Как известно, уже существует р д систем вакууметров дл измерени небольших давлений. В некоторых из них отсчет требует предварительных манипул ций , как например у вакууметра Мак Леода, у других-неустойчиво положение нул , а также возможно искажение за счет колебательного процесса, как например , в ионизационном манометре. Предлагаемый электронный вакууметр предназначаетс дл устранени р да указанных недостатков.As is known, there are already a number of vacuum gauge systems for measuring low pressures. In some of them, the readout requires preliminary manipulations, such as, for example, with a Mac Leod vacuum gauge, others have an unstable zero position, and distortion due to an oscillatory process, such as in an ionization manometer, is also possible. The proposed vacuum gauge is intended to eliminate a number of these drawbacks.
На чертеже изображена схема предлагаемого вакууметра.The drawing shows a diagram of the proposed vacuum gauge.
В баллоне 2, соединенном при помощи трубки 6 с реципиентом, расположены три электрода: анод 5, катод 4 и экран 3. Экран 3 представл ет собою сплошную перегородку, через которую электроны, испускаемые катодом 4, не могут непосредственно попадать на анод. Как между анодом и катодом, так и между экраном и катодом могут быть приложены те или иные напр жени . Ток в цепи анода измер етс при помощи измерительного прибора 7. Внутрь прибора может быть введен дополнительный экран 7, окружающий три упом нутых электрода дл устранени скоплени зар дов на стенках баллона и дл создани определенных условий отражени или поглощени электронов . На этот дополнительный экран может быть подан тот или иной потенциал . В том случае, если на анод подан положительный потенциал по отношению к катоду и в баллоне имеетс некоторое давление газа, вылетевшие из катода электроны будут сталкиватьс с газовыми молекулами и отражатьс от них разнообразно , в зависимости от скорости столкновени . Вследствие такого рода движени электроны будут огибать экран, т. е. проходить через промежуток между его краем и стенкой баллона. Далее электроны , попав в поле анода, будут прит гиватьс к последнему, образу анодный ток, измер емый прибором /. Очевидно, что количество электронов, огибающих экран в единицу времени при прочих равных услови х, будет зависеть от количества отражений, т. е. от давлени газа. Проградуированный прибор 7 (на давление ) дает возможность производить затем измерени степени вакуума.In the cylinder 2, connected by means of a tube 6 to the recipient, there are three electrodes: anode 5, cathode 4 and screen 3. Screen 3 is a continuous wall through which electrons emitted by cathode 4 cannot directly fall on the anode. Both between the anode and the cathode, and between the screen and the cathode, one or other voltages can be applied. The current in the anode circuit is measured using a measuring device 7. An additional shield 7 may be inserted inside the device, surrounding the three mentioned electrodes to eliminate accumulations of charges on the walls of the balloon and to create certain conditions for the reflection or absorption of electrons. One or another potential can be fed to this additional screen. In the event that a positive potential is applied to the anode with respect to the cathode and there is some gas pressure in the balloon, the electrons ejected from the cathode will collide with gas molecules and will be reflected from them variously, depending on the collision rate. Due to this kind of movement, electrons will bend around the screen, i.e., pass through the gap between its edge and the wall of the balloon. Further, the electrons, hitting the anode field, will be attracted to the latter, forming the anode current measured by the device /. Obviously, the number of electrons enveloping the screen per unit of time, ceteris paribus, will depend on the number of reflections, i.e., the gas pressure. The graduated device 7 (for pressure) makes it possible to then measure the degree of vacuum.
Предмет изобретени .The subject matter of the invention.