SU413218A1 - - Google Patents
Info
- Publication number
- SU413218A1 SU413218A1 SU1465453A SU1465453A SU413218A1 SU 413218 A1 SU413218 A1 SU 413218A1 SU 1465453 A SU1465453 A SU 1465453A SU 1465453 A SU1465453 A SU 1465453A SU 413218 A1 SU413218 A1 SU 413218A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- crucible
- tank
- metal
- evaporator
- evaporating
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме.
Известен испаритель дл вакуумных установок , содержащий тигель, сообщающийс с резервуаром с испар ющимс металлом.
Предлагаемый испаритель отличаетс от известного тем, что он снабжен конденсатором паров, смонтированным поверх резервуара с испар ющимс металлом, а тигель помещен непосредственно в резервуар.
Это позвол ет уменьшить потребл емую мощность и увеличить врем непрерывной работы испарител .
На чертеже показан предлагаемый испаритель дл вакуумных установок, общий вид.
Испаритель состоит из тигл 1, выполненного с двойными стенками и помещенного в резервуар 2 с испар емым металлом. Внутренн часть тигл соединена с резервуаром посредством канала 3 в дне тигл . Между двойными стенками тигл размещены спираль нагревател 4 и экраны 5. Испаритель снабжен конденсатором 6 паров металла. Канал 3 в дне тигл 1 имеет небольшое поперечное сечение дл уменьшени теплоотвода от внутренней, нагретой до высокой температуры части тигл .
Резервуар 2 выполнен таким образом, что основной запас металла находитс в верхней
2
расширенной части. Это способствует тому, что при длительном испарении уровень металла в тигле 1 измен етс незначительно и режим испарени сохран етс посто нным.
Это же достигаетс изготовлением тигл 1 плавающим в резервуаре 2 и опускающимс при пониженном уровне металла.
Дл уменьшени потерь испар емого металла и увеличени времени непрерывной работы в испарителе примен етс возврат неиспользованного металла в резервуар с помощью конденсатора 6, имеюо1его температуру резервуара. Ианыление на подложку производитс через верхнее отверстие в конденсаторе , металл же, попадающий на внутреннюю поверхность конденсатора, стекает обратно в резервуар.
Предмет изобретени
Испаритель дл вакуумных установок, содержащий тигель, сообщающийс с резервуаром с испар щимс металлом, отличающийс тем, что, с целью уменьшени потребл емой мощности и увеличени времени непрерывной работы, он снабжен конденсатором паров, смонтированным поверх резервуара с испар ющимс металлом, а тигель помещен непосредственно в резервуар.
шштт ///////////// т
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1465453A SU413218A1 (ru) | 1970-07-27 | 1970-07-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1465453A SU413218A1 (ru) | 1970-07-27 | 1970-07-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU413218A1 true SU413218A1 (ru) | 1974-01-30 |
Family
ID=20455945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1465453A SU413218A1 (ru) | 1970-07-27 | 1970-07-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU413218A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1986000092A1 (en) * | 1984-06-12 | 1986-01-03 | Kievsky Politekhnichesky Institut Imeni 50-Letia V | Evaporator for vacuum deposition of films |
| US4648347A (en) * | 1984-05-30 | 1987-03-10 | Leybold-Heraeus Gmbh | Vacuum depositing apparatus |
-
1970
- 1970-07-27 SU SU1465453A patent/SU413218A1/ru active
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4648347A (en) * | 1984-05-30 | 1987-03-10 | Leybold-Heraeus Gmbh | Vacuum depositing apparatus |
| WO1986000092A1 (en) * | 1984-06-12 | 1986-01-03 | Kievsky Politekhnichesky Institut Imeni 50-Letia V | Evaporator for vacuum deposition of films |
| GB2172015A (en) * | 1984-06-12 | 1986-09-10 | Ki Polt I | Evaporator for vacuum deposition of films |
| US4700660A (en) * | 1984-06-12 | 1987-10-20 | Kievsky Politekhnichesky Institut | Evaporator for depositing films in a vacuum |
| AT387239B (de) * | 1984-06-12 | 1988-12-27 | Ki Polt I | Verdampfer zum aufbringen von duennschichten durch vakuumaufdampfen |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BRPI0415031A (pt) | evaporador de filme fino | |
| GB1315198A (en) | Heat transfer apparatus | |
| SU413218A1 (ru) | ||
| GB929748A (en) | Apparatus for performing fractional distillation in a vacuum | |
| US3581766A (en) | Supplying liquid to a vacuum chamber | |
| US2206093A (en) | Vacuum pump | |
| FR2220299A1 (en) | Thin-film evapn. of liqs. using a gauze wick - esp. useful in heat transfer by vaporising liq. metals | |
| US1990219A (en) | Method of and apparatus for controlling heat transfer | |
| US3994336A (en) | Transformer for heat pipes | |
| US2122752A (en) | Water ice refrigerator | |
| US3362623A (en) | Oil diffusion pump with splash boiler | |
| US2099409A (en) | Refrigerating apparatus | |
| JPS5541361A (en) | Heat pipe | |
| SU506737A1 (ru) | Охлаждающа батаре | |
| GB1496327A (en) | Two-phase thermosyphons | |
| US3276514A (en) | Heating and cooling apparatus | |
| US1894893A (en) | Apparatus for absorbing aqueous vapors by means of a hygroscopic liquid such as sulphuric acid in a vacuum | |
| US1577675A (en) | Air-cooled still | |
| JPS56104456A (en) | Boiling cooler | |
| US2313250A (en) | Refrigeration | |
| JPS584274B2 (ja) | ネツバイジヨウキハツセイソウチ | |
| SU1359423A1 (ru) | Резервуар дл хранени нефтепродуктов | |
| US1575380A (en) | Furnace humidifier | |
| US1816975A (en) | Refrigeration apparatus | |
| SU41624A1 (ru) | Масл ный диффузионный насос |