SU368349A1 - Установка для нанесения покрытий в вакууме - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области вакуумных покрытий.

Известна установка дл  нанесени  покрытий в вакууме, содержаща  откачную систему , вакуумную камеру, механизм вращени  подложек, испаритель и вакуумный ввод. Однако в такой установке измерение температуры нагрева вращающихс  подложек производитс  через вращающийс  коллектор и блок щеток, наход щихс  в вакуумной камере , что уменьщает точность измерени  температуры   увеличивает газовыделени  в вакуумной камере.

Цель изобретени  - повыщение точности измерени  температуры нагрева вращающихс  подложек и уменьщение -газовыделени  в вакуумной камере. Это достигаетс  тем, что вакуумный ввод выполнен в виде вращающегос  полого вала, в полости которого проход т термопары, соеди не1нные одним концом с подложками, а другим - с герметичным штепсельным Разъемом, закрепленным на валу.

На фиг. 1 изображена схематично установка; на фиг. 2 - вал вакуумного ввода.

Установка дл  нанесени  покрытий в вакууме состоит из камеры 1, внутри которой расположены испаритель 2 и вакуумный ввод 3, механизма вращени  4. Ввод 3 выполнен в виде вращающегос  вала, в полости которого проход т термопары 5, соединенные одним концом с подложками 6, а другим - с герметичным штепсельным разъемом 7, закрепленном на валу. На фланце левой крышкй 8 имеетс  испаритель 2, который в рабочем положении находитс  внутри анода 9, на котором креп тс  напыл емые подложки 6.

Вращение на валу вакуумного ввода передаетс  ременной передачей от электродвигател  10, закрепленного на тележке //.

Вал вакуумного ввода 3 (фиг. 2) расположен внутри корпуса 12 и установлен в подшипниках 13. Герметизаци  вала ввода 3 обеспечиваетс - двум  магнитами 14, наход щимис  в корпусе 15, причем полость между магнитами 14 может откачиватьс  форвакуумным насосом через штуцер 16.

На правом конце ввода 3 установлен герметичный штепсельный разъем, причем розетка 17 закреплена в корпусе коллектора 18, кольца которого электрически изолированы друг от друга прокладками 19. К кольцам коллектора припа ны проводники термопар 5, проход щие через герметичный штепсельный разъем 7 к вращающимс  подложкам 6.

Предмет изобретени 

Установка дл  нанесени  покрытий в вакууме , содержаща  откачную систему, камеру , внутри которой расположены испаритель и 1вакуумдый ввод, механизм вращени  подложек , отличающа с  тем, что, с целью повышени  точности измерени  температуры иагрева вращающихс  подложек и уменьшени  источников газовыделени  в ва.куумной

камере, вакуумный ввод выполнен в виде вращающегос  полого вала, в полости которого проход т термопары, соединенные одним концом с подложками, а другим - с герметичным штепсельным разъемом, закрепленном на валу.

X baxgi MHOu г.игтрме

73

Фиг 2