SU425986A1 - Устройство для нанесения покрытий в вакууме - Google Patents

Description

I

Изобретение относитс  к области нанесени  покрытий в вакууме и может быть использаваио дл  двусторонней .металлизации изделий.

Известно устройство дл  нанесени  покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой укреплены иопар.ители и вращающийс  барабан, .на котором наподвижно смонтированы «ассеты дл  обрабатываемых .изделий , образующие многогранлик.

Одна.ко .коэффициент использовани  объема вакуумлой камеры лри этом недостаточло

BbllCOiK.

Цель изобретени  - повыщение производительности устройства И получение двустороннего 1покрыти .

Дл  этого предлагаемое устройство снабжено дополнительными кассетами, смо.нтированными на ос х в верщинах многогранника . с возможностью разворота относительно осей.

Предлагаемое устройство дл  нанесени  покрытий в важууме показано на чертеже.

Устройство состоит из камеры /, внутрл которой укреплены испар.ители 2, 3 « вращающ .ийс  б арабан 4, на котором } гподвнжно смонтировалы кассеты 5 дл  обрабатываемых изделий, образующие многогранник, и дополнительные кас1сеты 6, смонтированные на ос х 7 в верщинах многогранника с вэзможностью разворота относительно этих осей.

Работает устройство следующим образом.

По достижении рабочего важуума в камере / включаютс  приво.д барабана 4 с .кассетам.и (5 и 5 и испарители 2 и 3. При этом происходит нанесение .покрыти  на поверхности изделий , обращенные к .испарител м. После окончани  напылен.и  на одну сторону из.делий , закрепленных в неподвижных кассетах

. 5, испаритель 3 выключаетс . Одновременно включаетс  привод кассет 6, выполненпый, наиример, в виде мальтийского механиз.ма. Та.кое выполнение привода Обеспечивает поочере|дное разворачивание .кассет 6 относительно осей 7 за один оборот барабана 4 и после дних к смежным гран м барабана 4 с помощью, .например, авто.матических фиксаторов. При этом лерекрываютс  стороны кассет 6, об|)ащенные к испарителю 2, с уже нанесенльш покрытием и вместе с тем открываютс  необработанные стороны изделий .

Разворот подвижных кассет 6 осуществл етс  вне зоны испарени  во врем  работы Испар.ител  2.

По достижении необходимой толщины покрыти  на подложках (вращение барабана 4 прекращаетс  и камера / разгерметизируетс . 30 Готовые издели  вылимаютс  из кассет.

Предмет изобретени 

Устройство дл  .налесени  поюрытий в вакууме , содержащее камеру, -внутри которой укреплеиы испарители и барабаи, иа котором неподвижно омонтированы Кассеты дл  обрабатываемых издеЛИЙ, обра:зующие миогогранНИ1К , отличающеес  тем, что, с целью получени  двустороннего покрыти  и повышени  проивво/дительности, оно снабжено дополнительными кассетами, смонтированными на ос х в вершинах многогранника с возможностью разворота относительно этих осей.

3 /