SU180376A1 - ИНТЕРФЕРОМЕТР Дл КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ - Google Patents
ИНТЕРФЕРОМЕТР Дл КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙInfo
- Publication number
- SU180376A1 SU180376A1 SU941902A SU941902A SU180376A1 SU 180376 A1 SU180376 A1 SU 180376A1 SU 941902 A SU941902 A SU 941902A SU 941902 A SU941902 A SU 941902A SU 180376 A1 SU180376 A1 SU 180376A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- quality control
- optical surfaces
- flat optical
- lens
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 title description 6
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 title description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
Description
Известны интерферометры дл контрол качества плоских оптических поверхностей по измерению искривлений полос равной толщины посредством двухлучевой интерференции, содержащие осветительную и наблюдательную системы.
Предлагаемый интерферометр отличаетс от известных тем, что между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью , наложенной на эталонную поверхность , введена призма Дове, главное сечение и отражающа грань которой нараллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.
Призма Дове установлена на направл ющие , которые обеспечивают ее пр молинейное перемещение в двух взаимно перпендикул рных направлени х, параллельных плоскости контролируемой поверхности.
Направл ющие снабжены отсчетным устройством дл измерени величины перемещени .
Контроль качества поверхности производ т по измерению стрелок искривлени полос равной толщины, которые ориентируют таким образом , чтобы их направление совпало с направлением перемещени призмы Дове, перпендикул рным ее главному сечению.
мещением двух взаимно повернутых частей изображени полосы. Кроме того, точность наводки удваиваетс благодар тому, что при перемещении призмы Дове в направлении плоскости ее главного сечени наблюдаема через призму часть изобран ени полосы перемещаетс на величину, вдвое большую величины перемещени призмы.
Предлагаемый интерферометр позвол ет измер ть стрелки искривлени полос равной толщины с точностью до 0,005 полосы в любой части провер емой поверхности. Схема предлагаемого интерферометра нредставлена на чертеже.
Свет от источника / монохроматического излучени конденсором 2 проектируетс в полость диафрагмы 3, котора располон ена в фокальной плоскости объектива 4. Параллельный пучок лучей, вышедщий из объектива, проходит через контролируемую 5 и эталонную 6 поверхности. Отраженные от этих поверхностей лучи интерферируют между собой, образу полосы равной толщины, которые наблюдаютс через окул р, помещенный за диафрагмой 7, расположенной в фокальной плоскости объектива 4. Светоделительна пластина 8 направл ет лучи в окул р. Между объективом 4 и контролируемой поверхплоскость и отражающа грань которой параллельны оптической оси объектива 4.
Предмет изобретени
Интерферометр дл контрол качества плоских оптических поверхностей, содержащий осветительную и н а блюдательную системы, огличающийс тем, что, с целью повышени точности контрол , между объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью , наложенной на эталонную поверхность , введена призма Дове, главное сечение н отражающа грань которой параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы .
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU180376A1 true SU180376A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20040141184A1 (en) | Interferometer apparatus for both low and high coherence measurement and method thereof | |
| US20070236703A1 (en) | Geometric measurement system and method of measuring a geometric characteristic of an object | |
| US5909282A (en) | Interferometer for measuring thickness variations of semiconductor wafers | |
| US7466427B2 (en) | Vibration-resistant interferometer apparatus | |
| SU180376A1 (ru) | ИНТЕРФЕРОМЕТР Дл КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПЛОСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ | |
| KR101175368B1 (ko) | 광학부품의 검사방법 및 검사장치 | |
| JP5233643B2 (ja) | 形状測定装置 | |
| RU2263279C2 (ru) | Способ интерферометрического измерения отклонения формы оптических поверхностей и система для его осуществления | |
| SU269527A1 (ru) | Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей | |
| SU180377A1 (ru) | ||
| SU200227A1 (ru) | Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей | |
| JP3072925B2 (ja) | 透過波面測定用干渉計 | |
| SU380946A1 (ru) | Интерферометр для контроля качества плоской оптической поверхности детали | |
| RU1772608C (ru) | Способ голографического контрол волновых аберраций линз и объективов | |
| US20240240940A1 (en) | Measurement apparatus, measuring method, and manufacturing method of optical system | |
| SU339772A1 (ru) | Интерферометр для контроля качества плоских оптических поверхностей | |
| JP7112649B2 (ja) | データ取得装置 | |
| SU156714A1 (ru) | ||
| SU1359663A1 (ru) | Интерферометр дл контрол цилиндрических поверхностей | |
| SU1486776A1 (ru) | Устройство измерения линейных размеров деталей | |
| SU352479A1 (ru) | ||
| SU848999A1 (ru) | Интерферометр дл контрол изменени АбЕРРАций лиНз и зЕРКАл пРи зАКРЕплЕНиииХ B ОпРАВы | |
| SU355489A1 (ru) | Интерферометр для контроля качества вогнутых цилиндрических поверхностей | |
| SU1728650A1 (ru) | Интерферометр дл контрол вогнутых асферических поверхностей | |
| RU1772617C (ru) | Голографический интерферометр дл контрол формы внутренней поверхности отверстий |