SU396450A1 - УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ - Google Patents

УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Info

Publication number
SU396450A1
SU396450A1 SU1653206A SU1653206A SU396450A1 SU 396450 A1 SU396450 A1 SU 396450A1 SU 1653206 A SU1653206 A SU 1653206A SU 1653206 A SU1653206 A SU 1653206A SU 396450 A1 SU396450 A1 SU 396450A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
vacuum
evaporator
particles
applying coatings
plates
Prior art date
Application number
SU1653206A
Other languages
English (en)
Inventor
С. Н. Владимиров Ф. В. Урь
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to SU1653206A priority Critical patent/SU396450A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU396450A1 publication Critical patent/SU396450A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

1
Изобретение относитс  к области нанесеии  покрытий ,в 1вакуу : 1е и может быть применено при произзодСтве интегральных схем.
Известно устройство дл  нанесенн  покрыТИЙ в вакууме, содержащее дозатор, расположенный над испарителем, вылолиенным в виде гор-изоитальио расиоложеиной пластины.
В таком устройстве «е исключаетс  вли ние материала испарител  на со€та в покрыти .
Цель изобретени -исключение этого вли ни .
В предлагаемо устройстве дл  нанесени  покрытий в вакууме испаритель выпол.нен в виде двух подключенных к источнику высоковольтного напр жени  пластин, смонтированных BepTHiKavTbHo « образующих щель дл  пролета частиц, и снабжен емкостью дл  сбора неисиарившихс  частиц.
На чертеже представлено предлагаемое устройство .
Устройство состоит из дозатора /, расположеиного над испарителем, выпол.ненным в виде двух подключенных к источнику 2 высоковольтного напр жени  пластии 3, смонтированных вертикально .и образующих щель
ДЛЯ пролета частиц, и снабженным емкостью4 дл  сбора неиспаривш.ихс  частиц.
Устройство работает следующим образо,м.
После разогрева пластин 3 к ним (Подводитс  знакопеременное напр жение от источника 2, в вертикальной между пластинами образуетс  знакопеременное электр.ическое поле. Частицы испар емых металлов, пролета  через щель, нагреваютс  до температуры испаре 1и  и испар ютс . Не успевшие «спаритьс  частицы пролетают ми.мо пластин, не напада  на их поверхность, и собираютс  в емкости 4.
Предмет изобретени 
5
Устройство дл  нанесени  покрытий в вакууме , содержащее дозатор, расположенный над испарителем, отличающеес  тем, что, с целью
0 иаключвни  вли ни  материала ис1пар.ител  на состаВ нокгрыти , испаритель вьтолнен в виде двух подключенных к источнику высоковольтного напр жени  пластин, смонтированмых вертикально и образующих щ:ель дл  пролета
5 частггц, и снабжен емкостью дл  сбора не)1Спарадвп1ихс  частиц.
У7777(
ZZZrA
SU1653206A 1971-05-03 1971-05-03 УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ SU396450A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1653206A SU396450A1 (ru) 1971-05-03 1971-05-03 УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1653206A SU396450A1 (ru) 1971-05-03 1971-05-03 УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU396450A1 true SU396450A1 (ru) 1973-08-29

Family

ID=20474252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1653206A SU396450A1 (ru) 1971-05-03 1971-05-03 УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU396450A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB570552A (en) Improvements in or relating to methods of and apparatus for coating articles
SU396450A1 (ru) УСТРОЙСТВО дл НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ
US2733172A (en) Apparatus and method of producing
US3330252A (en) Masking device
US3129315A (en) Vacuum vaporizing fixture
BE780109A (fr) Procede de revetement de surfaces leur conferant des proprietesanti-adherence
GB1181487A (en) Apparatus for Vacuum and Short-Path Vacuum Distillation.
US2597511A (en) Selectively demetalizing condenser paper
SU659642A1 (ru) Испаритель дл нанесени сложных соединений материалов
ES385606A1 (es) Perfeccionamientos en los aparatos de proyeccion de mate- rias pulverulentas electrizadas.
JPS6465254A (en) Production of thin metallic film
US2549927A (en) Electrostatic detearing apparatus
GB502978A (en) Improvements in sheets, windows, lenses and other optical devices and other objects formed of so-called "plastic glass" material
FR2148644A1 (en) Uniform thin film prodn - by vacuum deposition from (electron bombardment) heated source with slow large particle trap
JPS56149813A (en) Elastic surface wave device
UST892016I4 (en) Hollander, jr
US1812767A (en) Gas washer
SU466300A1 (ru) Испаритель
ES351147A1 (es) Metodo para depositar material liquido de revestimiento so-bre un articulo.
JPS5435176A (en) Depositing method by vacuum evaporation
GB1086731A (en) Improvements in or relating to distillation apparatus
DE967461C (de) Vorrichtung zum Verdampfen und nachfolgenden Kondensieren von Fluessigkeiten, insbesondere Gemischen, in duenner Schicht
ES394782A1 (es) Un dispositivo evaporador, sustancialmente para un aparato destilador.
JPS573831A (en) Vacuum metallizing method
JPH06949B2 (ja) イオンプレ−テイング装置