SU1741798A1 - Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло - Google Patents

Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло Download PDF

Info

Publication number
SU1741798A1
SU1741798A1 SU904821627A SU4821627A SU1741798A1 SU 1741798 A1 SU1741798 A1 SU 1741798A1 SU 904821627 A SU904821627 A SU 904821627A SU 4821627 A SU4821627 A SU 4821627A SU 1741798 A1 SU1741798 A1 SU 1741798A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
surface layer
electrical parameters
electrodes
measurement
electric field
Prior art date
Application number
SU904821627A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Павлович Ворошилов
Original Assignee
А.П.Ворошилов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by А.П.Ворошилов filed Critical А.П.Ворошилов
Priority to SU904821627A priority Critical patent/SU1741798A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1741798A1 publication Critical patent/SU1741798A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring And Recording Apparatus For Diagnosis (AREA)

Abstract

Использование: измерение электрических параметров поверхностного сло  или пленочных покрытий, в частности в медицине дл  определени  электроаномальных зон кожи дл  иглотерапии. Сущность изобретени : устройство содержит электронно-измерительный аппарат и соединенные с ним активные и пассивные электроды, которые расположены в шахматном пор дке на рабочей плоскости устройства в непосредственной близости и изолированы один от другого. Шахматное расположение электродов создает скал рное электрическое поле, а малый шаг электродов исключает образование электрического пол  вне поверхностного сло . Все это повышает точность измерений. 2 ил.

Description

Изобретение относитс  к электрическим измерени м, а более конкретно к устройствам дл  измерени  электрических параметров поверхностного сло  или пленочных покрытий, и может быть использовано в дефектоскопии, медицине, эпитоксиальной технологии и т.п.
Цель изобретени  - повышение точности измерений.
На фиг. 1 схематически изображено предложенное устройство; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1.
Устройство дл  измерени  электрических параметров имеет источник 1 питани , измерительный прибор 2, пассивный 3 и активный 4 мультиэлектроды. Эти элементы образуют последовательно соединенную электрическую цепь. Каждый мультиэлект- род состоит из множества отдельных электродов 5 и 6, которые образуют параллельно соединенные между собой разнопол рные пары. На рабочей плоскости устройства электроды расположены в шахматном пор дке , изолированы друг от друга и рассто ние между двум  ближайшими не превышает 100 мкм.
Устройство работает следующим образом .
Рабочую (торцовую) поверхность объединенного мультиэлектрода (щупа) переме- ща ют по поверхности измер емого сло . При этом прибор 2 регистрирует величину протекающего между электродами 5 и 6 через провод щий измер емый слой (на чертеже не показан) тока. Толщина сло  не превышает 100 мкм. Шахматное расположение электродов создает скал рное электрическое поле, а малый шаг электродов исключает образование электрического пол  вне поверхностного сло . Все это повышает точность измерений.

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Устройство дл  измерени  электрических параметров поверхностного сло , содержащее электронно-измерительный
    W
    Ј
    2 ъ
    со
    аппарат и соединенные с ним активные и пассивные электроды, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерений , оно снабжено дополнительными пассивными электродами, при этом активные и пассивные электроды одинаковые по количеству расположены в шахматном пор дке на рабочей плоскости устройства в непосредственной близости и изолированы друг от друга.
SU904821627A 1990-03-28 1990-03-28 Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло SU1741798A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904821627A SU1741798A1 (ru) 1990-03-28 1990-03-28 Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904821627A SU1741798A1 (ru) 1990-03-28 1990-03-28 Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1741798A1 true SU1741798A1 (ru) 1992-06-23

Family

ID=21512231

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904821627A SU1741798A1 (ru) 1990-03-28 1990-03-28 Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1741798A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2819318C1 (ru) * 2023-07-12 2024-05-17 Николай Васильевич Киселев Нейтральный электрод с системой контроля температуры

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1360733, кл. А 61 Н 39/00 1987 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2819318C1 (ru) * 2023-07-12 2024-05-17 Николай Васильевич Киселев Нейтральный электрод с системой контроля температуры

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2043711T3 (es) Detector ultrasonico de liquido.
ATE336753T1 (de) Sensor für messungen an nassen und trockenen fingern
JPS5661136A (en) Semiconductor test equipment
JPS6450948A (en) Ion activity measuring sensor, manufacture thereof and sensor attachment circuit therefor
US3873919A (en) AC electric fieldmeter
JPH0434950A (ja) 半導体集積回路装置
JPS5735320A (en) Structure of mask for baking of semiconductor integrated circuit
SU1741798A1 (ru) Устройство дл измерени электрических параметров поверхностного сло
US4308498A (en) Kelvin test fixture for electrically contacting miniature, two terminal, leadless, electrical components
JPS592364B2 (ja) 集合抵抗モジユ−ル
JPS56135938A (en) Fixed probe board
JPS6469901A (en) Interval measuring apparatus
JPH04115545A (ja) プローブカード
JPS5619634A (en) Semiconductor device
SU139465A1 (ru) Магнитоупругий силоизмеритель
SU681396A1 (ru) Устройство дл измерени магнитных полей
JPS55130137A (en) Inspection method of semiconductor wafer and probe card
SU1488824A1 (ru) Устройство для определения кратчайшего пути на графе
SU935771A1 (ru) Устройство дл измерений электрической проводимости многокомпонентных жидких сред
JPS54114184A (en) Measuring device for semiconductor device
SU1453342A1 (ru) Малогабаритный магнитоизмерительный зонд
JPH01128536A (ja) 半導体素子測定用プローブ
JPS57211745A (en) Semiconductor integrated circuit device
JPS56138934A (en) Testing device
SU930162A1 (ru) Устройство дл измерени напр женности электрического пол