SU356599A1 - УСТРОЙСТВО дл ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕПЛОВОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к области электронной техники и предназначено дл  контрол  параметров полупроводниковых приборов в процессе их производства.

Известно устройство дл  определени  теплового сопротивлени  полупроводниковых приборов, содержащее источник греющего импульсного тока, источник измерительного тока, термопару дл  определени  температуры основани  испытуемого прибора и регистрирующий прибор.

Известное устройство имеет низкую точность измерений, так как определение теплового сопротивлени  производ т по градуировочным кривым и расчетным формулам.

Цель изобретени  - повышение точности и автоматизаци  процесса измерений тепловых сопротивлений испытуемых полупроводниковых приборов.

Дл  этого предлагаемое устройство содержит два инфракрасных датчика температуры, выходы которых соединены с блоком вычитани , источник посто нного тока соединен с измерителем мощности, выход которого соединен с блоком делени , второй вход блока делени  соединен с блоком вычитани , а выход блока делени  соединен с регистрирующим прибором.

Устройство содержит источник / посто нного греющего тока, остронаправленные инфракрасные датчики 2 и 3 температуры, измеритель мощности 4, узел автоматического выполнени  арифметических операций, состо щий из блока вычитани  5 и блока делени  6, регистрирующий прибор 7, клеммы 8 и 9 дл  подключени  испытуемого прибора.

Устройство работает следующим образом.

Посто нный греющий ток от источника /, проход  через испытуемый прибор, подключенный к клеммам 8 и 9 вызывает его нагрев до установившейс  температуры. Инфракрасное излучение структуры и основани  полупроводникового прибора попадает на соответствующие датчики 2 и 5, которые вырабатывают выходные напр жени , пропорциональные температурам структуры и основани . Полученные напр жени  поступают на блок

0 вычитани  5, напр жение на выходе которого пропорционально разности температур структуры и основани  испытуемого прибора.

Измеритель мощности 4, на входы которого поступает посто нный греющий ток и па5 дение напр жени  с испытуемого прибора, вырабатывает выходное напр жение, пропорциональное мощности, выдел емой на полупроводниковой структуре. Блок делени  6 выполн ет операцию делени  -напр жени , пропорционального разности температур, постулающего с блока 5, на напр жение, пропорциональное мощности потерь, поступающее с измерител  мощности 4. Выходное напр жение блока делени , пропорциональное величине теплового сопротивлени  между полупроводниковой структурой и основанием испытуемого прибора, поступает на регистрирующий прибор 7, непосредственно показывающий значение теплового сопротивлени . Предлагаемое устройство обеспечивает высокую точность измерений и может быть использовано дл  автоматического контрол  качества полупроводниковых приборов при их массовом производстве. Предмет изобретени  Устройство дл  определени  теплового сопротивлени  полупроводниковых приборов, содержащее источник посто нного тока и регистрирующий прибор, отличающеес  тем, что, с целью повыщени  точности и автоматизации процесса измерений, оно содержит два инфракрасных датчика температуры, выходы которых соединены с блоком вычитани , источник посто нного тока соединен с измерителем мощности, выход которого соединен с блоком делени , второй вход блока делени  соединен с блоком вычитани , а выход блока делени  соединен с регистрирующим прибором .