SU274418A1

SU274418A1 - INTERFEROMETER FOR THE CONTROL OF ABERRATIONS OF OPTICAL SYSTEMS

Info

Publication number: SU274418A1
Application number: SU1310341A
Authority: SU
Original assignee: Д. Т. Пур Московское высшее техническое училище Н. Э. Баумана

Description

Изобретение относитс к области оптического приборостроени , где часто возникает необходимость в контроле аберраций оптических систем, например асферических линз, линзовых компенсаторов и т. д.The invention relates to the field of optical instrumentation, where it is often necessary to control the aberrations of optical systems, such as aspherical lenses, lens compensators, etc.

Известны интерферометры дл контрол аберраций оптических систем, содержащие источник монохроматического света, точечную диафрагму, полупрозрачное зеркало, объектив и диафрагму ириемпой части, рабочую и эталонную ветви.Interferometers for monitoring aberrations of optical systems are known, including a source of monochromatic light, a pinhole, a translucent mirror, a lens and a diaphragm and a part, working and reference branches.

С целью повышени точности контрол и расширени дианазона контролируемых аберраций , в рабочей ветви нредложенного интерферометра установлена зеркальна линза, преломл юш,а поверхность которой вместе с контролируемой системой образует безаберрационное изображение дл осевого лучей . Центр кривизны зеркальной поверхности линзы совменден с вершиной пучка лучей, вышедших из контролируемой системы и преломленных зеркальной поверхностью.In order to increase the accuracy of control and expansion of Dianazone controlled aberrations, a mirror lens is installed in the working branch of the proposed interferometer, refracted, and the surface of which, together with the system being controlled, forms an aberration-free image for axial rays. The center of curvature of the mirror surface of the lens is compatible with the top of the beam of rays that emerged from the controlled system and refracted by the mirror surface.

На фиг. 1 представлена схема предлагаемого интерферометра дл контрол оптических систем в параллельном пучке лучей; на фиг. 2 - схема интерферометра дл контрол систем с конечного рассто ни .FIG. 1 shows the scheme of the proposed interferometer for monitoring optical systems in a parallel beam of rays; in fig. 2 is a diagram of an interferometer for monitoring systems from a finite distance.

Лучи света от монохроматического источника 1, пройд точечную диафрагму 2, установленную в фокусе объектива 5, и сам объектив, пдут далее параллельным пучком. Полупрозрачное зеркало 4 раздел ет лучи па два пучка , однн из которых направл етс в эталонную ветвь пнтерферометра к плоскому зеркалу 5, после отражени от которого лучи повтор ют свой путь в обратном нанравлении. Другой пучок поступает в рабочую ветвь, в которой установлены контролируема система 6 (например, асферическа линза) и зеркальна лнпза 7. Преломл юнха сферическа Rays of light from a monochromatic source 1, passed through a pinhole 2, installed in the focus of the lens 5, and the lens itself, will be further parallel beam. The translucent mirror 4 divides the rays into two beams, one of which is directed to the reference branch of the interferometer to the flat mirror 5, after reflection from which the rays repeat their path in reverse direction. The other beam enters the working branch, in which the controlled system 6 is installed (for example, an aspherical lens) and a mirror 7. Preloml Yunha is spherical

поверхность Р, линзы 7 обращена к контролируемой ст1стеме, друга сферическа поверхность Р- вл етс зеркальной. Отразившись от сферической поверхности, лучи также повтор ют свой путь в обратном направлепин . Лучи, выход щие из рабочей н эталонной ветвей, пнтерферпруют между собой. Дл регистрации интерференционной картины служат объектив 8 и диафрагма 9. Интерферометр, схема которого пзобрал :ена на фиг. 2, содержит в отличие от первого разделительный кубик 5 и эталонное сфернческое зеркало 4. Ход лучей в рабочей ветви интерферометра аналогичен ходу лучей па фнг. 1.the surface P, the lens 7 faces the controlled structure, the other spherical surface P is mirror. Reflected from a spherical surface, the rays also repeat their path in the opposite direction of the spin. Rays emerging from the working and reference branches are interconnected. To register the interference pattern, the lens 8 and the diaphragm 9 are used. The interferometer, the circuit of which is chosen: en in FIG. 2, contains, unlike the first, a dividing cube 5 and a reference spherical mirror 4. The course of the rays in the working branch of the interferometer is similar to the course of the pa fng rays. one.

Параметры зеркальной линзы н ее пололкепне в рабочей ветви рассчитаны таким образом , что контролируема система 6 (см. фиг. 1) вместе с нреломл ющей сферической поверхностью PI образует безаберрационноеThe parameters of the mirror lens in its half-keg in the working branch are calculated in such a way that the controlled system 6 (see Fig. 1) together with the rotating spherical surface PI forms an aberrationless

центр кривизны с зеркальной поверхности Яо совмещен с фокусом F системы, образованной контролируемой системой 6 и преломл ющей поверхностью PI. Таким образом, в отличие от известных интерферометров в рабочей ветви установлено не зеркало, а зеркальна линза , иередн иоверхность которой вл етс преломл ющей и поэтому вли ет па ход лучей . Это и дает возможность расширить диапазон контролируемых аберраций и повысить точность контрол .the center of curvature from the mirror surface Yo is combined with the focus F of the system formed by the controlled system 6 and the refractive surface PI. Thus, in contrast to the known interferometers, the working branch does not have a mirror, but a mirror lens, the aperture of which is refractive and therefore influenced by the beam path. This makes it possible to expand the range of controlled aberrations and improve the accuracy of control.

Предмет изобретен и The subject is invented and

Интерферометр дл контрол аберраций оптических систем, содержащий источник мопохроматического света, точечную диафраг.му, полупрозрачное зеркало, объектив и диафрагму приемиой части, рабочую и эталонную ветви , отличающийс тем, что, с целью повыщени точности контрол н расщцрени диапазона контролируемых аберраций, в рабочей ветви интерферометра установлена зеркальна линза, преломл юща новерхпость которой вместе с контролируемой системой образует безаберрацпониое изображение дл осевого пучка лучей, нричем центр кривизны зеркальной поверхности линзы совмещен с верщиной пучка лучей, выщедщих из контролируемой системы и нреломленных зеркальной новерхностью.An interferometer for monitoring aberrations of optical systems, containing a source of mopochromatic light, a point aperture, a translucent mirror, a lens and a diaphragm of the receiving part, a working and reference branch, characterized in that in order to improve the accuracy of control over the spreading of a range of controlled aberrations, in the working branch An interferometer is fitted with a mirror lens, the refractive superstructure of which, together with the controlled system, forms an aberration-free image for an axial beam of rays, in particular the center of curvature of the rkalnoy lens surface verschinoy aligned with the beam of rays of vyschedschih controlled system and nrelomlennyh noverhnostyu mirror.

22

ГАHA

....