JP2003042858A - 温度センサの動的校正装置及び温度センサの動的校正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高温条件下での温度センサの高信頼度の校正の
ための技術の確立。 【解決手段】短秒時にレーザーを標準品５Ｆ（図示せ
ず）と校正対象の熱電対５Ｓにそれぞれに照射する。そ
の時のレーザーの強度ｑ／ａを測定する。ａは、パラメ
ータであり平均定数である。それぞれの温度変化量Ｔ１
（ｔ），Ｔ２（ｔ）を計算機に入力する。レーザ強度Ｑ
１（ｔ），Ｑ２（ｔ）を因子とする関数Ｆ（ｔ−τ）・
Ｑ１（ｔ）及び関数Ｆ２（ｔ−τ）・Ｑ１（ｔ）を積分
範囲を時間幅として変数τに関してそれぞれに積分し、
第１，２供試体５Ｆ，５Ｓの温度変化量をそれぞれの積
分値を因数として持つ量で割って第１，２供試体５Ｆ，
５Ｓのそれぞれの既知物性値と未知定数との第１因子を
持つ量を計算してその未知定数を既知定数として求め
る。同一系の２つの同形式中に互いに未知数である物性
値とパラメータａと既知数である物性値とパラメータａ
が入れ代わっているので、アナロジックに両未知数が求
められる。同形関数からアナロジックに求められた校正
値は、その系で信頼度が高い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、温度センサの動的
校正装置及び温度センサの動的校正方法に関し、特に、
高エンタルピー風洞のような特別な環境に置かれ温度が
数ミリ秒の短秒時で変化し熱的に非定常時の熱電対のよ
うな温度センサの校正を行うための温度センサの動的校
正装置及び温度センサの動的校正方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】エンジンの燃焼試験、タービンの回転試
験を行うために風洞が用いられる。このような風洞の中
は、高温状態にありそのエンタルピーが高い。温度の検
出のために、熱電対が用いられる。熱電対は、基準に対
して校正されて用いられる。計測される温度が定常状態
である低エンタルピー状態での熱電対の校正は、定常状
態の基準温度センサとの比較により校正されうる。カバ
ー、絶縁材、熱電対線から構成されている熱電対の校正
は、それらの構成部品の個々について定常状態での計測
を行って校正し、全体の校正は計算により求めてその物
性値（ρ（＝密度）・Ｃ（＝比熱）・ｋ（＝熱伝導
率））を正しく知ることができる。

【０００３】計測される温度が非定常状態である高エン
タルピー環境におかれ温度が数ミリ秒の間に動的に変化
する熱電対の校正は、定常状態での基準温度センサとの
比較によっては校正することができない。高エンタルピ
ー下での熱電対のような温度センサの校正のための技術
は、これまで知られていない。

【０００４】高エンタルピー風洞模型のような物体の表
面に負荷される入熱量は、短秒時に計測が完了される量
である。表面層でのみ変化する物理量が計測される。熱
電対もその表面層のみで、短秒時に温度変化する。校正
された熱電対を用いて、短秒時に計測された温度時刻歴
から、半無限１次元熱伝導解を求めることにより、熱電
対表面のみに負荷された加熱量を求めることが要請され
ている。

【０００５】高温条件下での温度センサの校正のための
技術の確立が求められる。更には、短秒時の間のダイナ
ミックな温度変化を検出して高精度な校正を行って、セ
ンサ面の表層部のみに温度変化が生じるために短秒時で
計測を完了させなければならない温度センサの高精度の
校正を行う技術の確立が急務である。更には、空気中で
の水分の吸湿度が１本１本で異なる校正対象の熱電対の
全体を単体として校正するようにすることが好ましい。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、高温
条件下での温度センサの校正のための技術を確立するこ
とができる温度センサの動的校正装置及び温度センサの
動的校正方法を提供することにある。本発明の他の課題
は、高温条件下での温度センサの信頼度の高い校正のた
めの技術を確立することができる温度センサの動的校正
装置及び温度センサの動的校正方法を提供することにあ
る。本発明の更に他の課題は、更に、短秒時の間のダイ
ナミックな温度変化を検出して高精度な校正を行うこと
ができる温度センサの動的校正装置及び温度センサの動
的校正方法を提供することにある。本発明の更に他の課
題は、更に、センサ面の表層部のみに温度変化が生じる
ために短秒時で計測を完了させなければならない温度セ
ンサの高精度の校正を行う技術を確立することができる
温度センサの動的校正装置及び温度センサの動的校正方
法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】その課題を解決するため
の手段が請求項に対応して表現される次の記載中に現れ
る（）つきの数字は、請求項の記載事項が詳しく後述さ
れる実施の複数の形態のうちの少なくとも１つの形態の
部材、工程、動作に対応することを示すが、本発明の解
決手段がそれらの数字が示す実施の形態の部材に限定し
て解釈されるためのものではなく、その対応関係を明白
にするためのものである。

【０００８】本発明による温度センサの動的校正装置
は、短秒時にレーザー光束を誘導放出するパルス発振器
（２）と、そのレーザー光束を第１光束（４）と第２光
束（７）に分離するための分離器（３）と、第２光束
（７）のレーザー強度を計測するための計測器（８）
と、標準品でありその温度変化量を計測する第１供試体
（５Ｆ）と、物性値の校正が行われその温度変化量を計
測する校正対象の第２供試体（５Ｓ）とを交換自在に装
着するための固定治具と、前記第１供試体（５Ｓ）と前
記第２供試体（５Ｆ）とによりそれぞれに計測され時刻
を関数とする温度変化量Ｔ１（ｔ），Ｔ２（ｔ）に対応
する第１電気信号（６’）と、前記計測器（８）により
計測される前記レーザー強度に対応する第２電気信号
（９’）とが入力される計算機（１４）とからなり、計
算機（１４）は第１供試体（５Ｆ）に関する計測時にお
ける時刻ｔの関数であるレーザ強度Ｑ１（ｔ）及び第２
供試体（５Ｓ）に関する計測時における時刻ｔの関数で
あるレーザ強度Ｑ２（ｔ）を因子とする関数Ｆ１ （ｔ
−τ）・Ｑ１（ｔ）及び関数Ｆ２（ｔ−τ）・Ｑ１
（ｔ）を積分範囲を時間幅として変数τに関してそれぞ
れに積分する積分部分と、第１供試体（５Ｆ）の温度変
化量を積分部分により積分された第１積分値を因数とし
て持つ量で割って第１供試体（５Ｆ）の既知物性値と未
知定数との第１因子を持つ量を計算してその未知定数を
既知定数として求める第１割算部分と、第２供試体（５
Ｓ）の温度変化量を積分部分により積分された第２積分
値を因数として持つ量で割って第２供試体（５Ｓ）の未
知物性値と既知定数との第２因子を第１供試体（５Ｆ）
に関する第１因子と同形で持つ量を計算する第２割算部
分とを備えている。

【０００９】同じシステムを用いて標準品である第１供
試体（５Ｆ）と校正対象である第２供試体（５Ｓ）につ
いて、２つの関数関係を計測値と計算値とで同形式で表
し、一方の式からその式中の既知の物性値を用いてその
式中の未知数のパラメータを既知化し、他方の式ではそ
の既知パラメータを用いてその式中の未知の物性値を計
算により求めることになるので、同じ系において、未知
物性値の高精度な校正を行うことができる。計測値は時
刻列として求められ、ダイナミックな変化をする非定常
状態の物性値を求め、それを校正値として使用すること
ができる。

【００１０】第１因子の既知物性値は、第１，２供試体
（５Ｆ，５Ｓ）がカロリーメータであれば、第１供試体
（５Ｆ）のρ・Ｃｐ・ｋである。ρはその密度、Ｃｐは
その比熱、ｋはその熱伝導率である。第１因子の未知定
数は、パラメータとしての平均定数ａであり、この場
合、第１因子は、ａ／｛第１供試体（５Ｆ）の（ρ・Ｃ
ｐ・ｋ）の平方根｝で表される。レーザ強度Ｑ１（ｔ）
は、関数ｑ１（ｔ）／ａで表され、レーザ強度Ｑ２
（ｔ）は関数ｑ２（ｔ）／ａで表され、これら強度に関
する因子は同形である。

【００１１】第２因子の未知物性値は、第２供試体のρ
・Ｃｐ・ｋである。第２因子の既知定数は求められた平
均定数ａである。第２因子は、ａ／｛第２供試体（５
Ｓ）の（ρ・Ｃｐ・ｋ）の平方根｝で表される。第１因
子も第２因子も、同形で表される。このように２つの同
形関係式を用いて、アナロジックに未知の物性値が校正
値として実測と計算とにより求められ得るので、同一系
において、その校正値はその信頼度が高い。

【００１２】本発明による温度センサの動的校正方法
は、言い換えれば、パルスレーザーを第１光束（４）と
第２光束（７）とに分離するためのステップと、第１光
束（４）を第１供試体（５Ｆ）に照射して第１供試体
（５Ｆ）の温度変化Ｔ１（ｔ）を計測するステップと、
あるパラメータをａで表して第２光束（７）のレーザー
強度ｑ１／ａを計測するためのステップと、他のパルス
レーザーを他の第１光束（４）と他の第２光束（７）と
に分離するためのステップと、他の第１光束（４）を第
２供試体（５Ｓ）に照射して第２供試体（５Ｓ）の温度
変化Ｔ２（ｔ）を計測するステップと、他の第２光束
（７）の他のレーザー強度ｑ２／ａを計測するためのス
テップと、レーザー強度ｑ１／ａを因子とする関数Ｆ１
（ｔ−τ）・（ｑ１／ａ）を積分して第１積分値を計算
するためのステップと、第１積分値で温度変化Ｔ１
（ｔ）を割って、パラメータａを分子とし第１供試体
（５Ｓ）の既知の物性値（ρ・Ｃｐ・ｋ）の平方根を分
母とする第１因数を算出するためのステップと、他のレ
ーザー強度ｑ２／ａを因子とする関数Ｆ（ｔ−τ）・
（ｑ２／ａ）を積分して第２積分値を計算するためのス
テップと、第２積分値で温度変化Ｔ２（ｔ）を割って、
既知のパラメータａを分子とし第２供試体（５Ｓ）の未
知の物性値（ρ・Ｃｐ・ｋ）の平方根を分母とする第２
因数を算出するためのステップと、第２因数を既知のパ
ラメータａで割って第２供試体の未知の物性値（ρ・Ｃ
ｐ・ｋ）を求めるためのステップとからなる。

【００１３】このようなステップスで表される校正方法
は、既述の通りのアナロジックな算出の作用効果を共有
している。同一系の同一関数形により求めた物性値は、
ダイナミックな系において、高精度の校正物性値として
共通に使用することができる。第２供試体として熱電対
が用いられる場合に、特に、その校正値は有効である。
なお付記すれば、計算機による計算は、その計算順序に
よらず、同じ結果を導くあらゆるプロセスの変化例えば
迂回計算を含めて、同じ計算であるとみなす。積分計算
では、積分領域を変更して、積分定数を正負に足し加え
ることは、迂回計算の一例である。式とその式に恒等な
式のそれぞれの計算は、同じ計算とみなす。そのように
みなさなければ、数式が現れる請求項は、請求項として
の意義が完全に消失する。

【００１４】

【発明の実施の形態】図に一致対応して、本発明による
温度センサの動的校正装置に、レーザー電源１が設けら
れている。レーザー電源１により励起されルビー・光学
結晶体が用いられている高密度レーザーを出力すること
ができるルビーレーザー発振装置２がレーザー電源１に
接続されている。ルビーレーザー発振装置２から出力さ
れるレーザーは、プリズム３により２光束に分束され
る。

【００１５】プリズム３により分束される第１光束４
は、供試体５に照射される。供試体５は、エネルギー関
連量を検出するためのエネルギー関連量検出手段であ
り、後述するように、基準検出体と被校正検出体とが置
換されて、レーザー照射位置に置かれる検出手段であ
る。第１供試体５の基準検出体は、物性値が標準化され
て既知になっているカロリーメータ５Ｆ（図示せず）で
ある。第２供試体の被校正検出体は、熱電対５Ｆであ
る。供試体５は、固定治具１０に固定されて試験器具本
体（図示せず）に装着される。

【００１６】供試体５は、これが検出したエネルギー関
連量を電圧信号などの第１電気信号６に変換してそれを
出力することができる温度センサーである。プリズム３
により分束される第２光束７は、フォトセンサー８に入
射する。フォトセンサー８は、第２光束７のエネルギー
関連量を検出するためのエネルギー関連量検出手段であ
り、これが検出したエネルギー関連量を電圧信号などの
第２電気信号９に変換してそれを出力することができる
温度センサーである。

【００１７】第１電気信号６、第２電気信号９とは、シ
グナルコンディショナ１１に入力される。第１電気信号
６、第２電気信号９とは、シグナルコンディショナ１１
によりＡ／Ｄ変換され、高速メモリ装置１２に入力され
る。高速メモリ装置１２は、このように変換された第１
デジタル信号６’，第２デジタル信号９’をリアルタイ
ムで高速に記録する。

【００１８】電源１は、ルビーレーザ発振装置２の出力
を制御することができる。その出力の制御は、共振ミラ
ーの一方の回転速度の制御、ルビーに供給する励起用光
の光源の一瞬の電力量の制御により行うことができる。
その時の出力パワーの制御値は、レーザーパワーメータ
１３で表示することができる。

【００１９】レーザーパワーメータ１３は、レーザー電
源１の出力電圧・電流量を表示することができるよう
に、ルビーレーザ発振装置２とレーザー電源１との間に
直列に又は並列に介設される。ルビーレーザー発振装置
２から出力されるレーザーパルスは、数ミリ秒以下好ま
しくは２ミリ秒以下の短時間幅で瞬間的に誘導放出され
時間的にも空間的にも高密度のエネルギーを持つ。供試
体５は、それの測定される部分の表面が入射する第１光
束４のビーム又はその光軸に直交するようにセットされ
る。

【００２０】高速メモリ装置１２に記録された第１デジ
タル信号６’，第２デジタル信号９’は、データ処理装
置１４に送信される。第１デジタル信号６’，第２デジ
タル信号９’は、データ処理装置１４内でインターフェ
ース１５を介してパソコン１６に入力される。

【００２１】パソコン１６は、横軸を時間ｔとし縦軸を
供試体５の表面温度Ｔとするグラフである関数Ｔ（ｔ）
を作成することができる。このように作成される関数Ｔ
（ｔ）は、供試体５が標準カロリーメータである場合の
標準温度関数Ｔ１（ｔ）と、供試体５が校正対象である
熱電対である場合の校正対象温度関数Ｔ２（ｔ）との２
つである。パソコン１６は、更に、横軸を時間ｔとし縦
軸をフォトセンサ８が計測するフォトセンサ計測値とす
るレーザ強度関数Ｑ（ｔ）を作成することができる。パ
ソコン１６がこのように作成する標準温度関数Ｔ１
（ｔ）、校正対象温度関数Ｔ２（ｔ）、レーザ強度関数
Ｑ（ｔ）は、これらをプリンタ１７に出力させて視覚化
することができる。

【００２２】このような電気光学系により、データ処理
を行って、校正対象の熱電対の物性値であるρ・Ｃｐ・
ｋを計算によりつぎのようなステップにより求めること
ができる：ρ＝密度、Ｃｐ＝比熱、ｋ＝熱伝導率。

【００２３】ステップ１：標準化されている供試体５Ｆ
であるカロリーメータを固定治具１０にセットする。そ
の標準化によりカロリーメータの第１物性値ρ・Ｃｐ・
ｋは、定められており、既知の定数である。２ミリ秒以
下の狭い時間幅の高密度レーザパルスをルビーレーザー
発振装置２から発射させる。

【００２４】ステップ２：第１光束４が照射されるカロ
リーメータは、第１デジタル信号６’を出力し、その出
力値である第１デジタル信号６’はパソコン１６に入力
され、図２に示されるように、標準温度関数Ｔ１（ｔ）
が作成される。同時に第２光束７がフォトセンサー８に
入射し、第２デジタル信号９’がパソコン１６に入力さ
れ、図３に示されるように、第１レーザ強度関数Ｑ１
（ｔ）が作成される。

【００２５】ステップ３：標準温度関数Ｔ１（ｔ）は、
下記理論式により表現される。

【数１】 丸２で示される右辺の第１因子の分母のａは平均定数で
あり、その平均定数ａは式（１）では未知数である。そ
の第１因子の分子のカロリーメータの第１物性値ρ・Ｃ
ｐ・ｋは、既述の通り、既知定数である。丸３で示され
る右辺の第２因子の被積分関数の分子は、第１レーザ強
度関数Ｑ１（ｔ）であり、フォトセンサ８により直接に
計測されている。式（１）で、右辺の全体に係数をかけ
ることは自由である。その係数としては、１パルスのレ
ーザーの全体のカロリーとフォトセンサ８に入射するエ
ネルギーの比に関する係数が含まれる。 Ｑ１（ｔ）＝ｑ１（ｔ）／ａ．・・・（２） 式（２）中、その分母は平均定数ａである。量｛ｑ１
（ｔ）／ａ｝が、フォトセンサ８により実測される。

【００２６】ステップ４：実測値Ｔ１（ｔ）、実測値を
含む理論値を積分計算により求めた丸３で示される第２
因子、第１物性値ρ・Ｃｐ・ｋは、既知であるので、式
（１）から未知数である平均定数ａがパソコン１６によ
り求められる。この計算により、図４に示されるよう
に、平均値ａは、図１に示す電気光学系において既知定
数になる。時間の関数である図３の値ｑ（ｔ）／ａで時
間の関数である図１の温度Ｔ（ｔ）を割るときは、その
同じ時刻の値ｑ（ｔ）／ａと温度Ｔ（ｔ）とが用いられ
るので、それぞれに、その時刻の比が計算され、図４に
示す時間の関数である比が得られる。これにより平坦な
部分の時間長さが、平均定数ａになる。

【００２７】ステップ５：固定治具１０からカロリーメ
ータが取り外され、その代わりに、第２供試体である熱
電対５Ｓが固定治具１０に取り付けられる。図１は、こ
の状態を示している。再度、レーザーがルビーレーザー
発振装置２から発射される。第１光束４が照射される熱
電対は、第１デジタル信号６’を出力し、その出力値で
ある第１デジタル信号６’はパソコン１６に入力され、
図５に示されるように、標準温度関数Ｔ２（ｔ）が作成
される。同時に第２光束７がフォトセンサー８に入射
し、第２デジタル信号９’がパソコン１６に入力され、
図６に示されるように、第２レーザ強度関数Ｑ２（ｔ）
が作成される。

【００２８】ステップ６：標準温度関数Ｔ１（ｔ）は、
前記理論式と同形の下記理論式で表現される。

【数２】 右辺の第１因子の分母のａは、式（１）により既知の平
均定数であり、その第１因子の分母の熱電対の第２物性
値ρ・Ｃｐ・ｋは、未知数である。第２因子の被積分関
数の分子は、第２レーザ強度関数Ｑ２（ｔ）であり、フ
ォトセンサ８により直接に計測され、式（３）により示
される。 Ｑ１（ｔ）＝ｑ２（ｔ）／ａ．・・・（４） 式（４）中、その分母は既知平均定数ａである。量｛ｑ
２（ｔ）／ａ｝が、フォトセンサ８により実測される。

【００２９】ステップ７：実測値Ｔ２（ｔ）、実測値を
含む理論値を積分計算により求めた右辺第２因子、平均
定数ａは、既知であるので、式（３）から、未知数であ
る第２物性値ρ・Ｃｐ・ｋがパソコン１６により求めら
れる。この計算により、熱電対の（第２）物性値ρ・Ｃ
ｐ・ｋは、図１に示す電気光学系において、既知定数に
なる。

【００３０】このように標準値との比較で求められた熱
電対の（第２）物性値ρ・Ｃｐ・ｋは、カバー、絶縁
材、熱電対線を含めた単体の物性値である。図１に示さ
れる光学系の計測システムの一部の供試体は、真空排気
系１７（図１参照）の中に配置することができる。この
場合の熱電対物性値は、湿度に影響されず高精度に校正
された物性値である。非定常状態を形成することがで
き、その入熱量の値の高精度計測が容易である高密度パ
ルスレーザーの使用により、校正の精度が極めて高く、
且つ、その信頼性が高い。

【００３１】標準品としてのカロリーメータとして、薄
膜センサが用いられている。この薄膜センサは、三菱重
工・高砂研究所が開発した高分解能センサであり、０．
５ミリ秒以下の時間幅のレーザーの入熱量を高分解能の
時刻歴で検出することができる温度センサである。

【００３２】このように物性値が校正された熱電対は、
高エンタルピー風洞模型の表面に装着されて使用され
る。高エンタルピー風洞模型のような物体の表面に負荷
される入熱量は、短秒時に計測が完了される量である。
表面層でのみ変化する物理量が計測される。熱電対もそ
の表面層のみで、短秒時に温度変化する。このように校
正された熱電対を用いて、短秒時に計測された温度時刻
歴から、半無限１次元熱伝導解を求めることにより、熱
電対表面のみに負荷された加熱量を求めることができ
る。

【００３３】

【発明の効果】本発明による温度センサの動的校正装置
及び温度センサの動的校正方法は、非定常状態の温度に
関する物性値の校正の信頼度が高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明による温度センサの動的校正装
置の実施の形態を示す電気光学回路図である。

【図２】図２は、時間ｔを変数とする温度を示すグラフ
である。

【図３】図３は、時間ｔを変数とするレーザー強度を示
すグラフである。

【図４】図４は、時間を変数とする計算値を示すグラフ
である。

【図５】図５は、時間ｔを変数とする他の温度を示すグ
ラフである。

【図６】図６は、時間ｔを変数とする他のレーザー強度
を示すグラフである。

【符号の説明】

２…ルビーレーザ発信装置（パルス発振器） ３…分離器（プリズム） ４…第１光束 ５Ｆ…第１供試体（カロリーメータ、交換部材のため図
に表れない） ５Ｓ…第２供試体（熱電対） ６’…第１デジタル信号 ７…第２光束 ８…計測器（フォトセンサー） ９’…第２デジタル信号 １４…計算機 Ｔ１（ｔ），Ｔ２（ｔ）…温度変化量 Ｑ１，Ｑ２…レーザ強度

フロントページの続き (72)発明者 中川 博高 愛知県名古屋市港区大江町10番地 三菱重 工業株式会社名古屋航空宇宙システム製作 所内 Ｆターム(参考） 2F056 XA05

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】短秒時にレーザー光束を誘導放出するパル
   ス発振器と、 前記レーザ光束を第１光束と第２光束に分離するための
   分離器と、 前記第２光束のレーザー強度を計測するための計測器
   と、 標準品でありその温度変化量を計測する第１供試体と物
   性値の校正が行われその温度変化量を計測する校正対象
   の第２供試体とを交換自在に装着するための固定治具
   と、 前記第１供試体と前記第２供試体とによりそれぞれに計
   測され時刻を関数とする温度変化量Ｔ１（ｔ），Ｔ２
   （ｔ）に対応する第１電気信号と、前記計測器により計
   測される前記レーザー強度に対応する第２電気信号とが
   入力される計算機とからなり、 前記計算機は、 前記第１供試体に関する計測時における時刻ｔの関数で
   ある前記レーザ強度Ｑ１（ｔ）及び前記第２供試体に関
   する計測時における時刻ｔの関数である前記レーザ強度
   Ｑ２（ｔ）を因子とする関数Ｆ１（ｔ−τ）・Ｑ１
   （ｔ）及び関数Ｆ２（ｔ−τ）・Ｑ１（ｔ）を積分範囲
   を時間幅として変数τに関してそれぞれに積分する積分
   部分と、 前記第１供試体の前記温度変化量を前記積分部分により
   積分された第１積分値を因数として持つ量で割って前記
   第１供試体の既知物性値と未知定数との第１因子を持つ
   量を計算して前記未知定数を既知定数として求める第１
   割算部分と、 前記第２供試体の前記温度変化量を前記積分部分により
   積分された第２積分値を因数として持つ量で割って前記
   第２供試体の未知物性値と前記既知定数との第２因子を
   前記第１供試体に関する前記第１因子と同形で持つ量を
   計算する第２割算部分とを備える温度センサの動的校正
   装置。
2. 【請求項２】請求項１において、 前記第１因子の既知物性値は、第１供試体のρ・Ｃｐ・
   ｋの平方根であり、ρはその密度、Ｃｐはその比熱であ
   り、ｋはその熱伝導率であり、前記第１因子の未知定数
   は、パラメータとしての平均定数ａであり、 前記第１因子は、ａ／｛前記第１供試体の（ρ・Ｃｐ・
   ｋ）の平方根｝で表され、 前記レーザ強度Ｑ１（ｔ）は関数ｑ１（ｔ）／ａで表さ
   れ、前記レーザ強度Ｑ２（ｔ）は関数ｑ２（ｔ）／ａで
   表されることを特徴とする温度センサの動的校正装置。
3. 【請求項３】請求項２において、 前記第２因子の既知物性値の未知物性値は、前記第２供
   試体のρ・Ｃｐ・ｋの平方根であり、ρはその密度、Ｃ
   ｐはその比熱であり、ｋはその熱伝導率であり、 前記第２因子の前記既知定数は求められた前記平均定数
   ａであり、 前記第２因子は、ａ／｛前記第２供試体の（ρ・Ｃｐ・
   ｋ）の平方根｝で表されることを特徴とする温度センサ
   の動的校正装置。
4. 【請求項４】請求項３において、 前記第１供試体は熱電対であることを特徴とする温度セ
   ンサの動的校正装置。
5. 【請求項５】パルスレーザーを第１光束と第２光束とに
   分離するためのステップと、 前記第１光束を第１供試体に照射して前記第２供試体の
   温度変化Ｔ１（ｔ）を計測するステップと、 あるパラメータをａで表して前記第２光束のレーザー強
   度ｑ１／ａを計測するためのステップと、 他のパルスレーザーを他の第１光束と他の第２光束とに
   分離するためのステップと、 前記他の第１光束を第２供試体に照射して前記第２供試
   体の温度変化Ｔ２（ｔ）を計測するステップと、 前記他の第２光束の他のレーザー強度ｑ２／ａを計測す
   るためのステップと、 前記レーザー強度ｑ１／ａを因子とする関数Ｆ（ｔ−
   τ）・（ｑ１／ａ）を積分して第１積分値を計算するた
   めのステップと、 前記第１積分値で前記温度変化Ｔ１（ｔ）を割って、前
   記パラメータａを分子とし前記第１供試体の既知の物性
   値（ρ・Ｃｐ・ｋ）の平方根を分母とする第１因数を算
   出するためのステップと、 前記他のレーザー強度ｑ２／ａを因子とする関数Ｆ（ｔ
   −τ）・（ｑ２／ａ）を積分して第２積分値を計算する
   ためのステップと、 前記第２積分値で前記温度変化Ｔ２（ｔ）を割って、既
   知の前記パラメータａを分子とし前記第２供試体の未知
   の物性値（ρ・Ｃｐ・ｋ）の平方根を分母とする第２因
   数を算出するためのステップと、 前記第２因数を前記既知のパラメータａで割って前記第
   ２供試体の未知の物性値（ρ・Ｃｐ・ｋ）を求めるため
   のステップとからなる温度センサの動的校正方法。
6. 【請求項６】請求項５において、 前記第２供試体は熱電対であることを特徴とする温度セ
   ンサの動的校正方法。