SU1742583A1 - Способ обезвреживани осадков полихлорсиланов в газоходах печи - Google Patents

Abstract

Использование: печи нанесени  крем- нийуглеродных покрытий, получение компо- зиционных материалов. Сущность изобретени : после извлечени  изделий из печи ее герметизируют, затем подают аммиак при массовом соотношении осадка поли- хлорсиланов и аммиака 1:(1,0-1,5) и выдерживают не менее 5 мин, после чего продувают инертным газом. 1 табл.

Description

Изобретение относитс  к металлургии, в частности к получению композиционных материалов, и может быть использовано при эксплуатации печей при нанесении кремнийуглеродных покрытий,

Известен способ нанесени  кремний углеродного покрыти , согласно которому подложки, на которые наноситс  покрытие, помещают в пазы вертикальных стержней из молибдена или графита. В качестве рабочих газов дл  выращивани  пленок используют SiH4, SiHCIs, SICI2H2, SiClsH или SiCU, газом-носителем служит водород. При нанесении кремнийуглеродного покрыти  образуютс  и частично вынос тс  из печи полихлорсиланы. В отвод щих газоходах при резком снижении температуры полихлорсиланы осаждаютс  на внутренней поверхности труб. При изменении направлени  движени  газового потока значительные отложени  полихлорсиланов происход т в местах соединени  труб.

Высока  реакционна  способность по- лихлорсиланов и их взрывоопасность практически исключают механическую очистку газоходов.

Целью изобретени   вл етс  улучшение условий труда и предотвращение взры- воопасности.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что печь после извлечени  издели  герметизируют , подают аммиак при массовом соотношении осадка полихлорсиланов и аммиака 1:(1,0-1,5) и выдерживают не менее 5 мин, после чего продувают инертным газом, в качестве которого предпочтительнее использовать азот.

Применение аммиака в соотношении не менее 1:1 с осадком вызвано необходимостью полного обезвреживани  осадка. Использование избыточного аммиака необходимо дл  нейтрализации хлористого водорода,  вл ющегос  одним из продуктов химической реакции между аммиаком и осадком. При использовании аммиака в соотношении с осадком более 1,5-1,0 аммиак полностью не расходуетс  при химическом взаимодействии, что снижает эффективность процесса. Выдержка аммиака в газоходе необходима дл  обеспечени  контакта аммиака со всеми отложени ми полихлорсиланов по длине газохода.

сл

с

-XI

i

го сл со

со

Предлагаемый способ обезвреживани  осадков полихлорсиланов 8 газоходах печи при нанесении кремнийуглеродных покрытий опробован в лабораторных услови х. Осадок, полученный при нанесении кремнийуглеродных покрытий, массой 5 г помещают в стекл нную трубку, соединенную с источником аммиака через ротаметр. Систему герметизируют, поспе чего подают амми- ак в массовом соотношении к осадку (1-1,5):1. Результаты эксперимента, в зависимости от количества подаваемого аммиака , представлены в таблице.

При подаче аммиака в массовом соотношении к осадку меньше, чем 1:1, визульано наблюдают, что в реакцию вступает лишь часть осадка, гели подачу аммиака осуществл ют s массовом соотношении к осадку больше чем 1,5:1 весь аммиак не расходуетс  нз нейтрализацию, что подтверждает щелочна  среда в контрольном сосуде, запомненном дистиллированной водой.

При контакте аммиака с исследуемым осадком наблюдают бурное течение химической реакции в течение 5-10 мин, сопро- вождающеес  изменением внешнего вида

осадка. Качественный анализ продукта реакции показывает присутствие в нем хлорида аммони , что подтверждает течение химической реакции.

Использование предлагаемого способа обезвреживани  осадков в газоходах печи дл  нанесени  кремнийуглеродных покрытий обеспечивает длительное использование оборудовани  без профилактического ремонта, а также улучшение условий труда за счет предотвращени  взрывоопасное™ полихлорсиланов,

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ обезвреживани  осадков поли- хлорсиланов в газоходах печи при нанесении кремнийуглеродных покрытий, отличающийс  тем, что, с целью улучшени  условий труда и предотвращени  взрывоопасное™ , печь после извлечени  изделий герметизируют, подают аммиак при массовом соо-ношении осадка полихлорсиланов и аммиа са 1:(1,0-1,5) и выдерживают в течение не менее 5 мин, после чего продувают инертным газом.