RU2577389C1 - Способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков - Google Patents

Способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков Download PDF

Info

Publication number
RU2577389C1
RU2577389C1 RU2014145948/28A RU2014145948A RU2577389C1 RU 2577389 C1 RU2577389 C1 RU 2577389C1 RU 2014145948/28 A RU2014145948/28 A RU 2014145948/28A RU 2014145948 A RU2014145948 A RU 2014145948A RU 2577389 C1 RU2577389 C1 RU 2577389C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
thermoelectric
sensor
heat flux
sensitivity
calibrating
Prior art date
Application number
RU2014145948/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Геннадий Гюсамович Громов
Original Assignee
Геннадий Гюсамович Громов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Геннадий Гюсамович Громов filed Critical Геннадий Гюсамович Громов
Priority to RU2014145948/28A priority Critical patent/RU2577389C1/ru
Priority to PCT/RU2016/000011 priority patent/WO2016122351A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2577389C1 publication Critical patent/RU2577389C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K17/00Measuring quantity of heat
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K19/00Testing or calibrating calorimeters
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N10/00Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
    • H10N10/01Manufacture or treatment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области теплометрии и может быть использовано при калибровке датчиков теплового потока. Способ калибровки термоэлектрического датчика теплового потока заключается в том, что собственное электрическое сопротивление датчика теплового потока измеряют при пропускании переменного тока величины от 1 до 20 мА, а термоэлектрическую добротность измеряют при пропускании постоянного тока величины от 1 до 20 мА, после чего определяют чувствительность термоэлектрического датчика из следующего выражения:
Figure 00000013
где
Se - чувствительность термоэлектрического датчика;
ACR - собственное сопротивление термоэлектрического датчика;
Z - термоэлектрическая добротность датчика;
s - площадь чувствительной поверхности термоэлектрического датчика;
α - коэффициент Зеебека (термоЭДС) термоэлемента;
2N - количество термоэлементов или спаев в термоэлектрическом датчике. Технический результат - повышение точности получаемых данных. 1 з.п. ф-лы, 2 ил., 4 табл.

Description

Область техники
Предлагаемое изобретение относится к области теплометрии и может быть использовано при калибровке датчиков теплового потока.
Уровень техники
В настоящее время при решении задач в области теплометрии широко применяются датчики тепловых потоков на основе дифференциальных термопар (см. US 20130215927, кл. G01K 17/00, опубл. 2013 г.), а также на основе термоэлектрического модуля, где термоэлементы изготовлены из термоэлектрического полупроводникового материала (см. http://shop.greenteg.com/wp-content/uploads/gSKTN_HeatFlux_Datasheet_v3.6.pdf). Так как данные датчики являются измерительным прибором, то для их применения, для обеспечения высокой точности необходима их калибровка, которая позволяет получить величину пропорциональности выходного сигнала данных датчиков к плотности теплового потока. Типичные единицы чувствительности - мкВ/(Вт/м2). Для калибровки таких датчиков теплового потока в настоящее время известно два способа и соответствующее оборудование для их осуществления.
По одному из способов, известного, например, из US 3599474, кл. G01K 17/00, опубл. 1971 г., в датчик теплового потока встраивается эталонный тепловой источник. Калибровка, как таковая, заключается в том, что встроенный эталонный источник включается, обеспечивая прохождение через датчик заданного теплового потока, и замеряется оклик датчика теплового потока. И таким образом определяется его чувствительность.
В качестве эталонного источника может, например, использоваться напыленный на одну из его чувствительных сторон тонкопленочный резистивный нагреватель. Калибровка со встроенным нагревателем заключается в подаче постоянного тока на упомянутый резистивный нагреватель. При известной выделяемой электрической мощности и сигнале отклика датчика определяется его чувствительность. Датчик с таким способом калибровки назван самокалибрующимся, подчеркивая, таким образом, его достоинство в возможности проводить калибровку в любое время без привлечения внешнего оборудования.
Недостатком такого способа является то, что заранее известна доля тепловой мощности, выделяемая эталонным источником, которая проходит через тепловой датчик, и в наилучшем случае она равна половине электрической мощности, но, как правило, на практике такое соотношение не соблюдается, что является причиной ошибок такой калибровки.
Другим недостатком является то, что такой эталонный тепловой источник необходимо разместить в самом датчике, а это усложняет его конструкцию и удорожает производство.
Другой способ, известный, например, из RU 2452927, G01K 19/00, опубл. 2012 г., заключается в применении внешнего эталонного источника теплового потока. При известном тепловом потоке эталонного источника и соответствующем отклике калибруемого датчика теплового потока определяется его чувствительность.
Недостатком данного способа является то, что такая калибровка возможна только с применением специального оборудования, и может проводиться только периодически до использования или при периодическом обслуживании с извлечением теплового датчика из измеряемого объекта.
В связи с этим такой способ калибровки трудоемок, дорог и ограничен в периодичности применения.
Раскрытие изобретения
Задачей изобретения является создание надежного и простого способа калибровки термоэлектрических датчиков теплового потока, не требующего применения внешних эталонных тепловых источников, и не требующего вывода тепловых датчиков из эксплуатации для процедуры калибровки или перекалибровки.
Техническим результатом предлагаемого изобретения, который объективно проявляется при его осуществлении, является высокая точность измерений, проводимых с неограниченной периодичностью.
Указанная задача и технический результат достигаются тем, что способ калибровки термоэлектрического датчика теплового потока заключается в том, что измеряются на малом переменном токе 1-20 мА собственное электрическое сопротивление датчика теплового потока и на малом постоянном токе 1-20 мА его термоэлектрическая добротность, после чего определяют чувствительность термоэлектрического датчика из следующего выражения:
Figure 00000001
где
Se - чувствительность термоэлектрического датчика;
ACR - собственное сопротивление термоэлектрического датчика;
Z - термоэлектрическая добротность датчика;
s - площадь чувствительной поверхности термоэлектрического датчика;
α - коэффициент Зеебека (термоЭДС) термоэлемента;
2N - количество термоэлементов или спаев в термоэлектрическом датчике.
Измерительные переменный ток для измерения собственного электрического сопротивления и измерительный постоянный ток для измерения термоэлектрической добротности должны быть малыми в диапазоне 1-20 мА для обеспечения точности измерений и исключения искажений измеряемых величин.
Температурная зависимость чувствительности датчиков тепловых потоков определяется по предложенному выражению путем измерения при разных температурах в заданном температурном диапазоне собственного электрического сопротивления ACR и термоэлектрической добротности Z при известной температурной зависимости коэффициента термоЭДС α.
В предлагаемом способе для калибровки термоэлектрических, а в частности, термопарных датчиков тепловых потоков не требуется использования внешнего оборудования или встраивание эталонного теплового источника в сам датчик.
В предложенном способе калибровки используются физические свойства самого датчика и измерение его параметров, которые напрямую связаны с чувствительностью к тепловому потоку.
Использование термоэлектрических и термопарных датчиков теплового потока основано на эффекте Зеебека, возникающем в металлах (термопары) или в полупроводниковом термоэлементе (термоэлектрический модуль) при возникновении градиента температур. Оба этих типа датчиков по сути - термоэлектрические, отличающиеся только применением разных по физической природе материалов - металлов и полупроводников.
Удельная величина этого эффекта, называемая коэффициентом Зеебека, характеризует термоэлектрические свойства различных металлов и полупроводников и выражается величиной термоЭДС, возникающей при единичном по величине температурном перепаде (один градус Цельсия).
Предлагаемый способ калибровки термоэлектрических (термопарных) датчиков тепловых потоков заключается в измерении термоэлектрической добротности и собственного электрического сопротивления (измеряемого на измеренном переменном токе) датчика. И при известных его параметрах, а именно площади чувствительной поверхности, количестве термоэлементов или спаев и известной величине термоЭДС, рассчитывается его чувствительность по определенной формуле, указанной выше.
В силу того, что три используемые в формуле параметра - α, Z и ACR являются в общем случае температурно зависимыми, то полученное значение чувствительности относится к температуре измерений. Для определения чувствительности при других температурах (температурная зависимость), необходимо проводить измерения в интересующем температурном диапазоне.
В таблице 1 представлены параметры, используемые в предлагаемом способе калибровки термоэлектрических датчиков теплового потока.
Figure 00000002
В таблице 1 приведены значения параметров тока, при которых проводилась реализация способа калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков: величина переменного тока, с помощью которой измеряют собственное электрическое сопротивление датчика теплового потока, и величина постоянного тока для измерения термоэлектрической добротности. В указанных интервалах значений обеспечивалась высокая точность измерений, которые можно проводить с неограниченной периодичностью, что, в свою очередь, способствует созданию надежного и простого способа калибровки термоэлектрических датчиков теплового потока, не требующего применения внешних эталонных источников и не требующего вывода тепловых датчиков из эксплуатации для процедуры калибровки.
Экспериментально установлено, что величина переменного тока, с помощью которого измеряют собственное сопротивление датчика теплового потока, должна быть малой от 1 до 20 мА, поскольку при величине переменного тока менее 1 мА и более 20 мА происходили искажения результата и потеря точности измерения. Величина постоянного тока, с помощью которой измеряют термоэлектрическую добротность, должна составлять также величину от 1 мА до 20 мА (что составляет долю 0,1-5% от максимального тока термоэлектрического модуля), поскольку при показании этого параметра менее 1 мА или более 20 мА также наблюдались искажения результата и потеря точности измерения.
Собственное электрическое сопротивление ACR термоэлектрического датчика измеряется на переменном токе, а термоэлектрическая добротность Z на постоянном токе. При этом условием измерений должны быть малые токи, чтобы не нарушить тепловое равновесие измерения. Нарушение теплового равновесия вследствие температурных зависимостей сопротивления ACR и добротности Z может привести к искажению результатов измерений.
Нарушение теплового равновесия измерений при использовании больших токов обусловлено тем, что при большом переменном токе при измерении сопротивления ACR выделяемое джоулевое тепло заметно нагревает датчик, а при подаче большого постоянного тока при измерении добротности Z образуется пропорциональная току разность температур и средняя температура датчика дополнительно отклоняется от равновесной.
С другой стороны, при использовании слишком малых токов измеряемые сигналы, которые пропорциональны приложенному току, становятся слишком малыми, начинают сказываться измерительные шумы. Ухудшается точность измерений.
Наиболее приемлемыми для измерения собственного электрического сопротивления ACR и добротности Z термоэлектрического датчика являются малые переменный и постоянный токи, соответственно, в диапазоне 1-20 мА. Что достаточно для обеспечения точности измерения, и не выводит измеряемый датчик из равновесия, и не вносит искажений в измеряемые величины.
Краткое описание чертежей
На фиг. 1 и 2 представлено сравнение результатов калибровки по способу с эталонным внешним источником (красное) с калибровкой по предложенному способу (синее).
Осуществление изобретения
Осуществляется предлагаемый способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков следующим образом.
Величина перепада температур, создаваемая в датчике тепловым потоком, обратно пропорциональна теплопроводности в направлении, перпендикулярном тепловому потоку. А величина электрического сигнала на датчике - это термоЭДС, генерируемая вследствие образовавшегося перепада температур.
Таким образом, чувствительность датчиков теплового потока пропорциональна отношению коэффициента термоЭДС (α) и коэффициента теплопроводности (κ)
Figure 00000003
Коэффициент термоЭДС, по иному коэффициент Зеебека, для термопар является константой металлов, используемых в термопаре, а в термоэлектрических модулях - это коэффициент Зеебека, используемого для их изготовления полупроводникового материала.
В термоэлектрических устройствах их потребительские свойства и качество характеризуются несколькими измеряемыми параметрами - термоэлектрическая добротность Z и собственное электрическое сопротивление (измеряемое на переменном токе) ACR.
Можно показать, что при известной величине коэффициента Зеебека (термоЭДС) α и измеренных значениях термоэлектрической добротности Z и собственного электрического сопротивления ACR термоэлектрического или термопарного датчика тепловых потоков можно определить искомую чувствительность к тепловому потоку.
Чувствительность датчика Se можно выразить как
Figure 00000004
где Uα - сигнал с датчика при прохождении теплового потока Hf; 2N - количество термоэлементов или спаев в датчике, или N - количество пар термоэлементов; s - площадь чувствительной поверхности датчика; RT - его тепловое сопротивление перпендикулярно чувствительной поверхности, т.е. вдоль измеряемого теплового потока.
Термоэлектрическую добротность Z датчика можно выразить, как
Figure 00000005
где ACR - собственное электрическое сопротивление термоэлектрического датчика; K - теплопроводность перпендикулярно чувствительной поверхности.
Отсюда
Figure 00000006
Тогда, подставляя (4) в (2), получаем формулу для чувствительности датчика
Figure 00000007
Таким образом, чувствительность датчика теплового потока Se определяется по приведенной формуле (5) при известных чувствительной площади поверхности датчика теплового потока s, коэффициенте Зеебека (термоЭДС) α и количества термоэлементов или спаев 2N, путем измерения термоэлектрической добротности Z датчика и его собственного электрического сопротивления ACR. При этом не требуется применения внешних эталонных тепловых источников, нет необходимости вывода датчиков из эксплуатации для процедуры калибровки, может проводиться с любой периодичностью.
Точность определяемой по предложенной формуле (5) чувствительности датчика теплового потока зависит от точности измерения величин собственного электрического сопротивления и термоэлектрической добротности.
Примеры реализации
Изготовлены четыре типа термоэлектрических датчиков тепловых потоков, изготовленных для испытаний предлагаемого способа, параметры которых приведены в таблице 2 ниже.
Figure 00000008
Проведено два типа детальных калибровок данных образцов:
1. С применением внешнего прецизионного теплового источника;
2. По предлагаемому способу калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков.
Для демонстрации применимости предлагаемого способа в широком температурном диапазоне оба способа измерений проводились в температурном диапазоне -20…+80°C. Полученные результаты калибровок (эталонной и по предложенному способу) и установленные температурные зависимости чувствительности сравнивались.
Параметры термоэлектрической добротности датчика Z и его собственного электрического сопротивления ACR измерялись методом Z-метрии (описании к патенту RU 2285980, опубл. 2006 г.).
В таблице 2 и 3 и фиг. 1 и 2 приведены сравнения калибровки изготовленных датчиков по традиционному способу с внешним прецизионным тепловым источником и по предложенному способу калибровки.
В таблице 2 ниже представлено сравнение результатов калибровки по способу с эталонным внешним источником с калибровкой по предложенному способу (Образцы №1 и 2).
Figure 00000009
В таблице 3 ниже представлено сравнение результатов калибровки по способу с эталонным внешним источником с калибровкой по предложенному способу (Образцы №3 и 4).
Figure 00000010
Результаты сравнения показывают высокую сходимость результатов измерений.
Определение чувствительности датчиков по предложенному способу в пределах не более 2% сходятся с результатами эталонных изменений.
Что можно признать удовлетворительным результатом для практического использования предложенного безэталонного способа калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков.
Предложенный способ калибровки датчиков теплового потока не требует применения внешних эталонных тепловых источников, не требует вывода датчиков из эксплуатации для процедуры калибровки, не содержит в себе дополнительного элемента (эталона), может проводиться с любой периодичностью и имеет высокую точность измерений.
Предлагаемый способ калибровки согласно предложенному изобретению может найти широкое применение в промышленности, а именно в области теплометрии, и может быть успешно использован при калибровке термоэлектрических датчиков тепловых потоков.

Claims (2)

1. Способ калибровки термоэлектрического датчика теплового потока, заключающийся в том, что собственное электрическое сопротивление датчика теплового потока измеряют при пропускании переменного тока величины от 1 до 20 мА, а термоэлектрическую добротность измеряют при пропускании постоянного тока величины от 1 до 20 мА, после чего определяют чувствительность термоэлектрического датчика из следующего выражения:
Figure 00000011

где
Se - чувствительность термоэлектрического датчика;
ACR - собственное сопротивление термоэлектрического датчика;
Z - термоэлектрическая добротность датчика;
s - площадь чувствительной поверхности термоэлектрического датчика;
α - коэффициент Зеебека (термоЭДС) термоэлемента;
2N - количество термоэлементов или спаев в термоэлектрическом датчике.
2. Изобретение по п. 1, отличающееся тем, что температурную зависимость чувствительности датчиков тепловых потоков определяют по предложенному способу путем измерения при разных температурах в заданном температурном диапазоне собственного электрического сопротивления ACR и термоэлектрической добротности Z при известной температурной зависимости коэффициента термоЭДС α _
Figure 00000012
.
RU2014145948/28A 2015-01-27 2015-01-27 Способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков RU2577389C1 (ru)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014145948/28A RU2577389C1 (ru) 2015-01-27 2015-01-27 Способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков
PCT/RU2016/000011 WO2016122351A1 (ru) 2015-01-27 2016-01-18 Способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014145948/28A RU2577389C1 (ru) 2015-01-27 2015-01-27 Способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2577389C1 true RU2577389C1 (ru) 2016-03-20

Family

ID=55647809

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014145948/28A RU2577389C1 (ru) 2015-01-27 2015-01-27 Способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков

Country Status (2)

Country Link
RU (1) RU2577389C1 (ru)
WO (1) WO2016122351A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110375871A (zh) * 2019-08-28 2019-10-25 青岛大学 基于温差电效应的表面温度测量方法
CN113176013A (zh) * 2021-06-02 2021-07-27 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 一种用于热流测试的薄膜热电阻热流计和同轴热电偶的标定方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016219964A1 (de) * 2016-10-13 2018-04-19 Krones Ag Reinigungsüberwachung mit Belagssensoren
CN110375870B (zh) * 2019-08-28 2020-10-09 青岛大学 基于温差电效应的表面温度测量方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1024752A1 (ru) * 1981-09-29 1983-06-23 Опытное Производство Института Ядерных Исследований Ан Усср Способ калибровки датчиков теплового потока
RU2285980C2 (ru) * 2004-11-10 2006-10-20 Закрытое Акционерное Общество "РМТ" Способ контроля качества термоэлектрического модуля
UA38500U (ru) * 2008-08-04 2009-01-12 Винницкий Национальный Технический Университет Устройство для формирования признаков распознавания образов
RU2452927C1 (ru) * 2011-03-23 2012-06-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ГОУВПО "СГГА") Устройство для калибровки датчиков теплового потока

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
UA38500C2 (ru) * 2000-07-14 2004-02-16 Ужгородський Державний Університет Способ контроля термоэлектрического преобразователя в условиях эксплуатации и устройство для осуществления способа
KR101230492B1 (ko) * 2011-09-09 2013-02-06 한국표준과학연구원 열전소자 평가 장치의 온도 제어 시스템 및 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1024752A1 (ru) * 1981-09-29 1983-06-23 Опытное Производство Института Ядерных Исследований Ан Усср Способ калибровки датчиков теплового потока
RU2285980C2 (ru) * 2004-11-10 2006-10-20 Закрытое Акционерное Общество "РМТ" Способ контроля качества термоэлектрического модуля
UA38500U (ru) * 2008-08-04 2009-01-12 Винницкий Национальный Технический Университет Устройство для формирования признаков распознавания образов
RU2452927C1 (ru) * 2011-03-23 2012-06-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ГОУВПО "СГГА") Устройство для калибровки датчиков теплового потока

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110375871A (zh) * 2019-08-28 2019-10-25 青岛大学 基于温差电效应的表面温度测量方法
CN113176013A (zh) * 2021-06-02 2021-07-27 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 一种用于热流测试的薄膜热电阻热流计和同轴热电偶的标定方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2016122351A1 (ru) 2016-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Iervolino et al. Temperature calibration and electrical characterization of the differential scanning calorimeter chip UFS1 for the Mettler-Toledo Flash DSC 1
CN105358949B (zh) 用于测量热通量的方法及系统
RU2577389C1 (ru) Способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков
CA2397102C (en) Direct thermal conductivity measurement technique
US8864378B2 (en) Process variable transmitter with thermocouple polarity detection
CN102914560A (zh) 一种测量薄膜热电性能参数的装置和方法
US2878669A (en) Apparatus for determining thermal conductance and resistance
CN106092375B (zh) 机载设备地面温度传感器的校验方法及校验仪器
JP2013170946A (ja) 放射温度計による温度測定方法および温度測定システム
TW200936996A (en) Temperature sensing module
JP4982766B2 (ja) 熱電特性計測用センサ
KR101662713B1 (ko) 열전박막의 수직방향 열전특성 측정센서유닛
JP2007059462A (ja) 熱電素子の特性評価方法
Paralı et al. Calibration of a Platinum Resistance Thermometer (Pt-100) and Its Measurement Uncertainty Analysis
RU2610115C1 (ru) Устройство для определения температуры газа в полых высокотемпературных элементах газотурбинных двигателей
Hohmann et al. Calibration of heat flux sensors with small heat fluxes
Nussupbekov et al. Thermal methods and non-destructive testing instrumentation
Cerimovic et al. Bidirectional micromachined flow sensor featuring a hot film made of amorphous germanium
Tang et al. Temperature measurement.
RU2633405C1 (ru) Устройство для измерений теплопроводности
Pennypacker Instrumentation for epidemiology
Fröhlich et al. „Calibration Bench for Heat Flux Sensors “
RU2254584C1 (ru) Устройство контроля защиты от электромагнитного поля
Volosnikov et al. RTD error correction in the diagnostics of its parameters state
US9069039B1 (en) Power measurement transducer