SU390201A1

SU390201A1 - DEVICE FOR PROTECTION OF VACUUM INSTALLATION GLASSES

Info

Publication number: SU390201A1
Application number: SU1650999A
Authority: SU
Priority date: 1971-04-26
Filing date: 1971-04-26
Publication date: 1973-07-11

Description

1one

Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме и может быть применено дл защиты стекол вакуумных установок от загр знени .The invention relates to the field of vacuum coating and can be applied to protect glass of vacuum systems from contamination.

Известно устройство дл защиты стекол вакуумной установки от загр знени , содержащее экран с отверстием. Однако такое устройство не предотвращает попадани продукта испарени на стекло, что отрицательно сказываетс на времени использовани последнего .A device for protecting glass of a vacuum installation from contamination is known, which comprises a screen with a hole. However, such a device does not prevent the evaporation product from falling onto the glass, which has a negative effect on the use time of the latter.

Целью изобретени вл етс увеличение срока службы стекла. Это достигаетс тем, что между стеклом и экраном смонтирована камера, снабженна штуцером дл подачи инертного газа.The aim of the invention is to increase the service life of the glass. This is achieved by the fact that a chamber is mounted between the glass and the screen, equipped with a fitting for inert gas supply.

На чертеже показано предлагаемое устройство .The drawing shows the proposed device.

Устройство включает экран / с отверстием , размещенным перед стеклом 2 вакуумной установки 5. Между стеклом и экраном смонтирована камера 4, снабженна штуцером 5 дл подачи инертного газа. Перед отверстием экрана подвижно укреплена заслонка 6, имеюща привод 7, причем привод сблокирован с клапаном подачи газа так, что при закрытом заслонкой отверстии подача газа прекращаетс .The device includes a screen / with a hole placed in front of the glass 2 of the vacuum unit 5. A chamber 4 is mounted between the glass and the screen, equipped with a fitting 5 for supplying an inert gas. A shutter 6 is movably fixed in front of the screen opening, having an actuator 7, the actuator being interlocked with the gas supply valve so that when the aperture is closed with a shutter, the gas supply stops.

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Через щтуцер 5 в камеру 4 натекает инертный газ, например аргон, который, истека через отверстие экрана /, преп тствует проникновению продуктов работы к стеклу 2. Расход нейтрального газа выбираетс таким, что он не вли ет на степень вакуума в установке .An inert gas, for example argon, flows through chamber 5 into chamber 4 and prevents the penetration of work products to glass 2 through the opening of the screen /, and the flow of neutral gas is chosen so that it does not affect the degree of vacuum in the installation.

Предмет изобретени Subject invention

Устройство дл защиты стекол вакуумной установки от загр знени , содержащиее экран с отверстием, отличающеес тем, что, с целью увеличени срока службы, между стеклом и экраном смонтирована камера, снабженна штуцером дл подачи инертного газа.A device for protecting vacuum glasses from contamination, comprising a screen with an aperture, characterized in that, in order to increase the service life, a chamber is mounted between the glass and the screen, equipped with a fitting for inert gas supply.

ГазGas