SU543858A1 - Устройство дл исследовани совершенства структуры кристаллов - Google Patents

Claims (2)

1. На чертеже изображена схема устройства дл  исследовани  совершенства кристаллов . Устройство содержит кристалл-монохрома тор 1, исследуемый кристалл (криста л-анализатор ) 2, источник рентгеновского излучени  3, коллиматор 4, счетчик излучени  5, главньЕй гониометр 6, механизм 7 совместного поворота источника излучени , коллиматора и к55 исталл-монохроматора, относительно неподвижного центра главного гониометра вакуумную камеру 8, механизм поворота 9 источника рентгеновского излучени  3 относительно оси вращени  кристалла-монохроматора 1, механизм Ю линейного смещени  главного гониометра в направлении нормали к поверхности кристалла-анализатора, регистрирующую систему дл  фотоэлектронов и флуоресцентных квантов 11, механизм 12 наклона кристалла-анализатора относительно оси 0-0 , окна вакуумной камеры 8 дл  вхо да падающих и выхода дифрагированных рент геновских лучей 13, механизм 14 дл  поворота счетчика излучени  5 относительно оси главного гониометра 6. На чертеже обозначено: О - ось вращени  кристалл-монохроматор О - ось вращени  главного гониометра; О-О - оптическа  ось спектрометра; Ь-З - рентгеновские кванты первичного излучени ; h) - кванты флуоресцентного излучени ; ё - электроны внешней фотоэммиссии. Устройство рабоает следующим образом. Рентгеновские лучи от источника 3 огра- ничиваютс  по расходимости коллиматором 4, кристалл-монохроматором 1 и падают под углом дифракции Vg дл  выбранной системы кристаллографических плоскостей на исследуемый кристалл 2, Кристалл расположен в геометрии Брагг-дифракции. Дифрагированные им лучи регистрируютс  счетчиком излучени  5. Рентгеновское излучение, поглощенное кристаллом, возбуждает фотоэммисию электронов (е) и флуоресцентное излучение (Ил) ) которые выход  из кристалла и регистрируютс  системой 11 Юстировка прибора осуществл етс  следующим образом. На оптическую ось О-О , про ход щую через ось главного гониометра О выставл етс  ось вращени  кристалла-монозфоматора О , источник излучени  3, коллиматор 4 и счетчик излучени  5. Механизмом поворота 9 источник излучени  1 псеорачивают на угол 2V относительно оптической оси. Кристалл-монохроматор поворачиваетс  на угол V g так, что дифрагированные им лучи проход т через коллиматор и расщ)Орастран ютс  вдоль оптической оси спектрометра. Затем с помощью механиз ма 10 смещени  главного гониометра 6 механизма 7 ссюместного поворота источника излучени , коллиматора и кристалла-мно- нохроматора и механизма 14 поворота счетчика излучени  5 относительно оси О, оптическую ось соедин ют с поверхностью исследуемого кристалла. С помощью механизма поворота 7. дифрагированные лучи направл ют под углом Vg на исследуемый кристалл
2. 2. Механизмом поворота 14 счетчик излучени  5 устанавливаетс  под углом Vg относительно оптической оси. Если на поверхности исследуемого кристалла имеетс  клин, то в эти повороты делаютс  соответствующие поправки. После этого механизмом наклона 1.2 к механизмом поворота 7 кристалл-анализатор 2 вьшодитс  в точное брагговское отражение. Во врем  исследований производ т запись или излучение по точкам кривой дифракционного отражени  рентгеновских лучей и угловое распределение интенсивности фотоэлектронов или флуоресцентных квантов с помощью счетчика 5 и системы регистрации 11, соответственно . Запись осуществл етс  плавным вращением луча, отраженного кристаллом-монохроматором 1, с помощью механизма 7 в небольшом угловом интервале вблизи точного значени  угла отражени  поел еду емого кристалла . При регистрации пространственного распределени  исследуемый кристалл устанавливаетс  на выбранной точке кривой дифрак- ционного отражени  рентгеновских лучей и производитс  экспозици  на фотопластинку с помощью соответствующей регистрирующей системы 11, Исследуемый кристалл помещен внутри вакуумной камеры 8, Предусмотрена система дл  создани  и поддержани  в нем в процессе измерений вакуума 1 10 торр (на чертеже не показана), В камере имеютс  окна из вакуумно-плотного берилли , обеспечивающие падение рентгеновских лучей на кристалл-анализатор и регистрацию отраженного им луча счетчикам. Формула изобретени  Устройство дл  исследовани  совершенства структуры кристаллов, содержащее источник рентгеновского излучени , двухкристальный спектрометр, состо щий из держателей кристалла-монохроматора и исследуемого кристалла и средств псеорота по крайней мере одного держател , детектор дифрагированного рентгеновского излучени , ва-

   куумную камеру, в которой расположены держатель с исследуемым кристаллом и детектор вторичной эмиссии образца, о т л itчающийс  тем, что, с целью упрощени  устройства, держатель с кристалломмонохроматором установлен вне вакуумного

   объема с возможностью поворота относительно оси, лежащей в плоскости исследуемого кристалла, а источник рентгеновского излучени  установлен с возможностью поворота относительно оси поворота кристалла-монохроматора .