SU541305A1 - Устройство дл ориентации подложек при изготовлении микросхем - Google Patents
Устройство дл ориентации подложек при изготовлении микросхемInfo
- Publication number
- SU541305A1 SU541305A1 SU2095885A SU2095885A SU541305A1 SU 541305 A1 SU541305 A1 SU 541305A1 SU 2095885 A SU2095885 A SU 2095885A SU 2095885 A SU2095885 A SU 2095885A SU 541305 A1 SU541305 A1 SU 541305A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- orientation
- substrate
- manufacture
- chips
- frame
- Prior art date
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к радиоэлектронике, в частности к технологическому оборудованию дл ориентации подложек (при изготовлении микросхем).
Известны устройства дл ориентации подложек при изготовлении микросхем, содержащие координатный стол, выполненный из верхней и нижней нлит, перемещающихс на пружин1;ых направл ющих биморфными ньезокерамическими пластинами 1.
Однако известные устройства сложны, громоздки и не обеспечивают высокой точности Н надежности ориентации подложек.
Цель изобретени - повышепие точности и надежности ориентации подложек.
Это достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве дл ориентации подложек нри изготовлении микросхем в плите координатного стола вынолнены продольные и поперечные пазы, образующие рабочую плиту дл размел ени подложки, внутреннюю и наружную рамки и унругие элементы, соедин ющие их между собой, причем пьезоэлектрические элементы размещены между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и внутренней рамкой.
На чертеже изображено предлагаемое устройство дл ориентации подложек при изготовлении микросхем.
Устройство .содержит координатный стол, вынолненный в виде нлиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами 1-4, размещенными в .продольных и поперечных
пазах координатного стола и образующих рабочую плиту 5 дл размещени подложки, внутреннюю 6 и наружную 7 рамки, упоров 8 и 9 и упругих элементов 10-21.
При подаче электрического напр жени на
пьезоэлектрический элел-гент 1 происходит его раст жение (сжатие), и так как он соединен с упором 8 и наружной рамкой 7, то последн смещаетс но координате X за счет деформации упругих элементов 18-21, и одновременно смещаетс плита 5и:внут1ренн рамка 6 в том же направлении. При подаче электрического напр жени на пьезоэлектрический элемент 2 нроисходит смещение рамки 6 по координате У за счет деформации упругих
элементов 10-13, и одновременно смещаетс нлита 5 в том же направлении, а рамка 7 вынолн ет функции упора дл рамки 6. При подаче электрического напр жени на пьезоэлектрические элементы 3 и 4 создаетс вращающийс момент, и плита 5 за счет деформации упругих элементов 14-17 совершает разворот, а внутренн рамка 6 выполн ет функции упора дл плиты 5. При одновременной подаче электрического напр жени на
все пьезоэлектрические элементы нлита 5
смещаетс по двум координатам X н У }i развертываетс лсд углом.
В качестве упругих элементов могут примен тьс пьезоэлектрическа керамика и магнитострикционные материалы.
Таким образом, предлагаемое устройство обеспечивает все виды перемещени , необходимые при ориентации подложек, а плита 5, рамки 6 и 7, упоры 8 и -9 и все направл ющие легко образуютс в единой металлической заготовке путем фрезеровани сквозных щелей.
Claims (1)
1. Авт. св. СССР № 379065, кл. Н 05К 3/00, 1970 (прототип).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2095885A SU541305A1 (ru) | 1975-01-06 | 1975-01-06 | Устройство дл ориентации подложек при изготовлении микросхем |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2095885A SU541305A1 (ru) | 1975-01-06 | 1975-01-06 | Устройство дл ориентации подложек при изготовлении микросхем |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU541305A1 true SU541305A1 (ru) | 1976-12-30 |
Family
ID=20607221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU2095885A SU541305A1 (ru) | 1975-01-06 | 1975-01-06 | Устройство дл ориентации подложек при изготовлении микросхем |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU541305A1 (ru) |
-
1975
- 1975-01-06 SU SU2095885A patent/SU541305A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA961352A (en) | Integrated circuit chip repair tool | |
| MY105015A (en) | Method of manufacturing semiconductor devices, and leadframe and differential overlapping apparatus therefor. | |
| GB2045760B (en) | Xy)-n-(2-piperidylmethyl) benzamide (flecanide) process for the preparation of 2,5-bis(2,2,2-trifluoroetho | |
| SU541305A1 (ru) | Устройство дл ориентации подложек при изготовлении микросхем | |
| JPS5675626A (en) | Distance measuring device | |
| IT1066876B (it) | Processo di fucinatura di alta precisione con particolari fini | |
| JPS52155494A (en) | Process for w orking parallel plane of wafer | |
| JPS55144958A (en) | Lapping machine | |
| JPS5894923A (ja) | 放電加工装置 | |
| JPS5452466A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
| SU611758A1 (ru) | Устройство дл ориентации плоских деталей | |
| JPS5354471A (en) | Bonding tool for gang bonding | |
| GB1233085A (ru) | ||
| GB982243A (en) | Improvements in or relating to apparatus for grinding and/or polishing sheets of glass | |
| JPS5210080A (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
| JPH069514Y2 (ja) | 物品の位置決め装置 | |
| SU695800A1 (ru) | Стол дл прецизионных станков | |
| SU744775A1 (ru) | Устройство дл захвата и юстировки детали | |
| JPS52106681A (en) | Etching method | |
| JPS53104960A (en) | Industrial robot | |
| SU975382A1 (ru) | Модуль микроманипул тора | |
| JPH06291173A (ja) | 微小ステージ送り装置 | |
| SU502718A1 (ru) | Инструмент дл зачистки поверхностей | |
| SU486387A1 (ru) | Способ изготовлени прецизионных многослойных тонкопленочных керамических конденсаторов | |
| SU611749A1 (ru) | Устройство дл ограничени калибрующего хода электрода -инструмента |