SU364048A1 - Способ контроля фотогравировальных устройств - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области электронsioro машииостроенн , а именно, к фотолитографическому оборудованию дл  изготовлени  микрорельефов иа иоверхиостп иолунроводииковой иодложки или фотошаблоиа.

Величина относительной несовмещаемости хомилекта фотоилаблонов дл  изготовлени  интегральных схем  вл етс  его главной метрологической характеристикой, котора  в свою очередь оиредел ет иаимеиыние размеры элементов интегральных схем и иаименыиие зазоры между этими элементами. Эта характерисгика комилекта фотошаблонов целиком онреаел етс  метрологическими характеристиками координатных столов фотогравировальных устройств , наиример фотоштамнов или фотоиабориых устройств, иа которых изготовл ют фогошаблоны . Главиой метрологической харакгеристикой этих устройств, онредел ющей величииу отиоснтельиой иесовмеигаемости изгоговл емого иа них комплекта фотошаблонов,  вл етс  величина иогрешиости координатно|0 иознционироваии  столов.

Эти характеристики фотогравировальных устройств онредел ют обычно но велнчиие относительной несовмеш,аемостн изготовл емого на них комилекта фотошаблонов иутем иоследовательиого комиарироваии  взаимного коордииатиого расноложеин  мультиилииируемых элемеитов фотошаблонов. Эту оиераиню вынолн ют с номощью визуальиых или фотоэлектрических комиараторов. Прои,есс комиарироваии  довольио иродолжнтелеи и трудоемок. Кроме того, собствеииые погрешности комиаратора в значительной стенени вли ют иа иогрешиость относительной иесовмещаемости провер емых фотошаблонов.

Цель изобретени  - новышенне точности ироверки метрологическнх характеристик проекиноииых фотогравировальиых устройств.

Цель достигаетс  тем, что на светочувствительиую иластнну иутем маскироваии  ироизвод т последовательную двухкоордниатную мультииликацию изображеиий двух участков взаимио иерпенднкул риых штриховых зиаков до образовани  на пластине иолных изображений этих знаков, а величину иогреи1иости координатного иозиционировани  определ ют по величиие разброса иоложеннй изображеиий участков штриховых знаков одно относительно другого.

На фиг. 1 иоказ.и; один из вариантов фотонабора изображений двух взаимио иериеидикул риых штрихоп методом носледовательного маск1 роваип ; иа фиг. 2-свсточувствнтельна  иластина, на поверхность KOTOpoii ироизведеиа двухкоордииатиа  мультиилш аци  иоследовательиых участков взаимно нернендикул рных штрихов; на фиг. 3 - другой вариант фотонабора нзображени ортогональных штрнхов;