SU395620A1 - Радиальный турболюлекулярный вакуумный - Google Patents
Радиальный турболюлекулярный вакуумныйInfo
- Publication number
- SU395620A1 SU395620A1 SU1697818A SU1697818A SU395620A1 SU 395620 A1 SU395620 A1 SU 395620A1 SU 1697818 A SU1697818 A SU 1697818A SU 1697818 A SU1697818 A SU 1697818A SU 395620 A1 SU395620 A1 SU 395620A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- steps
- vacuum
- working
- radial
- turbululcular
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к получению вакуума механическими высоковакуумными насосами .
Известны радиальные турбомолекул рные вакуумные насосы, содержащие корпус с установленными в нем роторами встречного вращени , имеющими рабочие и уплотнительные ступени, расположенные по концентрическим окружност м на роторах и сопр женных с ними поверхност х корпуса.
Однако сжатие газа уплотнительными ступен ми меньше, чем рабочими, что ограничивает получение более высокого вакуума.
Предлагаемый насос отличаетс тем, что первые уплотнительные ступени размещены на окружност х, диаметры которых иревыщают диаметры окружностей первых рабочих ступеней . Количество уплотнительных ступеней может превышать количество рабочих ступеней, например, в 1,5-2 раза.
Это позвол ет повысить степень сжати всего насоса.
На чертеже схематично представлен описываемый насос.
Он содержит корпус / со всасывающим фланцем 2. Внутри корпуса установлены роторы 3 встречного вращени и уплотнительные ступени 4, |расположенные па роторах встречного вращени и на сопр женных с ними поверхност х корпуса. Рабочие ступени 5 расположены на роторах встречного вращени .
Пасос работает следующим образом.
Откачиваемый газ поступает -в насос через всасывающий фланец 2 к уплотнительным 4 и рабочим 5 ступен м, откачиваетс ими и выбрасываетс в форвакуумную полость насоса, откуда форвакуумным насосом удал етс в атмосферу.
Предмет изобретени
Claims (2)
1.Радиальный турбомолекул рный вакуумный насос, содержащий корпус с установленными в нем роторами встречного вращени , имеющими рабочие и уплотнительные ступепи , расположенные по концентрическим окружност м на роторах и сопр женных с ними поверхност х корпуса, отличающийс тем, что, с целью повыщени степени сжати , первые уплотнительные ступени размещены на окружност х , диаметры которых превыщают диаметры окружностей первых рабочих ступеней.
2.Насос по п. 1, отличающийс тем, что количество уплотнптельных ступеней превышает количество рабочих ступеней, например, в 1,5-2,0 раза.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1697818A SU395620A1 (ru) | 1971-09-07 | 1971-09-07 | Радиальный турболюлекулярный вакуумный |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1697818A SU395620A1 (ru) | 1971-09-07 | 1971-09-07 | Радиальный турболюлекулярный вакуумный |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU395620A1 true SU395620A1 (ru) | 1973-08-28 |
Family
ID=20488107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1697818A SU395620A1 (ru) | 1971-09-07 | 1971-09-07 | Радиальный турболюлекулярный вакуумный |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU395620A1 (ru) |
-
1971
- 1971-09-07 SU SU1697818A patent/SU395620A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4797068A (en) | Vacuum evacuation system | |
| US3677664A (en) | Rotary mechanical pumps of the screw type | |
| ES403795A1 (es) | Bomba para presiones de servicio elevadas. | |
| ES434508A1 (es) | Perfeccionamientos en compresores anulares de canales late-rales. | |
| GB1397179A (en) | Turbomolecular vacuum pump | |
| DE69104749D1 (de) | Verbesserte Turbomolekularpumpe. | |
| SU395620A1 (ru) | Радиальный турболюлекулярный вакуумный | |
| US3666374A (en) | Rotary molecular vacuum pump | |
| US4295804A (en) | Intermediately cooled air vacuum pump with balancing of the pressures | |
| GB2232445A (en) | A multi-stage vacuum pump | |
| SU383878A1 (ru) | Герметичный ротационный компрессор | |
| GB1355727A (en) | Pump units for the multistage compression of gases | |
| SU383882A1 (ru) | Роторный вакуумный насос-компрессор | |
| SU1020648A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU67734A1 (ru) | Устройство дл защиты вакуумных установок от наполнени маслом при остановке насоса | |
| SU642511A1 (ru) | Жидкостнокольцева машина | |
| SU148656A1 (ru) | Система лабиринтного уплотнени валов газовых турбин | |
| RU1282634C (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| GB953799A (en) | Improvements in or relating to mechanical high vacuum pumps of the roots blower type | |
| SU1459352A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| RU1807242C (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| RU1433133C (ru) | Черпаковый насос | |
| GB179043A (en) | Improved process of and apparatus for production of high vacua | |
| SU435692A1 (ru) | Многоступенчатый центробежный компрессор | |
| SU981697A1 (ru) | Вакуумный агрегат |