SU271598A1

SU271598A1 -

Info

Publication number: SU271598A1
Application number: SU1236588A
Authority: SU
Inventors: П. Лаврищев В.; И. Н. Воженин П. Е. Кандыба Р. А. Морозова П. А. Фоменко В. П. Лаврищев; И. Н. Воженин; П. Е. Кандыба; Р. А. Морозова; П. А. Фоменко
Original assignee: П. Лаврищев В.; И. Н. Воженин; П. Е. Кандыба; Р. А. Морозова; П. А. Фоменко
Priority date: 1968-05-06
Filing date: 1968-05-06
Publication date: 1969-11-30

Description

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ(54) METHOD OF MANUFACTURING MICROCHARTS

, лl

Известные способы изготовлени микросхем не обеспечивают большого диапазона номиналов резисторов в одной микросхеме.The known methods for manufacturing microcircuits do not provide a large range of resistors in a single microcircuit.

По предложенному способу обеспечение .большого диапазона номиналов резисторов и упрощение технологии изготовлени достигаетс тем, что резистивные слои с раз личным удельным сопротивлением нанос т, на подложку последовательно по мере уменьшени удельного сопротивлени , а технопо- гический слой используют дл изготовлени низкоомных резисторов.According to the proposed method, providing a large range of resistors and simplifying the manufacturing technology is achieved by applying resistive layers with different resistivities to the substrate successively as the resistivity decreases, and the techno logical layer is used to manufacture low-resistance resistors.

Слои необходимо наносить по мере уменьшени УДОЛТ.НОГО сопротивлени , т.к. при этом уменьшаетс iiiyui.ipjTOiuee вли ние ни жележащих слоев на элементы в верхних .сло х. Число резистивных слоев определ етс диапазоном номиналов резисторов, вход щих в микросхему, возможност ми селективного химического травлени их и требуемыми габаритами микросхемы и может быт равно одному, двум,трем и более (например, резистивньш слои с Р 5000ом/квадрат, 500 ом/квадрат и 50 ом/квадрат).Layers need to be applied as the resistance of the LEAST is reduced, since at the same time, the influence of the iron layers on the elements in the upper layers x is reduced iiiyui.ipjTOiuee. The number of resistive layers is determined by the range of resistors included in the microcircuit, the possibilities of their selective chemical etching and the required dimensions of the microcircuit and can be one, two, three or more (for example, resistive layers with P 5000 ohms / square, 500 ohms / square and 50 ohm / square).

/квадрат предлагаетс использовать подслой, напыл емый дл обеспечени адгезии золота к нижележащим сло м, что позволит использовать одну технологическую операцию дл двух целей./ square it is proposed to use a sublayer sprayed to provide adhesion of gold to the underlying layers, which will allow the use of one technological operation for two purposes.

Изготовление микросхемы, содерн{аш;ей резисторы с ом/квадрат на основе пленок нихрома Х2ОН80 и с J5 5ОО ом/квадрат на основе металлoci-шицидного сплава N9 3, осуществл етс след тощим образом.The manufacture of a microcircuit, a soder {res; ohm / square resistors based on H2O80 films of nichrome and J5 5OO ohms / square based on the metal9i-shicidal N9 3 alloy, proceeds in a skinny way.

На подложку испарением в вакууме не нпже 1« 10 мм рт. ст. . нанос т слои сплава № 3, а затем нихрома и золота.On the substrate by evaporation in a vacuum not over 1 "10 mm Hg. Art. . Layers of alloy No. 3 are deposited, and then nichrome and gold.

При изготовлении отдельных слоев микросхемы использовалс фоторезист ФП-354. Травление слоев микросхемы ведетс в травител х:In the manufacture of individual layers of the chip used photoresist OP-354. Etching of the microcircuit layers is carried out in the herders:

контакты и коммутаци (золото)в5 о-ном растворе бромной воды;;contacts and switching (gold) in a 5 o solution of bromine water ;;

резисторы с J 5О ом/квадрат (нихром Х20Н8О) в концентрированной сол ной кислоте;J 5O ohm / square resistors (X20H8O nichrome) in concentrated hydrochloric acid;

34 34

Claims

: Invention Formula One Chip and Simplification Technology j

A method of manufacturing microcircuits based on specific resistivity is applied onto a substrate on a multiple selective chemistry, successively as the specific etching decreases, which is different. resistance, and the technological layer;

so that, with the aim of providing pain-use, for the manufacture of the junction-resistance j

range of resistors in resistors.

271598 ,.

fabrication, resistive layers with different