SU397567A1 - Испаритель для вакуумных установок - Google Patents
Испаритель для вакуумных установокInfo
- Publication number
- SU397567A1 SU397567A1 SU1617708A SU1617708A SU397567A1 SU 397567 A1 SU397567 A1 SU 397567A1 SU 1617708 A SU1617708 A SU 1617708A SU 1617708 A SU1617708 A SU 1617708A SU 397567 A1 SU397567 A1 SU 397567A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- evaporator
- crucible
- nozzle
- vacuum installations
- vacuum
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
1
Изобретение 1касаетс нанесени покрытий В вакууме и может быть лрвменено дл легировани полупроводниковых пленок в .процессе их роста.
Известен испаритель дл вакуумной установки , содержащий тигель с выходным каналом и излучательный блок. Выходной канал выполнен в виде цилиндра. Недостатком известного испарител вл етс то, что оп не обеспечивает достаточной интенсивности, налравленности и однородности потока молекул испар емого вещества.
В предлагаемом испарителе выходной канал тигл выполнен в виде расщир ющегос профилированного сопла
На чертеже изображен предлагаемый испаритель .
Испаритель состоит из тигл 1 с выходным каналам 2, выполненным в виде расшир ющегос профилировавного сопла, излучательного блока 3, в котором O DpaHH4HTevii«MH 4 центрируетс верхн часть тигл . Нижн часть ТИтл центрируетс на термопаре 5, изолированной от токоподвода 6 керамикой 7. На токолодводе 8 укреплены радиационные акраиы 9, 10.
Устройство работает следующим образом.
Испар емое вещество загружаетс в тигель 1, который опускаетс в излучательный блок 3 до упора на термопаре 5. При рабочей температуре поток паров, начина от минимального сечени сопла, сначала интенсивно расшир етс , а затем сопло поворачивает поток так, чтобы Б выходном сеченпи он был направлен вдоль оси. Сопло спрофилировано таким образол, что выполн етс требование прогрессирующего возрастани скорости течени пара испар емого вещества вдоль сопла. Экраны 9, 10 радиапионные потерп.
Предмет изобретени
Испаритель дл вакуумпых установок,, содержащий тигель с выходным -каналом и излучательный блок, отличающийс тем, что, с целью повыщенп интенсивности, направленности и однородности потока молекул исп ар емого вещества, выходной канал тигл выполнен в виде расщпр ющегос профилированного сопла.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1617708A SU397567A1 (ru) | 1971-02-01 | 1971-02-01 | Испаритель для вакуумных установок |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1617708A SU397567A1 (ru) | 1971-02-01 | 1971-02-01 | Испаритель для вакуумных установок |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU397567A1 true SU397567A1 (ru) | 1973-09-17 |
Family
ID=20464992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1617708A SU397567A1 (ru) | 1971-02-01 | 1971-02-01 | Испаритель для вакуумных установок |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU397567A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1986000092A1 (en) * | 1984-06-12 | 1986-01-03 | Kievsky Politekhnichesky Institut Imeni 50-Letia V | Evaporator for vacuum deposition of films |
| US5016566A (en) * | 1988-05-31 | 1991-05-21 | Levchenko Georgy T | Apparatus for forming films by evaporation in vacuum |
-
1971
- 1971-02-01 SU SU1617708A patent/SU397567A1/ru active
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1986000092A1 (en) * | 1984-06-12 | 1986-01-03 | Kievsky Politekhnichesky Institut Imeni 50-Letia V | Evaporator for vacuum deposition of films |
| GB2172015A (en) * | 1984-06-12 | 1986-09-10 | Ki Polt I | Evaporator for vacuum deposition of films |
| US4700660A (en) * | 1984-06-12 | 1987-10-20 | Kievsky Politekhnichesky Institut | Evaporator for depositing films in a vacuum |
| AT387239B (de) * | 1984-06-12 | 1988-12-27 | Ki Polt I | Verdampfer zum aufbringen von duennschichten durch vakuumaufdampfen |
| US5016566A (en) * | 1988-05-31 | 1991-05-21 | Levchenko Georgy T | Apparatus for forming films by evaporation in vacuum |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3862397A (en) | Cool wall radiantly heated reactor | |
| US2772318A (en) | Apparatus for vaporization of metals and metalloids | |
| US3230110A (en) | Method of forming carbon vapor barrier | |
| US2465229A (en) | Vacuum trap | |
| SU397567A1 (ru) | Испаритель для вакуумных установок | |
| GB1294022A (en) | Mercury vapour lamp | |
| US3505172A (en) | Still with concentric condenser and infrared source | |
| JPS6463246A (en) | Evaporator for ion source | |
| US3458418A (en) | Process for carrying out photochemical reactions and apparatus therefor | |
| GB975542A (en) | Vapor deposition process | |
| US3373050A (en) | Deflecting particles in vacuum coating process | |
| US3534214A (en) | Arc discharge plasma burner apparatus | |
| JPS55122870A (en) | Vacuum vapor deposition method | |
| US3260235A (en) | Apparatus for coating material with metal | |
| US3603285A (en) | Vapor deposition apparatus | |
| US3245609A (en) | High vacuum pumps | |
| SU96236A1 (ru) | Электрическа лампа накаливани дл оптических пирометров | |
| SU480652A1 (ru) | Устройство дл выт гивани ленты стекла вертикально вверх | |
| SU413218A1 (ru) | ||
| US2774905A (en) | Induction lamp | |
| SU361227A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ | |
| BE763971A (nl) | Inrichting voor het opdampen van een metalen deklaag op een langwerpig substraat door induktieve verwarming. | |
| US3041056A (en) | Heat treating apparatus | |
| SU455732A1 (ru) | Установка дл термической обработки пищевых жидкостей | |
| JPS63293158A (ja) | 真空蒸着装置 |