SU537589A2 - Устройство дл генерировани в атмосфере пучка зар женных частиц - Google Patents

Устройство дл генерировани в атмосфере пучка зар женных частиц Download PDF

Info

Publication number
SU537589A2
SU537589A2 SU762317401A SU2317401A SU537589A2 SU 537589 A2 SU537589 A2 SU 537589A2 SU 762317401 A SU762317401 A SU 762317401A SU 2317401 A SU2317401 A SU 2317401A SU 537589 A2 SU537589 A2 SU 537589A2
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
disks
atmosphere
charged particles
holes
vacuum
Prior art date
Application number
SU762317401A
Other languages
English (en)
Inventor
Е.А. Абрамян
Original Assignee
Институт высоких температур АН СССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт высоких температур АН СССР filed Critical Институт высоких температур АН СССР
Priority to SU762317401A priority Critical patent/SU537589A2/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU537589A2 publication Critical patent/SU537589A2/ru

Links

Landscapes

  • Particle Accelerators (AREA)

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГЕНЕРИРОВАНИЯ В АТМОСФЕРЕ ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ' по авт.св. № 403370, отличающеес  тем, что, с целью уменьшени  натекани  газа в вакуумную камеру ускорител , дополнительно установлено несколько подвижных дисков, а между подвижными дисками установлены неподвижные диски с отверсти ми, соответствующими месту прохождени  электронного пучка.(ЛСПсо ^СП00;о

Description

, Изобретение относитс  к устройствам дл  выпуска в атмосферу электрон ного пучка- с энергией сотни кэВ, имеющего короткую длительность -10®и - повтор ющегос  периодически с частотой сотни и тыс чи раз в секун ду концентраци  энергии в таком пучке (средн   по времени) дос тигать 10 КВТ/ММ и более. Устройство может примен тьс  дл  обработки концентрированным электронным пучком металлов в обычной и заданной атмосфере и разрушени  горных парод. Данное изобретение  вл етс  усовершенст вованием известного устройства. IB основном изобретении описано устройство дл  генерировани  в атмос фере пучка зар женных частиц, содержащее вьтускное окно, вьтолненное в ..виде диска с отверсти ми, закрепленного на оси вращени , параллельной направлению пучкад а отверсти  распо ложены на радиусе, равном рассто нию от оси вращени  до оси пучка. Недостатком известного устройства  вл етс  невозможности открьшани  от версти  на короткое врем  и натёкани газа в вакуум (ок.10 с), так как при необходимых при этом больших окружных скорост х диска невозможно рс ществить скольз щее вакуумное . нение. Целью дополнительного изобретени   вл етс  уменьшениенатекани  газа в вакуум. Это достигаетс  тем, что.в устрой стве дл  генерировани  в атмосфере пучка зар женных частиц на оси вращени  установлены несколько подвижных дисков, между которьми расположе ны неподвижные диски с отверсти ми по оси пучка, закрепленные на корпусе выпускного окна. На чертеже изображено поперечное сечение предлагаемого устройства. Устройство включает ускоритель (на чертеже не показан) с вакуумной камерой 1 и выпускное окно. Выпускное окно имеет в корпусе 2 отверсти  дл , выпуска электронного пучка 3 из вакуумной камеры 1 ускорител . В кор пусе 2 выпускного окна установлены на валу 4 несколько (по крайней мере два) подвижных параллельных между собой дисков 5 с отверсти ми 6. Диски могут вращатьс  вокруг оси 7. Меж ду подшетсными дисками 5 расположены неподвижные диски 8, закрепленные в корпусе 2 вьтускного окна. Отверсти  6 подвижных дисков 5 вьтолнены на радиусе диска 5, равном рассто нию от оси вращени  7 до оси йучка 3. S неподвижных дисках 8 также вьтолнены отверсти  9. Рассто ни  отверстий 6 и 9 от оси 7 равны, ПОЛСРжение отверстий 9 соответствует месту прохождени  электронного пучка 3, Неподвижные диски 8 уплотнены на вакуум в корпусе 2 выпускного окна (способ креплени  дисков 8 к корпусу . 2 не показан, условно они Показаны как-одно целое с корпусом 2). Вьтускное окно уплотнением 1 О опир1аетсй на подшипник 11. В нижней части корпуса выполнен патрубок 12, через который производ т откачку камеры выпускного окна. Конец вала 4, выход щий из вакуума , присоедин етс  к приводу, обе- спечивающему вращение вала 4с заданной , скоростью. При работе устройства вал 4 вращаетс  вместе с дисками 5 с высокой скоростью - до 10000 об/мин и выще, диски 8 и корпус 2 камеры вьтускного окна неподвижны. При высокой скорости вращени  в вакууме дисков 5, установленных между неподвижными, дисками 8, происходит вакуумна  &ткачка . Возможны различные модификации геометрической формы дисков 5 и 8, обеспечивающих наиболее высокую степень разрежени  или производительность откачки. Одним из прос ейших вариантов  вл ютс  плоские диски, показанные на рисунке. , Оси отверсти  6 ii 9 та дисках периодически совпадают и имеютс  средства , сйнхронизируюпще момент уско .рени -электронов с .моментом совпадени  осей отверстий. При диаметре от- , верстий 6 10-0,5 мм, рассто нии их от оси 7 около lOO Мм |1 скорости вращени  дисков 6-25000 об/мин, врем  совпадени  отверстий около 2,10 сек. В момент совпадени  отверстий по каналу, образованному имй, проходит электронный 3 и навстречу ему порци  газа. Отметим, 4fo при столь малом времени совпадени  отверстий газ не усдевает пройти веськанал и попасть в вакуумную камеру 1 ускорител . Таким образом, система работает-с некоторьм натёканиеМ, вызванным периодическим Прохождением га35375894
за по каналу, образованному отвёрсти- кание будет минимально. Некоторое  ми 6 и 9., разрежение (возможно )
В момент, когда отверсти  6 и шей к атмосфере, создаетс  через.патне совпадают, их наличие приво- рубок 12 дополнительной откачкой, дит к прохо ению газа в обход лаби-Устройство дл  генерировани  в атринту , образованному зазорами мезлдумосфере пучка зар женных частиц поздисками 6 и 9 Однако при достаточно волит уменьшить натекание газа в йамалых зазорах нещу дисками и подбореiо куумную камеру. Одновременно уменыпат ,других геометрических,размеров ,нате-с  габариты вакуумных устройств.
.в зоне камеры выпускного окна ближай

Claims (1)

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГЕНЕРИРОВАНИЯ В АТМОСФЕРЕ ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ’ по авт.св. № 403370, отличающееся тем, что, с целью уменьшения натекания газа в вакуумную камеру ускорителя, дополнительно установлено несколько подвижных дисков, а между подвижными дисками установлены неподвижные диски с отверстиями, соответствующими месту прохождения электронного пучка.
    ιζζζζζζζζζζζζζζ кЧЧЧЧЧЧЧЧЧччЧЧчЧ^СТ ΕΖΖΖΖΖΖΖΖΖΖΖΖΖζ КЧЧЧЧЧЧЧЧЧЧЧЧЧЧЧЧЧСТ ΕΖΖΖΖΖΖΖΖΖΖΖΖΖ s
    г fl— a §ez3
    ZZZI ^IZZTT /V fe?^44444\\\4444<S3 1 537589
SU762317401A 1976-01-26 1976-01-26 Устройство дл генерировани в атмосфере пучка зар женных частиц SU537589A2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU762317401A SU537589A2 (ru) 1976-01-26 1976-01-26 Устройство дл генерировани в атмосфере пучка зар женных частиц

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU762317401A SU537589A2 (ru) 1976-01-26 1976-01-26 Устройство дл генерировани в атмосфере пучка зар женных частиц

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU403370 Addition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU537589A2 true SU537589A2 (ru) 1987-09-23

Family

ID=20646623

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU762317401A SU537589A2 (ru) 1976-01-26 1976-01-26 Устройство дл генерировани в атмосфере пучка зар женных частиц

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU537589A2 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свид,етельство СССР № 403370, кл. Н 05 Н 7/00, 1972. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8757987B2 (en) Vacuum pump for differentially pumping multiple chambers
US5118251A (en) Compound turbomolecular vacuum pump having two rotary shafts and delivering to atmospheric pressure
US4552639A (en) Magnetron sputter etching system
GB2251040A (en) Seal arrangement
JPH06264234A (ja) マグネトロンスパッタリング装置及び磁束を提供する方法
JPS6086741A (ja) 高真空回転陽極型x線管
JPH09170589A (ja) ターボ分子ポンプ
JPS6356438B2 (ru)
SU537589A2 (ru) Устройство дл генерировани в атмосфере пучка зар женных частиц
KR840003332A (ko) 과열 블레이드 디스크 공동을 갖는 증기 터어빈
CA2563241C (en) Vacuum pump
NL8303927A (nl) Hoog-vacuum moleculair pomp.
JPH0925573A (ja) スパッタリング装置
JP2021116814A (ja) 分子真空ポンプ及び分子真空ポンプの排気速度に影響を及ぼす方法
US4180370A (en) Turbomolecular pump
JPH06185483A (ja) ドライメカニカルブースタポンプ
US4996700A (en) Irradiation equipment for applying synchrotron radiation
US3884397A (en) Apparatus for feeding material to a gas generator
US3933007A (en) Compressing centrifuge
JPH0219694A (ja) オイルフリー型真空ポンプ
US3640651A (en) Inner vane for rotary devices
GB1297660A (ru)
RU96118226A (ru) Генератор нейтронного пучка
TWI814936B (zh) 具有分叉分子泵之飛輪
KR950006259A (ko) 터빈 펌프