SU500195A1

SU500195A1 - The method of preparing the surface of the glass

Info

Publication number: SU500195A1
Application number: SU1996730A
Authority: SU
Inventors: Геннадий Фомич Ивановский; Любовь Михайловна Шуранова; Тамара Александровна Вязникова; Виктор Иванович Крупельницкий; Галина Ефимовна Хоц
Original assignee: Предприятие П/Я А-1614
Priority date: 1974-02-11
Filing date: 1974-02-11
Publication date: 1976-01-25

Description

Изобретение отвоснтс к технике ПОДГОТОВКЕ поверхностн стекла, примен емого в качестве подложек дл металлических пленок, в том чвсле в производстве металг лвзнрованных фотошаблонов. Известный способ ПОДГОТОВКЕ поверх о- сти стекла его металлизапией путем; химической обработки не обеспечивает вы . сокого качества поверхностн. Цель 1федлагаемого изобретени - улу шэние качества поверхности бездефектных мета лвческнх пленок. Это Достигаетс тем тго обработку ве дУт метасиликатом натри который втираю в поверхность стекла.. . , Избыток удал хУг н стекл нную заготовку помешают в кип щую дистиллированную воду на 2-3 сек. Метаонлнкат натри (ГОСТ зО79-67 Модуль 2,5-ЗТ втирают JB прдложку; до нача ла схватывани его со стеклш Стекло, нмеюраее дефекты в виде микропор и тре- шин, в результате вьшхелачиваннв. боронат риевой составл киаёй исхоТшбго натриевоборосиликатного стекла, обладает большой адсорбпнонной способностью. Поскольку стекло имеет сродство к метасйлнкату натри , в процессе обработки его последним ноны фемнн адсорбируют ионы натри . Одновременно метасиликат натри , обладающий хорошей диспергирующей способностью, захватывает с поверхностн стек.1а трудно смываемые твердые частички в виае окислов редкоземетшных металлов, остаюшихс на стекле его шлифовки и полировки. В воде происходит первичное пов хностное остекловывание в порах. Цри нанесении металлнческой пленки, в том числе пленки :фома на стекло в вакууме ионно-плазмевным методом, в результате сильного разогре в , происходит образование мнхростекла в порах и микротрешинах. Таким образом, происходит залечивание поверхностн стекл нной подложки, которое способствует образованию бездеуектной металтшческой пленки на стекле.The invention relates to the technique of PREPARATION of surface glass used as substrates for metallic films, including in the manufacture of metal recognized photomasks. The known method of PREPARATION on the top of the glass by its metal-zap way; chemical processing does not provide you. Juicy quality superficial. The purpose of the present invention is to improve the surface quality of defect-free metal films. This is achieved through the processing of sodium metasilicate, which is rubbed into the glass surface ... , Excess removal of XUH and glass preform will be placed in boiling distilled water for 2-3 seconds. Metaonnat sodium (GOST zO79-67 Module 2.5-ZT rubbing the JB prologue; before starting to set it with glass; Since glass has an affinity for sodium metasilyncate, in the process of processing it with the last nona femnn adsorb sodium ions. and hard-to-remove solid particles in the rare earth metal oxide oxides remaining on the glass for polishing and polishing.In water, primary surface vitrification occurs in the pores. As a result of strong heating, the formation of a crystal is formed in the pores and microcracks. Thus, the surface glass substrate is healed, which promotes the formation of a non-ductile metal film on the glass.