SU1741798A1 - Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло - Google Patents
Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло Download PDFInfo
- Publication number
- SU1741798A1 SU1741798A1 SU904821627A SU4821627A SU1741798A1 SU 1741798 A1 SU1741798 A1 SU 1741798A1 SU 904821627 A SU904821627 A SU 904821627A SU 4821627 A SU4821627 A SU 4821627A SU 1741798 A1 SU1741798 A1 SU 1741798A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- surface layer
- electrical parameters
- electrodes
- measurement
- electric field
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring And Recording Apparatus For Diagnosis (AREA)
Abstract
Использование: измерение электрических параметров поверхностного сло или пленочных покрытий, в частности в медицине дл определени электроаномальных зон кожи дл иглотерапии. Сущность изобретени : устройство содержит электронно-измерительный аппарат и соединенные с ним активные и пассивные электроды, которые расположены в шахматном пор дке на рабочей плоскости устройства в непосредственной близости и изолированы один от другого. Шахматное расположение электродов создает скал рное электрическое поле, а малый шаг электродов исключает образование электрического пол вне поверхностного сло . Все это повышает точность измерений. 2 ил.
Description
Изобретение относитс к электрическим измерени м, а более конкретно к устройствам дл измерени электрических параметров поверхностного сло или пленочных покрытий, и может быть использовано в дефектоскопии, медицине, эпитоксиальной технологии и т.п.
Цель изобретени - повышение точности измерений.
На фиг. 1 схематически изображено предложенное устройство; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1.
Устройство дл измерени электрических параметров имеет источник 1 питани , измерительный прибор 2, пассивный 3 и активный 4 мультиэлектроды. Эти элементы образуют последовательно соединенную электрическую цепь. Каждый мультиэлект- род состоит из множества отдельных электродов 5 и 6, которые образуют параллельно соединенные между собой разнопол рные пары. На рабочей плоскости устройства электроды расположены в шахматном пор дке , изолированы друг от друга и рассто ние между двум ближайшими не превышает 100 мкм.
Устройство работает следующим образом .
Рабочую (торцовую) поверхность объединенного мультиэлектрода (щупа) переме- ща ют по поверхности измер емого сло . При этом прибор 2 регистрирует величину протекающего между электродами 5 и 6 через провод щий измер емый слой (на чертеже не показан) тока. Толщина сло не превышает 100 мкм. Шахматное расположение электродов создает скал рное электрическое поле, а малый шаг электродов исключает образование электрического пол вне поверхностного сло . Все это повышает точность измерений.
Claims (1)
- Формула изобретени Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло , содержащее электронно-измерительныйWЈ2 ъсоаппарат и соединенные с ним активные и пассивные электроды, отличающеес тем, что, с целью повышени точности измерений , оно снабжено дополнительными пассивными электродами, при этом активные и пассивные электроды одинаковые по количеству расположены в шахматном пор дке на рабочей плоскости устройства в непосредственной близости и изолированы друг от друга.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904821627A SU1741798A1 (ru) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904821627A SU1741798A1 (ru) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1741798A1 true SU1741798A1 (ru) | 1992-06-23 |
Family
ID=21512231
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU904821627A SU1741798A1 (ru) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1741798A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2819318C1 (ru) * | 2023-07-12 | 2024-05-17 | Николай Васильевич Киселев | Нейтральный электрод с системой контроля температуры |
-
1990
- 1990-03-28 SU SU904821627A patent/SU1741798A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1360733, кл. А 61 Н 39/00 1987 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2819318C1 (ru) * | 2023-07-12 | 2024-05-17 | Николай Васильевич Киселев | Нейтральный электрод с системой контроля температуры |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2043711T3 (es) | Detector ultrasonico de liquido. | |
ATE336753T1 (de) | Sensor für messungen an nassen und trockenen fingern | |
JPS5661136A (en) | Semiconductor test equipment | |
JPS6450948A (en) | Ion activity measuring sensor, manufacture thereof and sensor attachment circuit therefor | |
US3873919A (en) | AC electric fieldmeter | |
JPH0434950A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JPS5735320A (en) | Structure of mask for baking of semiconductor integrated circuit | |
SU1741798A1 (ru) | Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло | |
US4308498A (en) | Kelvin test fixture for electrically contacting miniature, two terminal, leadless, electrical components | |
JPS592364B2 (ja) | 集合抵抗モジユ−ル | |
JPS56135938A (en) | Fixed probe board | |
JPS6469901A (en) | Interval measuring apparatus | |
JPH04115545A (ja) | プローブカード | |
JPS5619634A (en) | Semiconductor device | |
SU139465A1 (ru) | Магнитоупругий силоизмеритель | |
SU681396A1 (ru) | Устройство дл измерени магнитных полей | |
JPS55130137A (en) | Inspection method of semiconductor wafer and probe card | |
SU1488824A1 (ru) | Устройство для определения кратчайшего пути на графе | |
SU935771A1 (ru) | Устройство дл измерений электрической проводимости многокомпонентных жидких сред | |
JPS54114184A (en) | Measuring device for semiconductor device | |
SU1453342A1 (ru) | Малогабаритный магнитоизмерительный зонд | |
JPH01128536A (ja) | 半導体素子測定用プローブ | |
JPS57211745A (en) | Semiconductor integrated circuit device | |
JPS56138934A (en) | Testing device | |
SU930162A1 (ru) | Устройство дл измерени напр женности электрического пол |