SU395938A1 - Металлический ввод в кварц - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к газоразр дным приборам и может быть использовано при изготовлении мощных газовых оптических квантовых генераторов (ОКГ), а именно при изготовлении герметичных токовводов в кварц, обеспечивающих подвод больших токов к электродам.

В известном рантовом вводе, содержащем держатель электрода, который припа н-к металлическому колпачку, колпачок, впа нный между стенками кварцевых цилиндров, осуществл ет герметизацию рабочего объема. Стержень спаиваетс  с кварцевой ножкой через компенсатор. Такой ввод отличаетс  простотой конструкции и возможностью работы с больщими токами.

Последнее обсто тельство св зано с тем, что металлический колпачок, используемый дл  герметизации, не  вл етс  токоведущей частью ввода и потому не ограничивает тока. Ток протекает через держатель электрода, припаеваемый к донышку колпачка (или сквозь донышка).

Известный ввод характеризуетс  малой термостойкостью из-за большой разницы температур плавлени  кварца и припо , который используетс  при припайке держател  к колпачку , малой механической прочностью ввода, а также сложностью технологии изготовлени  как отдельных деталей ввода, в частности металлического колпачка, так и всего ввода в целом.

Цель предлагаемого изобретени  - увеличить термостойкость и механическую прочность ввода, упростить технологию его изготовлени .

Это достигаетс  тем, что колпачок соединен с держателем электрода с помощью тонкостенной горловпны, например сваркой, и имеет соотношение толщин стенок юбочки и остальной части колпачка в пределах 1:3 - 1:6; компенсатор расположен на корпусе и горловине колпачка и на части держател  электрода вне зоны герметизации, а соотнощение толщип стенок внутреннего и внешнего кварцевых цилиндров составл ет 1 : 1,5-

1: 2,5.

На фнг. 1 изображен предлагаемый ввод; на фиг. 2 - металлический узел в сборе. Предлагае.мый ввод содержит токоведущий стержень (держатель электрода) /, колпачок

2с горловиной, корпус 3, юбочку 4, гофрированный компенсатор 5, кварцевую нолску 6, внешний кварцевый цилиндр 7, внутренний

кварцевый цилпндр 8 и кварцевый вкладыщ 9. В предлагаемой конструкции ввода металлический колпачок (молибденовый) изготовлен в виде стаканчика с цилиндрической или конусной тонкостенной горловиной. Между

толн;инами стоюк юбочки и остальной частью колпачка выбираетс  определенное соотношение . Колпачок изготавливаетс  из двухстороннекатанной ленты марки МЧ-1 или МЧ-П толщиной 0,2-0,3 мм. Из ленты вырезаетс  диск, из которого затем выт гиваетс  колпачок на токарном станке. Возможна штамповка со сменой промежуточных штампов . После глубокой выт жки или штамповки юбочКа утоньшаетс , например, проточкой, до толщины 50-75 мкм и обрезаетс  по размеру. Чистота по1верхности после проточки должна быть ло 6-7 классу. Уменьшение толщины стенки юбочки до 50-75 мкм необходимо дл  получени  вакуумноплотного соединени  металл-кварц . Минимальна  толщина стенки юбочки колпачка должна быть не менее 50 мкм. При уменьшении толщины стенки резко увеличиваетс  брак во врем  проточки. С другой стороны, толщина стенки должна быть не более 75 мкм, что объ сн етс  невозможностью впаивани  более толстой молибденовой фольги в кварц. Толщина листа исходного материала выбираетс  в пределах 0,2- 0,3 мм. При толщине менее 0,2 мм увеличиваетс  брак по выт жке (колпачок разрываетс ). При толщине более 0,3 мм выт жка усложн етс , что также приводит к браку.

Эти услови  определ ют соотношение между толщинами стенок юбочки и остальной частью колпачка, равное 1 : 3-1 : 6.

Горловина колпачка 2 соедин етс  со стержнем 1 роликовой или аргоно-дуговой сваркой.

По.сле сварки узел провер етс  на герметичность . Затем, на корпусе и горловине колпачка и части держател  электрода вне зоны герметизации закрепл етс  гофрированный

компенсатор 5. Амплитуда гофр лежит в пределах 0,1-0,3 мм. Компенсатор изготовл етс  из молибденовой фольги с по.мощью простейшего штампа в воде гофрированной ленты , свернутой затем в цилиндр.

Брак ио треску кварцевой ножки 6 в месте обжати  полностью исключаетс .

Собранный и проверенный металлический узел устанавливаетс  между двум  коаксиально расположенными кварцевыми цилиндрами 7 и 8, причем соотношение толшин стенок внутреннего и внешнего цилиндров выбрано -в пределах 1 : 1,5-1 : 2,5. Абсолютные геометрические размеры толщин стенок внутреннего и внешнего цилиндров 0,9±0,1 мм и 1,7±0,2 лш, соответственно. Указанные геометрические размеры позвол ют получить надежный спай металла со стеклом.

Предмет изобретени 

Металлический ввод, в кварц, содержащий держатель электрода, гофрированный ко.мпенсатор и колпачок с горловиной, корпусом и юбочкой, впаиваемой между стенками кварцевых цилиндров, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  термостойкости и механической прочности ввода, упрощени  технологии его изготовлени , колпачок соединен с держателем электрода с помощью тоикостенной горловины, например сваркой, и и.меет соотношение толшин стенок юбочки и остальной части колпачка в пределах 1:3-1:6; компенсатор расположен на корпусе и горловине колиачка и на части держател  электрода,

вне зоны герметизации, а соотношение толщин стенок внутреннего и внешнего кварневых цилиндров составл ет 1 : 1,5-1 : 2,5.

652