SU1723193A1 - Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к оборудованию дл  нанесени  покрытий, в частности к устройствам дл  получени  неорганических покрытий при разложении металлоорганических соединений. Цель изобретени  - повышение производительности. Одну из камер 4 устанавливают в позицию загрузки, при этом с помощью силового элемента 14 салазки 11 перемещают в сторону от оси вращени  рамы 2. Механизм 23, взаимодейству  с упорами 25, переводит крышку 10 в горизонтальное положение. Шаговый конвейер 15 подает сменный подложкодержа- тель 16 с издели ми 17, механизм 23 за упоры 25 возвращает крышку 10 в первоначальное положение, а силовой элемент 14, выступающа  часть штока 13 которого находитс  в радиусном пазе 12, перемещает салазки 11 вместе с крышкой 10 и сменным подложкодержателем 16 с издели ми 17 в рабочую камеру 4. Приводом 3 осуществл ют поворот рамы 2 и устанавливают камеры 4 на технологические позиции обработки. Конструктивные особенности устройства обеспечивают автоматизацию всего процесса . 1 з.п. ф-лы, 3 ил. у Ё

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технологии получени  неорганических покрытий при разложении металлоорганиче- ских соединений (МОС) и может найти применение в различных отрасл х машиностроени , в частности в инструментальной промышленности при изготовлении сверл, метчиков, фрез, разверток и др.

Известно устройство, содержащее реактор с подложкодержателем, приводом вращени  и нагревателем, размещенными в камере, разделенной перегородками на секции, к одной из которых подвешены патрубки подачи МОС и отвода продуктов распада .

Известна также установка, имеюща  термостатированную кольцевую камеру, разделенную радиальными перегородками на секции дл  размещени  в каждой издели .

Недостатком устройства и установки  вл етс  низка  производительность (до 10 изделий в смену), одной из причин которой  вл етс  невозможность механизировать загрузку и выгрузку изделий.

В качестве прототипа вз та установка модели УПТ-1, предназначенна  дл  покрыти  внутренней поверхности шести труб од- новременно. Она содержит шесть вакуумированных камер, размещенных на равных рассто ни х одна от другой по окружности , внутри которых установлены нагреватели и питатели, сообщающиес  с дозаторами и приводимыми в движение приводами рабочего и холостого ходов.

Недостатком установки, несмотр  на увеличение количества камер,  вл етс  недостаточна  производительность (18 труб в смену). Загрузка и выгрузка изделий в камеры производитс  вручную, при этом все шесть камер не работают.

Цель изобретени  - повышение производительности достигаетс  тем, что установка снабжена приводом поворота рамы с закрепленными на ней камерами и салазками , установленными под каждой рабочей камерой, при этом салазки шарнирно соединены с крышками и установлены с возможностью взаимодействи  с механизмом загрузки-выгрузки, а на каждой крышке рабочей камеры смонтированы приводы вращени  подложкодержател .

На фиг, 1 показана установка, общий вид; на фиг. 2 -то же, вид в плане; на фиг. 3 - разрез А-А на фиг. 1.

Установка дл  нанесени  покрытий из паровой (газовой) фазы содержит основание 1, на круговых направл ющих которого смонтирована рама 2, имеюща  возможность совершать вращение от привода 3. На

раме 2 на равных рассто ни х одна от другой по окружности закреплены рабочие камеры 4, к которым от установленного на стойке 5 коммутационного устройства 6, выполненного , например, в виде кранового распределител  и вращающегос  токосъемника , подведены патрубки 7, а к нагревател м 8 - токопроводы 9. Кажда  рабоча  камера 4 с внешней стороны закрыта крыш0 кой 10, шарнирно соединенной с салазками 11, размещенными под рабочей камерой 4. Каждые салазки 11 снабжены пазом 12, выполненным по радиусу, с которым в зоне загрузки и разгрузки взаимодействует вы5 ступающа  часть штока 13 силового элемента 14, наход щегос  между камерой 4 и шаговым конвейером 15.

Сменный подложкодержатель 16с издели ми 17 закреплен на оправке 18 приво0 да 19, смонтированного на крышке 10 и содержащего зубчатый редуктор 20, муфту 21 и электродвигатель 22, В зоне загрузки и разгрузки смонтирован механизм 23, с помощью которого после окончани  покрыти 

5 изделий 17 металлоорганическим соединением , поступающим в паровой (газовой) фазе из испарител  24, крышка 10 мен ет свое положение на упорах 25.

Установка работает следующим обра0 зом.

Одну из камер 4 устанавливают в позицию загрузки, при этом с помощью силового элемента 14 салазки 11 перемещают в сторону от оси вращени  рамы 2. Механизм 23,

5 взаимодейству  с упорами 25, переводит крышку 10 в горизонтальное положение. Шаговый конвейер 15 переносит сменный подложкодержатель 16 с издели ми 17 и устанавливает его в оправку 18 привода 19.

0 Механизм 23 за упоры 25 возвращает крышку 10 в первоначальное положение, а силовой элемент 14, выступающа  часть штока 13 которого находитс  в радиусном пазе 12, перемещает салазки 11 вместе с крышкой

5 10, приводом 19 и сменным подложкодержателем 16 с издели ми 17 в сторону рабочей камеры 4 и плотно прижимает торец крышки 10 к.торцу рабочей камеры 4. Включают вакуумный насос (не показан), который

0 через трубопровод 7 создает в камере 4 разрежение мм рт.ст.

Механизм 23 освобождает упоры 25, а привод 3 поворачивает раму 2 относительно основани  1, устанавлива  вторую камеру 4

5 в позицию загрузки. Одновременно с этим в первой (загруженной издели ми 17) рабочей камере 4 включают нагреватель 3, тепловое излучение которого разогревает издели  17 до 400-500°С. Вторую рабочую камеру 4 загружают издели ми 17 с помощью загрузочных механизмов, выполн   приемы, описанные выше при загрузке первой рабочей камеры 4. После загрузки привод 3 снова осуществл ет поворот рамы 2 вместе с рабочими камерами 4, устанавлива  третью по счету камеру в позицию загрузки . В это врем  в первой загруженной камере 4 на нагретые издели  17 из испарител  24 подают МОС в паровой фазе, в результате чего на поверхность изделий наноситс  износостойкое покрытие. При этом включают двигатель 22. Через муфту 21, зубчатый кондуктор 20 и оправку 18 вращение совершает подложке держатель 16, создава  услови  дл  более равномерного покрыти  каждого издели  17, наход щегос  в нем. Во второй загруженной рабочей камере 4 с помощью вакуум-насоса создают разрежение и разогревают наход щиес  в ней издели  17.

После очередного поворота рамы 2 следующа  рабоча  камера 4 встает в позицию загрузки, а в первой камере 4 заканчивают покрытие; коммутационное устройство 6 перекрывает патрубки подачи МОС в испаритель 24, отключает подачу электроэнергии через токоподводы 9 к нагревателю 8. Издели  17 начинают остывать. Загрузка последующих рабочих камер 4 повтор етс  неоднократно. Наконец камера 4, с которой установка начинала работу, при очередном повороте рамы 2 оказываетс  в позиции разгрузки. В камеру нагнетают инертный газ, например аргон. Давление внутри камеры выравнивают с давлением сгружающей среды. Силовой элемент 14. смонтированный в позицию разгрузки, перемещает салазки 11 вместе с крышкой 10 и

покрытыми издели ми 17 от рабочей камеры 4. В конце хода механизм 23 переводит крышку 10 в горизонтальное положение. Шаговый конвейер 15 снимает подложко- держатель 16 с оправки 18. направл   издели  17 дл  проведени  последующих

технологических операций вне установки. Рама 2 при очередном повороте устанавливает только что разгруженную камеру 4 в позицию загрузки. Круг замкнулс .

Таким образом, если перва  камера совершает полный оборот (рабочий цикл сени  покрыти  на издели ) за 55 мин, то втора  и последующие камеры будут разгру- жатьс  через каждые 15 мин, и тогда производительность данной установки по

сравнению с известными повыситс  в 5-7 раз.

Claims (2)

1. Формула изобретени  1. Установка дл  нанесени  покрытий из паровой (газовой) фазы, содержаща  термостатированные рабочие камеры с крышками

   и подложкодержател ми, установленные на

   раме, механизм загрузки-выгрузки подложкодержателей , патрубки подачи металлоорганических соединений и откачки продуктов

   реакции через коммутационные узлы, отличающа с  тем, что, с целью повышени  производительности, она снабжена приводом поворота рамы и салазками, установленными под каждой рабочей камерой, при этом

   салазки шарнирно соединены с крышками и установлены с возможностью взаимодействи  с механизмом загрузки-выгрузки.
2. 2. Установка по п. 1, отл ичаю ща   с   тем, что подложкодержатёль выполнен с приводом вращени , смонтированным на крышке рабочей камеры.