SU396450A1 - УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ - Google Patents
УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕInfo
- Publication number
- SU396450A1 SU396450A1 SU1653206A SU1653206A SU396450A1 SU 396450 A1 SU396450 A1 SU 396450A1 SU 1653206 A SU1653206 A SU 1653206A SU 1653206 A SU1653206 A SU 1653206A SU 396450 A1 SU396450 A1 SU 396450A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- vacuum
- evaporator
- particles
- applying coatings
- plates
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области нанесеии покрытий ,в 1вакуу : 1е и может быть применено при произзодСтве интегральных схем.
Известно устройство дл нанесенн покрыТИЙ в вакууме, содержащее дозатор, расположенный над испарителем, вылолиенным в виде гор-изоитальио расиоложеиной пластины.
В таком устройстве «е исключаетс вли ние материала испарител на со€та в покрыти .
Цель изобретени -исключение этого вли ни .
В предлагаемо устройстве дл нанесени покрытий в вакууме испаритель выпол.нен в виде двух подключенных к источнику высоковольтного напр жени пластин, смонтированных BepTHiKavTbHo « образующих щель дл пролета частиц, и снабжен емкостью дл сбора неисиарившихс частиц.
На чертеже представлено предлагаемое устройство .
Устройство состоит из дозатора /, расположеиного над испарителем, выпол.ненным в виде двух подключенных к источнику 2 высоковольтного напр жени пластии 3, смонтированных вертикально .и образующих щель
ДЛЯ пролета частиц, и снабженным емкостью4 дл сбора неиспаривш.ихс частиц.
Устройство работает следующим образо,м.
После разогрева пластин 3 к ним (Подводитс знакопеременное напр жение от источника 2, в вертикальной между пластинами образуетс знакопеременное электр.ическое поле. Частицы испар емых металлов, пролета через щель, нагреваютс до температуры испаре 1и и испар ютс . Не успевшие «спаритьс частицы пролетают ми.мо пластин, не напада на их поверхность, и собираютс в емкости 4.
Предмет изобретени
5
Устройство дл нанесени покрытий в вакууме , содержащее дозатор, расположенный над испарителем, отличающеес тем, что, с целью
0 иаключвни вли ни материала ис1пар.ител на состаВ нокгрыти , испаритель вьтолнен в виде двух подключенных к источнику высоковольтного напр жени пластин, смонтированмых вертикально и образующих щ:ель дл пролета
5 частггц, и снабжен емкостью дл сбора не)1Спарадвп1ихс частиц.
У7777(
ZZZrA
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1653206A SU396450A1 (ru) | 1971-05-03 | 1971-05-03 | УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1653206A SU396450A1 (ru) | 1971-05-03 | 1971-05-03 | УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU396450A1 true SU396450A1 (ru) | 1973-08-29 |
Family
ID=20474252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1653206A SU396450A1 (ru) | 1971-05-03 | 1971-05-03 | УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU396450A1 (ru) |
-
1971
- 1971-05-03 SU SU1653206A patent/SU396450A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
GB570552A (en) | Improvements in or relating to methods of and apparatus for coating articles | |
SU396450A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ | |
US2733172A (en) | Apparatus and method of producing | |
US3330252A (en) | Masking device | |
US3129315A (en) | Vacuum vaporizing fixture | |
BE780109A (fr) | Procede de revetement de surfaces leur conferant des proprietesanti-adherence | |
GB1181487A (en) | Apparatus for Vacuum and Short-Path Vacuum Distillation. | |
US2597511A (en) | Selectively demetalizing condenser paper | |
SU659642A1 (ru) | Испаритель дл нанесени сложных соединений материалов | |
ES385606A1 (es) | Perfeccionamientos en los aparatos de proyeccion de mate- rias pulverulentas electrizadas. | |
JPS6465254A (en) | Production of thin metallic film | |
US2549927A (en) | Electrostatic detearing apparatus | |
GB502978A (en) | Improvements in sheets, windows, lenses and other optical devices and other objects formed of so-called "plastic glass" material | |
FR2148644A1 (en) | Uniform thin film prodn - by vacuum deposition from (electron bombardment) heated source with slow large particle trap | |
JPS56149813A (en) | Elastic surface wave device | |
UST892016I4 (en) | Hollander, jr | |
US1812767A (en) | Gas washer | |
SU466300A1 (ru) | Испаритель | |
ES351147A1 (es) | Metodo para depositar material liquido de revestimiento so-bre un articulo. | |
JPS5435176A (en) | Depositing method by vacuum evaporation | |
GB1086731A (en) | Improvements in or relating to distillation apparatus | |
DE967461C (de) | Vorrichtung zum Verdampfen und nachfolgenden Kondensieren von Fluessigkeiten, insbesondere Gemischen, in duenner Schicht | |
ES394782A1 (es) | Un dispositivo evaporador, sustancialmente para un aparato destilador. | |
JPS573831A (en) | Vacuum metallizing method | |
JPH06949B2 (ja) | イオンプレ−テイング装置 |