SU1819739A1 - Method and apparatus for working blades processing - Google Patents
Method and apparatus for working blades processing Download PDFInfo
- Publication number
- SU1819739A1 SU1819739A1 SU914944231A SU4944231A SU1819739A1 SU 1819739 A1 SU1819739 A1 SU 1819739A1 SU 914944231 A SU914944231 A SU 914944231A SU 4944231 A SU4944231 A SU 4944231A SU 1819739 A1 SU1819739 A1 SU 1819739A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- blade
- wedges
- cartridge
- relative
- axis
- Prior art date
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Description
Изобретение относится к технологии производства лопаток ГТД и может быть использовано при изготовлении лопаток из заготовок в авиадвигателестроении. Цель изобретения - повышение точности’изготовления лопаток.The invention relates to the production technology of GTE blades and can be used in the manufacture of blades from blanks in aircraft engine manufacturing. The purpose of the invention is to increase the accuracy of the manufacture of the blades.
На фиг.1 изображена кассета, установленная внуль относительно заготовки; на фиг.2 - устройство для осуществления способа; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.2; на фиг.4 - разрез В-В на фиг.З; на фиг.5 разрез В1-В1 на фиг.З; на фиг.6 - разрез В2-В2 на фиг.4 и 5; на фиг.7 - разрез Г-Г на фиг.2: на фиг.8 - разрез Д-Д на фиг.7, коррекция по уводу на величину ΔУ;на фиг 9 разрез Е-Е на фиг.7. коррекция вокруг оси К1_на величину ΔС: на фиг. 10-разрез Ж-Ж на фиг.7. коррекция вокруг оси МР на величину ΔΒ; на фиг.11 изображено устрой2 ляют с припуском рабочую лопатку. Устанавливают в той же кассете. Поворачивают )н9’ рабочую лопатку вокруг двух ее диагоналей и перемещают вдоль оси, проходящей через точку пересечения диагоналей. Таким образом равномерно распределяют припуск. Проверяют’равномерность распределения предварительно настроенным инструментом для контроля. Фиксируют рабочую лопатку в кассете и в ней механическим путем снимают припуск,. Кассета установлена в корпусе. Под кассетой расположены два клина с лопаткой. Каждый клин имеет два скоса с одинаковыми углами наклона. Скосы двух клиньев Совместно образуют крестробразную фигуру. Кассета опирается на четыре стержня. Каждый стержень контактирует одним концом'с одним из скосов одного из клиньев. 2 с.п.ф-лы, 14 ил, ство для осуществления способа с фиксаторами и пружинами; на фиг. 12 - устройство для распределения припуска на перу лопаток и контроля и ввода коррекции по развороту; на фиг. 13-схема коррекции заготовки по развороту (а) и смещению (б); на фиг. 14 мерные базовые плиты.Figure 1 shows a cassette mounted vnul relative to the workpiece; figure 2 - device for implementing the method; in Fig.Z - section bB in Fig.2; figure 4 - section bb in fig.Z; in Fig.5 section B1-B1 in Fig.Z; Fig.6 is a section B2-B2 in Fig.4 and 5; in Fig.7 is a section GG in Fig.2: in Fig.8 is a section DD in Fig.7, a correction for the withdrawal by ΔY; in Fig.9 a section EE in Fig.7. correction around the axis K1_ by ΔC: in FIG. 10-section MF in Fig.7. correction around the axis of the MP by Δ; 11 depicts a working blade with allowance. Install in the same cartridge. Turn the n9 'working blade around its two diagonals and move along the axis passing through the diagonal intersection point. In this way, the stock is evenly distributed. Check the uniformity of distribution with a pre-configured control tool. The working blade is fixed in the cassette and the allowance is removed mechanically in it. The cassette is installed in the housing. Under the cassette are two wedges with a spatula. Each wedge has two bevels with the same inclination angles. The slopes of two wedges together form a cruciform figure. The cassette is supported by four rods. Each rod contacts one end of one of the bevels of one of the wedges. 2 s.p. f-ls, 14 silt, tool for implementing the method with clamps and springs; in FIG. 12 - a device for distributing the allowance for the feather of the blades and control and input correction for the turn; in FIG. 13-diagram of the correction of the workpiece in the rotation (a) and offset (b); in FIG. 14 measured base plates.
Предлагаемый способ осуществляют , следующим образом.The proposed method is carried out as follows.
1. Осуществляют установку в нуль” настроечная” заготовки относительно кассе- , ты.1. Carry out zeroing the “training” blanks relative to the cassette, you.
2. Осуществляют распределение припуска по перу настроечный заготовки при помощи оптико-механического прибора.2. Carry out the distribution of the allowance on the pen tuning blanks using an optical-mechanical device.
3. Сориентированную настроечную заготовку вместе с манипулятором снимают с оптико-механического прибора и вертикально устанавливают на станину (фиг. 12).3. The oriented tuning blank along with the manipulator is removed from the optical-mechanical device and vertically mounted on the bed (Fig. 12).
SU«.> 1819739 А1SU ".> 1819739 A1
4. Заливают кассету с настроечной заготовкой сплавом ВУДА.4. Fill the cassette with the tuning blank with WOODA alloy.
5. Осуществляют мехобработку настроечной заготовки (протягиванием).5. Carry out the machining of the tuning blank (pulling).
6. Извлекают настроечную заготовку из кассеты.6. Remove the training blank from the cartridge.
7. Осуществляют контроль распределения припуска по перед настроечной заготовки после мехобработки (фиг. 12).7. Control the distribution of the allowance in front of the training blank after machining (Fig. 12).
,8. Определяют величину погрешности по развороту Δτ/д смещению Δί и Δ У уводу вокруг оси МР Δ В и Δ С вокруг оси KL настроечной заготовки (фиг.12).,8. The error value is determined by turning Δτ / d to the shift Δί and Δ Y along the axis MP Δ B and Δ C around the axis KL of the tuning blank (Fig. 12).
9. Осуществляют корректировку Δ У уводу, Δ В вокруг оси NIP и Δ С вокруг оси KL, Δ L смещению, Δ ip развороту кассеты (относительно нуля) относительно заготовки.9. Carry out the correction Δ Y withdrawal, Δ B around the NIP axis and Δ C around the KL axis, Δ L offset, Δ ip cassette rotation (relative to zero) relative to the workpiece.
10. Осуществляют распределение припуска по перу рабочей заготовки при помощи оптико-механического прибора.10. Carry out the distribution of stock over the pen of the workpiece using an optical-mechanical device.
11. После распределения припуска осуществляют коррекцию пр развороту на оптико-механическом приборе на величину Δψ.11. After the distribution of the allowance, the correction is made to the U-turn on the optical-mechanical device by the value Δψ.
12. Сориентированную рабочую заготовку вместе с манипулятором снимают с оптико-механического прибора и вертикально устанавливают на станину.12. The oriented workpiece together with the manipulator is removed from the optical-mechanical device and vertically mounted on the bed.
13. Заливают кассету с рабочей заготовкой сплавом ВУДа.13. Fill the cassette with the workpiece alloy wood.
14. Осуществляют коррекцию посмещению Δ L положения заготовки путем замены мерных базовых плит на протяжном станке.14. Carry out a correction to the offset Δ L of the position of the workpiece by replacing the measured base plates on a broaching machine.
15. Осуществляют мехобработку рабочей” заготовки (протягиванием).15. Carry out the machining of the working ”workpiece (pulling).
16. Извлекают рабочую заготовку из кассеты.16. Remove the workpiece from the cartridge.
17. Осуществляют контроль распределения припуска по перу настроечной заготовки после мехобработки.17. Control the distribution of the allowance along the pen of the training blank after machining.
Вращение заготовки вокруг оси ΟΖ (фиг. 13) назовем перемещением по развороту на величину Δψ. Перемещение заготовки относительно ОХ назовем смещением AL. Отклонение оси кассеты Vс центром О' от оси Z в плоскости ОО1 В назовем коррекцией по уводу на величину Δ В (фиг. 1, фиг.8). Отклонение оси кассеты У с центром О1 от оси Z в плоскости OO1L назовем коррекцией вокруг первой диагонали (оси МР) на величину Δ В (фиг.1, фиг.10). Отклонение от кассеты V с центром О1 от оси Z в плоскости ОО1М назовем коррекцией вокруг второй диагонали (ори KL) на величину Δ С (фиг.1, фиг.9).The rotation of the workpiece around the axis ΟΖ (Fig. 13) is called the displacement along the turn by the value Δψ. The movement of the workpiece relative to OX is called the offset AL. The deviation of the axis of the cassette V with the center O 'from the Z axis in the plane OO 1 B is called a correction for withdrawal by the value Δ B (Fig. 1, Fig. 8). The deviation of the axis of the cassette Y with a center of O 1 from the Z axis in the OO 1 L plane is called the correction around the first diagonal (MP axis) by Δ B (Fig. 1, Fig. 10). The deviation from the cartridge V with center O 1 from the Z axis in the plane OO 1 M is called a correction around the second diagonal (ori KL) by Δ С (Fig. 1, Fig. 9).
Под термином настроечная заготовка понимается первая пробная заготовка, ис пользуемая для настройки заготовки относительно инструмента.The term “tuning blank” refers to the first test blank used to adjust the blank relative to the tool.
Устройство для осуществления способа содержит манипулятор 1 с плитой 2. В пло5 скости плиты 2 манипулятора 1 расположен механизм корректировки (по уводу, вокруг оси МР, вокруг оси KL), состоящей из двух клиньев 3, 4, крестообразно взаиморасположенных. Клинья 3 и 4 выполнены в виде Ю призмы с равнобедренным треугольником в основании. Клинья 3 и 4 перемещают вертикально опоры 5-8, при этом одна опора клина поднимается, другая опора опускается на одинаковую величину. Опоры выполнены в 15 виде стержней с шаровой поверхностью на конце. На кассете 9, устанавливаемой на опорах 5-8, выполнены шарообразные отверстия 10, в которых размещены пружины 11 с фиксатором 12 для фиксации кассеты 9 20 на опорах 5-8. Поворот кассеты 9 для коррекции вокруг оси МР и вокруг оси KL осуществляется регулировочными винтами 13, 14. После коррекции заготовки 15 регулировочными винтами 15 найденное положение 25 стопорят винтами 16. Заготовка 15. закрепленная в манипуляторе 1, и оптико-механический прибор 17 размещены на станине 18. Коррекция по смещению осуществляется с помощью базовых плит 19.The device for implementing the method comprises a manipulator 1 with a plate 2. In the plane of the plate 2 of the manipulator 1 there is a correction mechanism (along the axis, around the MP axis, around the KL axis), consisting of two wedges 3, 4, which are cross-wise. Wedges 3 and 4 are made in the form of a Yu prism with an isosceles triangle at the base. Wedges 3 and 4 move the supports 5-8 vertically, with one wedge support rising, the other bearing lowering the same amount. The supports are made in the form of 15 rods with a spherical surface at the end. On the cassette 9 mounted on the supports 5-8, spherical openings 10 are made in which springs 11 with a latch 12 are placed to fix the cartridge 9 20 on the supports 5-8. The rotation of the cartridge 9 for correction around the MP axis and around the KL axis is carried out by the adjusting screws 13, 14. After the workpiece 15 is adjusted by the adjusting screws 15, the found position 25 is locked by the screws 16. The workpiece 15. fixed in the manipulator 1, and the optical-mechanical device 17 are placed on the bed 18. The offset correction is carried out using the base plates 19.
Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.
Вращением регулировочных винтов 13, 14.перемещают кассету 5 в нулевое положе35 ние (по расположенным на регулировочных винтах 13, 14 (фиг.4, фиг.5) делением О), при этом оси кассеты V совпадают с осью заготовки.Rotating the adjusting screws 13, 14. move the cartridge 5 to the zero position (by the division О located on the adjusting screws 13, 14 (Fig. 4, Fig. 5)), while the axes of the cartridge V coincide with the axis of the workpiece.
. Далее настроечную заготовку 15 кор40 ректируют на оптико-механическом приборе 17. Сориентированную настроечную заготовку 15 вместе с манипулятором 1 снимают с оптико-механического прибора 17 и вертикально устанавливают на станину 18. 45 После коррекции заготовки 15 регулировочными винтами найденное положение стопорят винтом 16.. Next, the tuning blank 15 cor40 is rectified on the optical-mechanical device 17. The oriented tuning blank 15 together with the manipulator 1 is removed from the optical-mechanical device 17 and vertically mounted on the bed 18. 45 After the blank 15 has been adjusted with the adjusting screws, the position found is locked with the screw 16.
Далее кассету 9 одевают на профиль50 ную часть настроечной заготовки 15 и закрепляют на опорах 5-8 так, чтобы шарообразные выступы опор 5-8, фиксируемые нажатием на кассету фиксаторами 13 (фиг.4) с пружинами 11. Далее заливают кас55 сету 9 с настроечной заготовкой при помощи дозатора (на фиг. не показан) сплавом ВУДа на станине 18.Next, the cassette 9 is put on the profile 50 of the tuning blank 15 and fixed on the supports 5-8 so that the spherical protrusions of the supports 5-8 are fixed by pressing the cassettes with the clips 13 (Fig. 4) with springs 11. Then, the kas55 set 9 with the tuning the workpiece using a dispenser (in Fig. not shown) by the VUD alloy on the bed 18.
После механической мехобработки извлекают настроечную заготовку из кассеты 9 путем выплавки (на фиг.1 не показано).After mechanical machining, the training blank is removed from the cassette 9 by smelting (not shown in Fig. 1).
Контролируя распределение припуска по перу на оптико-механическом приборе 17 (фиг. 13), определяют величину погрешности по развороту Δ^=0,4 мм. по смещению ’ Δ 1_=0,2 мм и одно из трех погрешностей 5 вокруг оси МР на величину Δ В, вокруг оси KL на величину Δ С, уводу ΔΥ настроечной заготовки возникающие из-за деформации при механической обработке, так как инструмент остается неподвижным. Величины 10 Δ^. ΔΥ. ΔΙ_. Δ С. ΔΒ.Controlling the distribution of the allowance over the pen on the optical-mechanical device 17 (Fig. 13), determine the magnitude of the error in turn Δ ^ = 0.4 mm. by offset 'Δ 1_ = 0.2 mm and one of three errors 5 around the MP axis by Δ B, around the KL axis by Δ C, the ΔΥ of the workpiece is removed due to deformation during machining, since the tool remains stationary . Values of 10 Δ ^. ΔΥ. ΔΙ_. Δ C. ΔΒ.
После механической обработки рабочей заготовки проводят коррекцию по уводу, вокруг оси МР, оси KL. развороту и смещению, т.е. вводят ошибку на распре- 15 деление припуска, которая после мехобработки. возвращает рабочую заготовку в распределенный припуск.After machining the workpiece, a correction is carried out for withdrawal around the MP axis and the KL axis. U-turn and offset, i.e. they introduce an error into the distribution of the allowance, which is after machining. returns the workpiece to the distributed stock.
Для разных заготовок может быть любая из трех коррекций (Δ В, Δ С, Δ Y), в 20 зависимости от деформации при механической обработке. Рассмотрим все три примера коррекции.For different workpieces, there can be any of three corrections (Δ B, Δ C, Δ Y), 20 depending on the deformation during machining. Consider all three examples of correction.
Первая коррекция вокруг оси KL, осуществляется (фиг.9) вращением регулировоч- 25 ного винта 14 (при неподвижном в. нуле, регулировочным винтом 13), при этом клин 4, двигаясь, одну опору 5 поднимает, другую опору 6 опускает на одинаковую величину Ή, в результате ось кассеты V с центром О1 30 отклоняется от оси Z заготовки в плоскости ОО1М на величину АС=0,2 мм, по делениям (фиг.5, 6) регулировочного винта 14. После перемещения подвижные опоры 5-8 стопорят винтами 16 относительно плиты 2 мани- 35 пулятора 1.The first correction around the KL axis is carried out (Fig. 9) by rotating the adjusting screw 14 (with a stationary zero point, adjusting screw 13), while the wedge 4, moving, raises one support 5, lowers the other support 6 by the same amount Ή, as a result, the axis of the cassette V with center О 1 30 deviates from the Z axis of the workpiece in the ОО 1 М plane by the value АС = 0.2 mm, by divisions (Figs. 5, 6) of the adjusting screw 14. After moving, the movable supports 5- 8 lock with screws 16 relative to the plate 2 of the manipulator 35 of the pululator 1.
Вторая коррекция вокруг оси МР (Δ В=0,2 мм, Δ С= Δ Y=0 (фиг. 10) осуществляется вращением регулировочного винта (при неподвижном в нуле” регулировоч- 40 ным винтом 14), при этом клин 3, двигаясь, одну опору 8 поднимает, другую опору 7 ©пускает на одинаковую величину Н, в результате ось кассеты с центром О' отклоняется от оси Ζ заготовки в плоскости OO-1L на величину Δ В=0,2 мм, по делениям (фиг.4, фиг.6) регулировочного винта 13. После перемещения подвижные опоры 5-8 стопорят винтами 16 относительно плиты 2 манипу45 лятора 1.The second correction around the axis of the MP (Δ B = 0.2 mm, Δ C = Δ Y = 0 (Fig. 10) is carried out by rotating the adjusting screw (when stationary at zero, the adjusting screw 14), while the wedge 3, moving , raises one support 8, launches the other support 7 © by the same amount of Н, as a result, the axis of the cartridge with the center O 'deviates from the axis Ζ of the workpiece in the OO- 1 L plane by Δ B = 0.2 mm, by divisions (Fig. 4, FIG. 6) of the adjusting screw 13. After moving, the movable supports 5-8 are locked with screws 16 relative to the plate 2 of the manipulator 1.
Третья коррекция по уводу (ΔΒ= ДС=0, Δ Υ=0,2 мм) осуществляется (фиг.8) вращением регулировочных винтов 13, 14 (на одинаковое количество делений каждый), при этом клинья 3 и 4, двигаясь, одни опоры 5,8 поднимают, другие опоры 7, 6 опускают на одинаковую величину Н1, в результате ось кассеты V с центром О1 отклоняется на величину Δ Υ=0,2 мм в плоскости ОО1В (фиг.4.The third offset correction (ΔΒ = ДС = 0, Δ Υ = 0.2 mm) is carried out (Fig. 8) by rotating the adjusting screws 13, 14 (by the same number of divisions each), while the wedges 3 and 4, moving, one support 5.8 they raise, other supports 7, 6 are lowered by the same amount of H 1 , as a result, the axis of the cassette V with center O 1 deviates by the value Δ Υ = 0.2 mm in the plane OO 1 B (Fig. 4.
5, 8) по делениям регулировочных винтов 13, 14 (фиг.6). После перемещения подвижные опоры 5-8 стопорят винтами 16 относительно плиты 2 манипулятора 1 (фиг.6).5, 8) according to the divisions of the adjusting screws 13, 14 (Fig.6). After moving the movable supports 5-8 are locked with screws 16 relative to the plate 2 of the manipulator 1 (Fig.6).
Далее рабочую заготовку 15 ориентируют на оптико-механическом приборе 17. Сориентированную рабочую заготовку корректируют на величину погрешности настроечной заготовки по развороту периферийного сечения Δ^=0,4 мм при помощи манипулятора 1 (фиг. 12).Next, the workpiece 15 is oriented on the optical-mechanical device 17. The oriented workpiece is adjusted by the error of the tuning workpiece by turning the peripheral section Δ ^ = 0.4 mm using the manipulator 1 (Fig. 12).
После коррекции по Δι/» рабочую заготовку 15 вместе с манипулятором 1 снимают с оптико-механического приббра 17 и вертикально устанавливают на станину 18 (фиг. 12),After correction according to Δι / "the workpiece 15 together with the manipulator 1 is removed from the optical-mechanical device 17 and vertically mounted on the bed 18 (Fig. 12),
Далее кассету 9 надевают на профильную часть рабочей заготовки 15 и закрепляют на опорах 5-8 так, чтобы шарообразные отверстия 10 кассеты 9 попали на ответные шарообразные выступы опор 5-8, фиксируемые (нажатием на кассету) фиксатором 12 с пружинами 11 (фиг.11). Далее заливают кассету 9 с рабочей заготовкой при помощи дозатора (на фиг. не показано) сплавом ВУДа на станине 18.Next, the cartridge 9 is put on the profile part of the workpiece 15 and fixed on the supports 5-8 so that the spherical holes 10 of the cartridge 9 fall on the response spherical protrusions of the supports 5-8, fixed (by pressing on the cartridge) with a latch 12 with springs 11 (Fig.11 ) Next, fill in the cassette 9 with the workpiece using a dispenser (not shown in Fig.) By the VUD alloy on the bed 18.
Далее осуществляют коррекцию по смещению заготовки Δ L=0,2 мм путем замены выставленной на протяжном станке мерной базовой плиты 19 (фиг. 1-4) с толщиной 20,0 мм на мерную плиту с толщиной 20.2 мм.Next, the workpiece is offset by the offset Δ L = 0.2 mm by replacing the measured base plate 19 (Fig. 1-4) with a thickness of 20.0 mm set on a broaching machine with a measuring plate with a thickness of 20.2 mm.
После механической обработки извлекают рабочую заготовку из кассеты 9 путем выплавки (на фиг. не показано).After machining, the workpiece is removed from the cartridge 9 by smelting (not shown in FIG.).
В заключение контролируют распределение припуска по.перу рабочей заготовки после механической обработки (фиг. 12).In conclusion, control the distribution of allowance for the perimeter of the workpiece after machining (Fig. 12).
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914944231A SU1819739A1 (en) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | Method and apparatus for working blades processing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914944231A SU1819739A1 (en) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | Method and apparatus for working blades processing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1819739A1 true SU1819739A1 (en) | 1993-06-07 |
Family
ID=21578643
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU914944231A SU1819739A1 (en) | 1991-06-13 | 1991-06-13 | Method and apparatus for working blades processing |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1819739A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2678222C1 (en) * | 2017-12-04 | 2019-01-24 | Публичное Акционерное Общество "Одк-Сатурн" | Method to produce large-sized blades of gas turbine engine |
-
1991
- 1991-06-13 SU SU914944231A patent/SU1819739A1/en active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2678222C1 (en) * | 2017-12-04 | 2019-01-24 | Публичное Акционерное Общество "Одк-Сатурн" | Method to produce large-sized blades of gas turbine engine |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0755425B2 (en) | A device for fixing the work piece to the work table of the machine tool. | |
CN101652698B (en) | Optical mount pivotable about a single point | |
KR100642879B1 (en) | Method and device for simultaneously grinding double surfaces, and method and device for simultaneously lapping double surfaces | |
CN100437904C (en) | Method of manufacturing substrate having resist film | |
DE2942388A1 (en) | SEMICONDUCTOR DEVICE POSITIONING DEVICE | |
JPH0529129B2 (en) | ||
US5558557A (en) | Three axis control for machine tool | |
SU1819739A1 (en) | Method and apparatus for working blades processing | |
KR20160076131A (en) | Device for chamfering printed circuit board and method for controllng the same | |
JP3195760B2 (en) | Crystal orientation setting method for cut surface of ingot | |
KR102087657B1 (en) | Leveling Jig for Numerical Control Milling Machine | |
JP2007276049A (en) | Method for manufacturing array-shaped metal mold and scan processing equipment | |
CN108227104A (en) | Optical element flexible support structure height conditioning system and method | |
CN109877347A (en) | A kind of center alignment method of machine tool chief axis and knife tower | |
GB2111695A (en) | Parallel alignment of surfaces | |
RU2036767C1 (en) | Apparatus to correct blanks for machining | |
DE69411955T2 (en) | ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY MACHINE | |
JPH04317Y2 (en) | ||
JP3873328B2 (en) | Grooving method and processing apparatus | |
JPH09150355A (en) | Grinding machine | |
SU1225701A1 (en) | Tool head | |
JPS62241329A (en) | Reduction stepper | |
JPH112517A (en) | Parallelism measuring device and method | |
KR102282153B1 (en) | Lithography machine, vertical control method and exposure method for lithography machine | |
JPH05261654A (en) | Centerless outer grinding machine |