SU410487A1

SU410487A1 -

Info

Publication number: SU410487A1
Application number: SU1712012A
Authority: SU
Priority date: 1971-11-09
Filing date: 1971-11-09
Publication date: 1974-01-05

Description

1one

Изобретение относитс к электронной оптике , в частности, к электронно-лучевым приборам . Устройство может быть использовано дл улучшени отклонени пучка зар женных частиц .This invention relates to electron optics, in particular, to electron beam devices. The device can be used to improve the deflection of a beam of charged particles.

Известна электростатическа система отклонени , пластины которой расположены на внутренней поверхности цилиндра или конуса И выполнены в виде р да полос, параллельных образующим. Ширина полос подобрана так, чтобы обеспечить максимальную однородность отклон ющего пол . Подобные системы эффективно работают в электронных приборах с фокусировкой продольным магнитным нолем.A known electrostatic deflection system, the plates of which are located on the inner surface of a cylinder or a cone, And is made in the form of a series of bands parallel to the generators. The width of the strips is chosen so as to ensure maximum uniformity of the deflecting field. Such systems work effectively in electronic devices with focusing longitudinal magnetic zero.

Недостатком такой системы вл етс жесткость конструкции, при которой только определенна ширина полос обеспечивает необходимую однородность пол , И отсутствие ВОЗМОЖНОСТИ электрической регулировки, что не позвол ет вли ть на аберрации отклон ющей системы. Кроме того, чувствительность такой системы меньше чувствительности отклон ющих систем ИЗ плоских пластин.The disadvantage of such a system is the rigidity of the structure, in which only a certain width of the bands provides the necessary uniformity of the field, and the lack of electrical adjustment capabilities, which does not affect the aberrations of the deflection system. In addition, the sensitivity of such a system is less than the sensitivity of deflecting systems from flat plates.

Цель изобретени - увеличение угла отклонени пучка, уменьшение искажений формы электронного п тна и растра.The purpose of the invention is to increase the deflection angle of the beam, reduce the distortion of the shape of the electron spot and the raster.

Предлагаема электростатическа система отклонени , содержаща две пластины произвольной формы, расположенные симметрично относительно ее средней плоскости, отличаетс The proposed electrostatic deflection system, containing two plates of arbitrary shape, located symmetrically about its mid-plane, differs

тем, что в нее введены два внешних охватывающих пластины электрода, размещенных симметрично относительно средней плоскости, угловое рассто ние между которыми меньще углового рассто ни между отклон ющими пластинами .By the fact that two external electrode plates are placed in it, which are arranged symmetrically with respect to the median plane, the angular distance between which is less than the angular distance between the deflecting plates.

Такое расположение пластин и электродов позвол ет улучшить распределение пол между пластинами, что обеспечивает увеличениеThis arrangement of the plates and electrodes allows for a better distribution of the floor between the plates, which provides an increase in

угла отклонени и уменьшает искажени формы электронного п тна.the angle of deviation and reduces the distortion of the shape of the electron spot.

Па чертеже представлено поперечное сечение предлагаемой системы. Форма внутренних 1, 2 н внешних 3, 4 электродов может быть произвольной, однако они должны располагатьс симметрично относительно средней плоскости XOZ. Угол 2ai между внутренними электродами больше угла 2а2 между внешними электродами. Разница в угловых рассто ни х между внутренними и внешними электродами нар ду с их шириной опоедел ет величину провисани электростатического пол внещних электродов в пространство между внутренними. В случае невыполнени услови полезный эффект сильно СНИЗИТСЯ из-за экр-анировки пол внешних электродов. Следует отметить, что дл упрощени конструкции внешние электроды могут быть нанесены непосредственно на стекл нный баллон трубки. На внутренние пластины, как обычно, подаетс отклон ющий потенциал ±V. Разность потенциалов 2f/, прикладываема между внешннми электродами, вызывает по вление во внутренней области дополнительного потенциала , пропорционального третьей степени координат. В зависимости от силы и направлени этого дополнительного пол корректируютс различного рода аберрации Ьсновного отклон ющего пол . Величина и способ подами дополнительного питани на внешние электроды (симметрично ±, либо 2(7 и О и т. д.) диктуетс геометрией отклон ющей системы и трубки в целом. Предлагаема система проста, не требует сложной юстировки. Оиа может найти применение в электронно-лучевых приборах многих тинов с электростатическим отклонением луча, Предмет изобретени Электростатическа система отклонени , содержаща две пластины произвольной формы, .расположенные симметрично относительно ее средней плоскости, отличающа с тем, что, с целью, увеличени угла отклонени пучка , уменьшени искажений формы электронного н тна и растра, в нее введены два внещних охватывающих пластины электрода, размещенных симметрично относительно средней плоскости, угловое рассто ние между которыми меньше углового рассто ни между отклол ющимп пластинами.Pa drawing presents a cross section of the proposed system. The shape of the inner 1, 2 n outer 3, 4 electrodes can be arbitrary, but they should be located symmetrically with respect to the middle plane XOZ. The angle 2ai between the inner electrodes is greater than the angle 2a2 between the outer electrodes. The difference in the angular distances between the inner and outer electrodes, together with their width, determines the amount of sagging of the electrostatic field of the outer electrodes into the space between the inner ones. In the event of a failure to comply with the condition, the useful effect will be greatly DECREASED due to the screening of the floor of the external electrodes. It should be noted that, in order to simplify the design, the outer electrodes can be applied directly to the glass balloon of the tube. As usual, a deflection potential of ± V is applied to the inner plates. The potential difference 2f / applied between the external electrodes causes an additional potential in the inner region proportional to the third power of the coordinates. Depending on the strength and direction of this additional field, various aberrations of the main deflecting field are corrected. The size and method of supplying additional power to the external electrodes (symmetrically ± or 2 (7 and O, etc.) is dictated by the geometry of the deflection system and the tube as a whole. The proposed system is simple, does not require complex alignment. Oia can be used in electronic -beam devices of many types of electrostatic beam deflection, the subject of the invention. An electrostatic deflection system comprising two plates of arbitrary shape, symmetrically located with respect to its mid-plane, characterized in that, in order to increase the angle of deflection of the beam, reducing the distortion of the electron nt shape and the raster; two external covering electrode plates, placed symmetrically with respect to the mid-plane, are inserted into it, the angular distance between which is less than the angular distance between the detachable plates.

2 Л2 L