SU886328A1 - Токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей - Google Patents
Токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей Download PDFInfo
- Publication number
- SU886328A1 SU886328A1 SU802903996A SU2903996A SU886328A1 SU 886328 A1 SU886328 A1 SU 886328A1 SU 802903996 A SU802903996 A SU 802903996A SU 2903996 A SU2903996 A SU 2903996A SU 886328 A1 SU886328 A1 SU 886328A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electric heaters
- conducting material
- film electric
- current conducting
- film
- Prior art date
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 title description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical group CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000051 modifying effect Effects 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- -1 rare-earth salt Chemical class 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к электротехнике в частности к материалс1М Дл реэистивного нагрева, и может быть использовано дл тонкопленочных электронагревателей.
Известен токопровод щий материал дл пленочных нагревателей, содержа-, щий двуокись олова, легированную сурьмой 1.
Введение сурьмы в тонкие пленки повышает термостойкость нагревателей, однако недостаточно, чтобы исклю- . чить образование -областей с повышенной плотностью электрического тока и выгорание этих участков, что ведет к выходу из стро электронагревателей .
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей, содержащий двуокись олова и легирующие добавки 2.
Недостатком материала вл етс относительно ниэка термостойкость, критическа температура работы электронагревателей составл ет .
Цель изобретени - повышение термостойкости электронагревателей.
Указанна цель достигаетс тем, что. токопровод щий материал в качестве добавок содержит редкоземельные элементы (РЗЭ) их смеси или соединени , а компоненты вз ты в следующем соотношении, вес.%:
Редкоземельные
элементы, их смеси
или соединени 0,01-10
10
Двуокись олова Остальное
Нижн граница количественного состава вход щих в материал компонентов определ ет минимальное содержание добавок РЗЭ, их окислов или
15 гексаборидов, при котором наблюдаетс эффект увеличени термостойкости. Верхн граница определ ет то предельное содержание добавок, вьше которого наблюдаетс значительное изменение структуры, полученной из
20 предлагаемого материала пленки и понижение термостойкости.
Тонкопленочный нагреватель на основе предлагаемого материала может
25 быть получен любым из известных способов , например: онно-ш1азменным распылением мишени описанного выше состава при посто нном напр жении 2,3-2,6 кВ в среде аргона при давле30 нииЗ-610 ммрт.ст.; нанесением
на поверхность образцапленкообразующего раствора, состо щего из смеси оловоорганического соединени Sn(OC2Hj) и соответствующего простого спирта (этилового), в которую введена азотнокисла соль РЗМ, с последующей термодеструкцией при 700-800С в течение 1-2 мин.
Положительный эффект действи РВЭ в тонких пленках на основе двуокиси олова св зан с про влением модифицирукадего действи РЗЭ, то приводит к измельчению зерен пленки и улучшению р да ее свойств, в частности термостойкости.
В таблице приведены основные свойства известных тонких пленок на
основе SnOij и пленок, полученных по предлагаемому изобретению.
Как следует из таблицы, тонкие пленки из предлагаемого материала более термостойки.
Использование разработанного материала при изготовлении тонкопленочных электронагревателей позвол ет повысить их термостойкость и качество.
Материал может быть использован при изготовлении тонкопленочных электронагревателей дл жидких и газовых сред.
ми111Метаи1л, содержаиций, вес.%: Се La 20-25; остальное - примеси У, Ей, Си, Мп, Si, N1, Pb, Fe, С.
45-50; Nd 18; Pr 5; Sm 1; Tb и др. РЗМ, a также A ,C(i
Claims (2)
1. Авторскоесвидетельство СССР
№ 147625, кл. Н01 С 7/00, 1962.
2. Авторскоесвидетельство СССР
577700., кл. Н05 В 3/12, 1975.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802903996A SU886328A1 (ru) | 1980-03-28 | 1980-03-28 | Токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802903996A SU886328A1 (ru) | 1980-03-28 | 1980-03-28 | Токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU886328A1 true SU886328A1 (ru) | 1981-11-30 |
Family
ID=20887092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU802903996A SU886328A1 (ru) | 1980-03-28 | 1980-03-28 | Токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU886328A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000018189A1 (en) * | 1998-09-18 | 2000-03-30 | Email Limited | Thin film heating element |
AU751515B2 (en) * | 1998-09-18 | 2002-08-15 | Grimwood Management Pty Ltd | Thin film heating element |
-
1980
- 1980-03-28 SU SU802903996A patent/SU886328A1/ru active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000018189A1 (en) * | 1998-09-18 | 2000-03-30 | Email Limited | Thin film heating element |
AU751515B2 (en) * | 1998-09-18 | 2002-08-15 | Grimwood Management Pty Ltd | Thin film heating element |
EP1120014A4 (en) * | 1998-09-18 | 2004-06-16 | Email Ltd | THIN FILM HEATER. |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US2258646A (en) | Resistance material | |
EP0184665B1 (de) | Elektrisch leitfähige Keramik | |
US4943795A (en) | Oxide resistor | |
US3201738A (en) | Electrical heating element and insulation therefor | |
SU886328A1 (ru) | Токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей | |
US3749658A (en) | Method of fabricating transparent conductors | |
US3373120A (en) | Semiconductive ceramic compositions with positive temperature coefficient of resistance | |
SE8304042D0 (sv) | Bandvermare med elektriska anordningar innefattande ledande polymerkompositioner | |
SU577700A1 (ru) | Токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей | |
US3356982A (en) | Metal film resistor for low range and linear temperature coefficient | |
US3107337A (en) | Electrical element having a conductive film | |
Koltai et al. | Segregation phenomena in thin NiCr layers | |
Kenty et al. | Surface Layers on Tungsten and the Activation of Nitrogen by Electron Impact | |
US2579366A (en) | Control circuit for multiple high resistance ignition electrode | |
KR970009766B1 (ko) | 배리스터 재료 및 그 제조 방법 | |
JPS5492278A (en) | Thermal head | |
US963123A (en) | Electrical-resistance alloy. | |
Masuyama | Voltage Nonlinear Properties of SiC Varistor | |
SU517054A1 (ru) | Резистивный материал | |
US2533095A (en) | Multiple gap arc starting ionizer | |
Willows | XLIV. On the absorption of gas in a Crookes tube | |
US3416957A (en) | Resistance element utilizing group iii or v-b metal | |
US2468458A (en) | Method of manufactubing resistance | |
SU1014046A1 (ru) | Резистивный материал | |
SU392043A1 (ru) | Масса для изготовления электродов |