SU523802A1 - Устройство дл резки материалов неправильной формы,преимущественно полупроводниковых - Google Patents
Устройство дл резки материалов неправильной формы,преимущественно полупроводниковыхInfo
- Publication number
- SU523802A1 SU523802A1 SU2091444A SU2091444A SU523802A1 SU 523802 A1 SU523802 A1 SU 523802A1 SU 2091444 A SU2091444 A SU 2091444A SU 2091444 A SU2091444 A SU 2091444A SU 523802 A1 SU523802 A1 SU 523802A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cutting
- clamping
- clamping device
- lever
- rod
- Prior art date
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ МАТЕРИАЛОВ НЕПРАВИЛЬНОЙ ФОРМЫ, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
12
Целью изобретени вл етс осуществление полуавтоматической поперечной резки моно- и поли- кристаллических стержней, например кремни и германи , диаметром до 110 мм и неограниченной длины на части требуемого размера.
Дл этого предлагаемое устройство содержит закрепленный на шпиндельном узле приводной режущий инструмент, зажимное вращающеес приспособление и меха1шзм подачи. Механизм подачи выполнен в виде посаженного на вал рычагама тника , на котором расположены зажимное приспособление и механизм его вращени . Зажимное приспособление имеет сквозной проход на неограниченную длину в обе стороны, причем в отвесном положении рычага - ма тника центральна ось зажимного приспособлени совпадает с режущей кромкой инструмента и находитс в одной плоскости с ос ми вала и шпиндел .
Несущий рычаг - ма тник вал оснащен жестко закрепленными на нем посредством штанг подвижными балансирующими грузами дл регулировки нажимного усили на режущий инструмент и дополнительно св зан с опорой посредством дроссельного регул тора.
Зажимное приспособление выполнено в виде вращающегос монтажного кольца, на котором смонтированы не менее, чем в три р да, по три в плоскости каждого р да усилительные эксцентриковые кулачки и сопр женные с ними зажимные рычаги, причем усилительные эксцентриковые кулачки кинематически св заны с шестерн ми, передающими на кулачки усилие при зажиме и приводимыми в действие черв чным винтом через венцовые шестерни.
Каждый р д усилительных эксцентриковых кула чков приводитс в действие автономно, а все три зажимных подпружиненных рычага каждого р да привод тс в действие одновременно и смещаютс при этом на одинаковую величину.
Штанги с подвижными балансирующими грузами расположёны на механизме подачи относительно рычага - ма тника таким образом, что нажимное усилие при резке сохран етс посто нным либо монотонно измен етс в сторону возрастани или (убывани по мере резани стержн .
На фиг. 1 изображено предложенное устройство , вид сбоку ( крышка кожуха механизма вращени сн та ); на фиг. 2 - разрез по А-А на фиг. 1 Ою оси рьиага-ма тника с разрезом зажимного приспособлени закрепленного стержн и механизма вращени ); на фиг. 3 - зажимное приспособле: ,|,с (масштаб 1:2); на фиг.4- разрез по Б-Б на . 3; на фиг. 5- разрез по В-В на фиг. 3.
Устройство включает корпус-станину 1, на сто .le 2 которого смонтирован шпиндель 3 режущего ;1иска, св занный с приводом 4. На столе 2 закреплены жестко св занные между собой консольные опоры 5, которые удерживают с двух концов смонтированный на подшипниках вал 6. На влу 6 установлен рычаг-ма тник 7, имеющий
возможность занимать отвесное (вертикальное) положение и поворачиватьс между консольными опорами в вертикальной плоскости не менее чем на 45 . На свободном нижнем конце рычага-ма тника 7 закреплено зажимное приспособление 8 дл креплени стержн 9 и механизм 10 дл вращени зажимного приспособлени 8 вместе со стержнем 9. Нижний конец рычага-ма тника 7 с закрепленным на нем механизмом вращени 10 и кожухом механизма вращени 11 наход тс в проеме 12 стола 2, выполненном между консольными опорами 5. Шпиндель 3 режущего инструмента, вал 6 и зажимное приспособление 8 расположены таким образом, что в отвесном положении рычага-ма тника 7 их оси наход тс в одной плоскости, а ось зажимного приспособлени 8 совмещаетс с наружной кромкой режущего инструмента. Шпиндель 3 установлен таким образом, что плоскость режущего инструмента располагаетс у самой стенки проема 12 стола 2, а плоскость торца зажимного приспособлени 8 при отвесном положении серьги 7 расположена параллельно и р дом с плоскостью режущего диска. Вал 6 св зан через рычаг 13 с основанием опоры 5 посредством дроссельного регул тора 14, с помощью которого регулируетс скорость подачи слитка на режущий диск. На противоположном конце вала 6 закреплен второй рычаг 13, на котором смонтирован фиксатор дл стопорени рычагама тника 7 под углом 45°. Кроме того, на рычагах 13 и 15 жестко закреплены щтанги 16 с подвижными грузами, предназначенными дл регулировки нажимного усили на режущий инструмент. Передн верхн часть устройства, смонтированна на столе 2, в цел х безопасности обслуживани защищена прозрачным откидным колпаком 17, шарнирно закрепленным на опорах 5. Зажимное устройство 8 состоит из имеющего вид втулки корпуса 18, жестко закрепленного в отверстии ма тника 7. Внутри корпуса 18 с помощью колец-обойм 19, 20 и шариков 21, расположенных равномерно по диаметру в два р да, смонтировано вращающеес на шариках 21 монтажное кольцо 22, на наружной поверхности которого выполнена бегова дорожка дл шариков, вл ющеес внутренней обоймой подшипника. Така же бегова дорожка дл другого р да щариков выполнена на одной из трех направл ющих шайб 23, которые закреплены на торце монтажного кольца 22 с помощью ст жных винтов 24. По ос м винтов 24 между направл ющими шайбами установлены распорные втулки 25. Зазор между шариками 21 и обоймами регулируетс гайкой 26, вворачиваемой в корпус 18. Между направл ющими шайбами 23 расположены в три р да по три в плоскости камодого р да эксцентриковые кулачки 27. Оси кулачков расположены радиально по окружности под углом 120°, причем ос каждого кулачка одного р да совпадает с ос ми аналогично расположенных кулачков остальных р дов . Между этими же шайбами 23 на оси 28 смонтированы подпружиненные зажимные рычаги
29, которые, воспринима нажимное усилие от эксцентриковых кулачков 27, поворачиваютс вокруг оси 28 к центру зажимного устройства. На другом торце монтажного кольца 22 посредством винтов 30 и распорных втулок 31 закреплены четыре направл ющих шайбы 32, между которыми расположены в три р да по три в плоскости каждого р да шестерни 33. Оси шестерен 33 также расположены радиально по окружности под углом 120°, а ось каждой шестерни одного р да совпадает с ос ми аналогично расположенных шестерен остальных р дов . При этом шестерни 33 расположены таким образом, что одна обша ось трех шестерен ( по одной из каждого р да) вл етс одновременно общей осью трех эксцентриковых кулачков 27 ( по одному из каждого р да). Все три шестерни 33 одного р да наход тс в зацеплении с венцов ой шестерней 34. Наружным диаметром венцова шестерн 34 св зана с черв чным винтом 35, смонтированным в обойме 36. В свою очередь, обойма 36 с помощью винтов 37 закреплена на направл ющих шайбах 32, которые жестко соединены с монтажным кольцом 22. Одновременно кажда шестерн 33 периферийного ( крайнего ) р да одного торца монтажного кольца 22 св зана с соответствующим эксцентриковым кулачком 27 периферийного ( крайнего ) р да другого торца монтажного кольца посредством валика 38, который проходит через отверсти направл ющих шайб 32 и 23. Кажда шестерн среднего р да св зана с каждым эксцентриковым кулачком среднего р да втулкой 39, надетой на валик 38, а кажда шестерн внутреннего р да св зана с каждым эксцентриковым кулачком внутреннего р да втулкой 40, котора проходит через отверстие в монтажном кольце 22. Внутренний кожух вьшолнен из двух втулок 41 и 42. Втулка 41, закрепленна винтами 24 на монтажном кольце 22, имеет окна 43, через которые выход т зажимные рычаги 29 На торце кожуха-втулки 42 закреплена приводна шетерн 44, св занна с механизмом вращени 10.
Описываемое устройство работает следующим образом.
Колпак 17 откидьшаетс в крайнее верхнее положение. Рычаг-ма тник 7 отводитс от режущего диска поворотом на валу 6 примерно на 45° от отвесного положени и фиксируетс автоматическим фиксатором: В полость внутреннего кожуха зажиного приспособлени вводитс предназначенный дл резки стержень 9, и место предполагаемого реза совмещаетс с плоскостью режущего инструмента. Затем на квадратные сечени торцов вала черв чного винта 35 надеваетс торцовый ключ и производитс его вращение. При этом передаетс усилие на венцовую шестерню 34, котора , враща сь между неподвижными направл ющими шайбами 32, поворачивает одновременно на одинаковую величину три шестерни 33 одного р да, наход щиес с ней в зацеплении. Шестерни 33, в свою очередь, передают вращение валикам 38, на которых с другого конца закреплены эксцентриковые кулачки 27. Эксцентриковые
кулачки, нажима на зажимныг рычаги 29, поворачивают их вокруг осей 28, в результате чего зажимные рычаги через окна 43 подвод тс к стержню 9 и зажимают его. При этом центр стержн в плоскости зажима трем рычагами одного р да об зательно совпадает с осью зажимного устройства. Затем производитс зажим следующим р дом зажимных рычагов. При этом зажатие производ т поочередно сначала крайними р дами, так как это дает точное совмещение оси стержн с осью зажимного устройства . В св зи с тем, что зажимные рычаги каждого р да привод тс в действие независимо друг от друга., выдвигаютс на любую необходимую величину и в то же врем наход тс как одно целое в одном корпусе, имеетс возможность производить соосный зажим стержней в любом месте с любым перепадом диаметра по их длине. Вариант зажима такого стержн показан на фиг. 2. В результате стержень оказываетс зажатым в дев ти точках, по три точки в трех плоскост х зажима. Защитный колпак 17 устанавливаетс в рабочее положение. Включаетс привод 4 вращени режущего диска и механизм 10 дл вращени зажимного устройства 8. При этом механизм вращени 10 с помощью шестерни 44 и кожуха-втулки 42 вращает зажимное устройство 8 вместе со стержнем 9 с необходимой скоростью (например, 20-40 об/мин). В зажимном устройстве 8 неподвижными остаютс кожух 18 кольца-обоймы 19 и 20 и регулировочна гайка 26. Затем рычаг-ма тник снимаетс с фиксатора и под действием силы т жести поворачиваетс в сторону режущего инструмента. При этом в силу того, что вал 6 через рычаг 13 св зан с дроссельным регул тором 14, рычаг-ма тник движетс со скоростью, задаваемой регул тором. По мере подачи вращающегос стержн 9 на режуший инструмент, происходит постепенное сн тие сло материала по окружности вращаемого стержн в плоскости режущего диска по диаметру в направлении к центру стержн . Когда ма тник становитс в строго отвесное ( вертикальное ) положение, центр стержн совмещаетс с режущей кромкой инструмента, при этом стержень оказываетс полностью разрезанным в плоскости, строго перпендикул рной его продольной оси. После этого рычаг-ма тник руко ткой отводитс в исходное положение, фиксируетс фиксатором, оба привода автоматически отключаютс , поднимаетс защитный колпак 17 и производитс разжим оставшегос в зажимном устройстве стержн 9 в обратной последовательности. Затем операци повтор етс .
В св зи с тем, что нажимное усилие от веса рычага-ма тника уменьшаетс с приближением ее к отвесному положению, скорость подачи стержн на режущий диск тоже соответственно уменьшаетс . Дл поддержани требуемой скорости подавд на прот жении всего реза на валу 6 жестко закреплены штанги 16 с подвижными балансируюшими грузами под таким углом к оси рычага-ма тника 7, что при I повороте вала суммарный вращающий момент ма тника и грузов обеспечивает посто нное либо монотонно измен ющеес с требуемой скоростью нажимное усилие.
Формула и.зобретени
Claims (2)
1. Устройство дл резки материалов неправильной формы, преимущественно полупроводниковых, например стержней кремни , содержащее приводной режзтдий инструмент и механизм подачи, выполненный в виде посаженного на вал рычага, на одном плече которого расположено зажимное приспособление , отличающеес тем, что, с целью
снижени потерь обрабатываемого материала путем повыщени качества резани и надежного закреплени стержней с переменным диаметром, зажимное приспособление вьшолнено в виде приводного вращающегос кольца не менее, чем с трем р дами подпружиненных зажимных рычагов, расположенных по окружности под равным углом и контактирующих с каждым из рычагов усилительных эксцентриковых кулачков с индивидуальным приводом .
2. Устройство по п. 1, отличающеес тем, что,с целью сохранени усили подачи при резке посто нным или монотонно измен ющимс , плечи рьиага механизма подачи расположены под углом и одно из них снабжено подвижным противовесом. В .В
523802
23 22 19 32 37 31 30
Фиг Л
35
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU2091444A SU523802A1 (ru) | 1974-12-02 | 1974-12-02 | Устройство дл резки материалов неправильной формы,преимущественно полупроводниковых |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU2091444A SU523802A1 (ru) | 1974-12-02 | 1974-12-02 | Устройство дл резки материалов неправильной формы,преимущественно полупроводниковых |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU523802A1 true SU523802A1 (ru) | 1976-08-05 |
Family
ID=20605848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU2091444A SU523802A1 (ru) | 1974-12-02 | 1974-12-02 | Устройство дл резки материалов неправильной формы,преимущественно полупроводниковых |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU523802A1 (ru) |
-
1974
- 1974-12-02 SU SU2091444A patent/SU523802A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5211794A (en) | Wafer etching apparatus | |
SU523802A1 (ru) | Устройство дл резки материалов неправильной формы,преимущественно полупроводниковых | |
US5174586A (en) | Inclination setting mechanism in work rotating device for laser beam machine tool | |
US5185959A (en) | Apparatus for grinding the edge of a glass sheet | |
JPH1071509A (ja) | 偏り解消機能を備えた単刃ドリルヘッド | |
US3058365A (en) | Speed change device | |
US4507895A (en) | Radially adjustable internal grinder | |
CN206643705U (zh) | 一种高精度的刀具磨床 | |
CN114012542A (zh) | 一种适用于单晶硅片的自动倒角装置 | |
US4846023A (en) | Regrinding apparatus for circular saws | |
US4459866A (en) | Non-uniform drive with balancing of masses | |
JPH0592313A (ja) | ロータ、特に電気モータロータのためのつりあい装置 | |
CN216147920U (zh) | 一种可调式汽车零部件切口加工磨具 | |
JPH07242B2 (ja) | 回転長尺材の送り装置 | |
JPH05228811A (ja) | クランク軸等の研削研磨機 | |
JP2610930B2 (ja) | 研削装置 | |
CN220992873U (zh) | 一种通用机械齿轮盘钻孔装置 | |
CN112976369B (zh) | 一种能够调速的电动开槽机 | |
US4836724A (en) | Cutting diamond machine for ornamentally machining chainlets and provided with a device permitting a vice shaft to be rotated and/or shifted axially, and an engraving device effecting various machining movements | |
SU841923A1 (ru) | Машина дл шлифовани торцовСТЕКл ННыХ издЕлий | |
SU904052A1 (ru) | Устройство дл продораживани коллекторов электрических машин | |
SU785479A1 (ru) | Устройство дл бурени шпуров | |
CN116773295A (zh) | 一种土工试验的土样切样装置及使用方法 | |
US1842194A (en) | Variable speed mechanism for drills | |
US1025917A (en) | Machine for cutting key-bits. |