A1 (ru) | Токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей | |
| SU834778A1 (ru) | Резистивный материал | |
| US3434206A (en) | Method of manufacturing a laminated foil resistor | |
| JPS5784876A (en) | Manufacture of thermal head | |
| JPS55158549A (en) | Production of sensor | |
| JPS5524913A (en) | Formation of multi-component thin film | |
| Olson et al. | Nitrides of Chromium and Chromium‐Titanium Alloys: New Film‐Type Resistance Elements | |
| US2329038A (en) | Resistor | |
| SU607117A1 (ru) | Датчик температуры | |
| JPS558036A (en) | Electrode formation | |
| JPS55154187A (en) | Heat-sensitive head |