SU1714823A1 - Охлаждаемый модул тор - Google Patents
Охлаждаемый модул тор Download PDFInfo
- Publication number
- SU1714823A1 SU1714823A1 SU904776438A SU4776438A SU1714823A1 SU 1714823 A1 SU1714823 A1 SU 1714823A1 SU 904776438 A SU904776438 A SU 904776438A SU 4776438 A SU4776438 A SU 4776438A SU 1714823 A1 SU1714823 A1 SU 1714823A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- base
- shaft
- hollow shaft
- cylindrical cavity
- obturator
- Prior art date
Links
Abstract
Изобретение относитс к оптическому приборостроению и может быть использовано при охлаждении элементов в закрытых оптикомеханических системах. Цель изобретени - повышение эффективности охлаждени . Охлаждаемый модул тор содержит размещенные в криовакуумнойкамере 1 обтюратор 2, установленный с возможностью вращени на валу 3, опоры 5 вала 3, закрепленные на основании 6 и хла- допровод 10, соединенный с источником хо- лода 11. В криовакуумную камеру 1 дополнительно введены также контактный теплоноситель, выполненный в виде измельченных ферромагнитных частиц 9, и электромагнит с подключенным к ним коммутированным источником питани . Вал 3, на котором размещен обтюратор 2, выполнен полым из немагнитного материала с высокой теплопроводностью, а в основании 6 устройства выполнена цилиндрическа полость. Один из электромагнитов размещен внутри полого вала, а второй - снаружи и закреплен на основании коаксиально полому валу и цилиндрической полости основани . Последнее соединено с хладопроводом, а внутри цилиндрической полости в зазоре между ее внутренней поверхностью и полым валом, выполненным из алюмини , размещен контактный теплоноситель. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.слс
Description
i/ зoбpeтeниe относитс к оптическому приборостроению и может быть использовано при охлаждении элементов в закрытых оптикомеханических системах.
Известны устройства, в которых имеетс охлаждение подвижных механических элементов. Так, в источнике, см. Nutt D.R. at ail А Rocket-Born Liquid-cooled Infrared Teieskop Appiied Optics, voi. 8, №11,1969, c. 2199 (США), указана вакуумна камера, в которой размещены вращающиес от привода обтюратор с отверсти ми, источник холода и теплоотвод. Обтюратор окружен газовой средой, по которой от него отводитс тепло к источнику холода, и принимает температуру близкую к температуре источника холода. iHo после удалени газовой среды теплоотвод резко ухудшаетс и происходит нагрев обтюратора, вследствие выделени теплоты трени в подшипниках. Такие модул торы обеспечивают работу прибора в течение ограниченного времени, требуетс посто нный расход хладагента и повторные охлаждени : заполнение полости охлаждени газом, выдержка, откачка газовой среды ,
Наиболее близким техническим решением вл етс конструкци устройства, указанна в статье Wyatt-C-L, Infrared spectrometer llquid-helium-cooled-rocketBorn circular-varuable filter, Applied Optics, vol. 14, № 12, 1975, p. 3086 (США) и содержаща привод и размещенные в вакуумной камере вращающийс обтюратор, источник холода и теплопровод, идущий от последнего к обтюратору.
Недостатками такого решени вл етс значительное тепловое сопротивление в вакууме в месте сопр жени вращающейс оси обтюратора с подшипником, вследствие гарантированного зазора между ними, что приводит к увеличению теплопритоков при вращении обтюратора, к снижению чувствительности устройства, в котором установлен модул тор.
Целью изобретени вл етс повышение эффективности охлаждени , повышение равномерности охлаждени динамичного элемента во врем его движени , а также периодическое охлаждение охлаждаемого элемента.
Охлаждаемый модул тор содержит размещенные в криовакуумной камере обтюратор , установленный с возможностью вращени на валу, опоры вала, закрепленные на основании и хладопровод, соединенный с источником холода. В криовакуумную камеру дополнительно введены также контактный теплоноситель, выполненный в виде измельченных ферромагнитных частиц и электромагнита с подключенным к ним коммутированным источником питани . Вал, на котором размещен обтюратор, выполнен полым из немагнитного материала с высокой теплопроводностью, а в основании устройства выполнена цилиндрическа полость. Один из электромагнитов размещен внутри полого вала, а второй - снаружи и закреплен на основании коаксиально полому валу и цилиндрической полости основани . Последнее соединено с хладопроводом , а внутри цилиндрической полости в зазоре между ее внутренней поверхностью и полым валом, выполненным из алюмини , размещен контактный теплоноситель.
На чертеже показано предлагаемое устройство .
Охлаждаемый модул тор содержит криовакуумную камеру 1, обтюратор 2, размещенный на полом валу 3, выполненном из немагнитного материала - алюмини и установленном в подшипниках качени 4, которые расположены на опорах 5,
закрепленных на основании 6. Внутри полого вала 3 расположен электромагнит 7 с зазором между стенками полого вала 3 пор дка 0,1 мм, закрепленный на охлаждаемом основании 6, что исключает вли ние собственных тепловыделений в электромагните 7 на полый вал 3. На основании 6 размещены: второй электромагнит 8 и ферромагнитные измельченные частицы 9,
0 вл ющиес контактным теплоносителем. Через основание 6 проход т хладопроводы 10, присоединенные к криогенному источнику холода 11. Электропровода от электромагнитов 7 и 8 присоединены к ком5 мутированному источнику питани 12.
Охлаждаемый модул тор работает следующим образом.
Из криовакуумной камеры 1 откачивают среду до определенного вакуума. От источника холода 11 направл ют хладагент в хладопроводы 10, которые охлаждают основание 6 и ферромагнитные частицы 9, лежащие на этом основании 6. Включают привод полого вала 3 с обтюратором 2 и
5 периодически включают источник питани 12, перекидыва пол рность то на один то на второй электромагниты 7 и 8. При включении электромагнит 7 ферромагнитные частицы 9 прилипают к полому валу 3 и,
0 нагрева сь, отбирают теплоту от вращающейс оси 3. При отключении электромагнита 7 и включении электромагнита 8 частицы 9 падают на основание 6, которое посто нно охлаждаетс до криогенных температур.
5 В качестве контактного теплоносител , ферромагнитных частиц 9, были использованы стальные опилки длиной около 1 мм, а рассто ние до полого вала 3 от 1 до 4 мм. . Формул а и 3 о бретени
0 1. Охлаждаемый модул тор, содержащий размещенные в криовакуумной камере обтюратор, установленный с возможностью вращени на валу, опоры вала, закрепленные на основании, и хладопровод, соединенный с источником холода, отличающийс тем, что, с целью повышени эффективности охлаждени , он снабжен контактным теплоносителем и двум электромагнитами с подключенными к ним коммутированным источником питани , вал выполнен полым из немагнитного материала с высокой теплопроводностью, а в основании выполнена цилиндрическа полость, один из электромагнитов размещен внутри
5 полого вала, а второй - снаружи и закреплен на основании коаксиально полому валу и цилиндрической полости основани , при этом основание соединено с хладопроводом , а внутри цилиндрической полости, в зазоре между ее внутренней поверхностью
и полым валом размещен контактный теплоноситель , выполненный в виде измельченных ферромагнитных частиц.
2. Модул тор по п. 1. отличающийс тем, что в качестве материала полого вала может быть использован алюминий.
2--.
.
Claims (2)
- Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я1. Охлаждаемый модулятор, содержащий размещенные в криовакуумной камере обтюратор, установленный с возможностью вращения на валу, опоры вала, закрепленные на основании, и хладопровод, соединенный с источником холода, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности охлаждения, он снабжен контактным теплоносителем и двумя электромагнитами с подключенными к ним коммутированным источником питания, вал выполнен полым из немагнитного материала с высокой теплопроводностью, а в основании выполнена цилиндрическая полость, один из электромагнитов размещен внутри полого вала, а второй - снаружи и закреплен на основании коаксиально полому валу и цилиндрической полости основания, при этом основание соединено с хладопроводом, а внутри цилиндрической полости, в зазоре между ее внутренней поверхностью и полым валом размещен контактный теплоноситель, выполненный в виде измельченных ферромагнитных частиц.
- 2. Модулятор поп. 1, отличающийс я тем, что в качестве материала полого вала может быть использован алюминий.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904776438A SU1714823A1 (ru) | 1990-01-02 | 1990-01-02 | Охлаждаемый модул тор |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904776438A SU1714823A1 (ru) | 1990-01-02 | 1990-01-02 | Охлаждаемый модул тор |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1714823A1 true SU1714823A1 (ru) | 1992-02-23 |
Family
ID=21488497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU904776438A SU1714823A1 (ru) | 1990-01-02 | 1990-01-02 | Охлаждаемый модул тор |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1714823A1 (ru) |
-
1990
- 1990-01-02 SU SU904776438A patent/SU1714823A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Nutt D.P. at all "А Rocket-Born Liquid Helium-cooled infrared Teleskop Applied Optics" voi. 8, NJ 11, 1969, H. 2199 (US).Wyatt-C-L, infrared spectrometer liquid- heiium-cooled rocket-Born circular-vareable filter" Appiied Optics", voi. 14, t^ 12, 1975, p. 3080 (CiUA), прототип. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10763153B2 (en) | Holding apparatus | |
TWI455243B (zh) | 基板處理設備及製造半導體裝置之方法 | |
US6770146B2 (en) | Method and system for rotating a semiconductor wafer in processing chambers | |
US8354623B2 (en) | Treatment apparatus, treatment method, and storage medium | |
JP7285693B2 (ja) | ステージ装置および処理装置 | |
KR100608957B1 (ko) | 성막 장치 및 이를 이용한 성막 방법 | |
US7998309B2 (en) | One-step method for the production of nanofluids | |
SU1714823A1 (ru) | Охлаждаемый модул тор | |
KR20120008528A (ko) | 회전 마그넷 스퍼터 장치, 스퍼터 방법, 전자 장치의 제조 방법 및 회전 마그넷 스퍼터 장치의 냉각 방법 | |
KR950006971A (ko) | 반도체 재료를 균일하게 처리하기 위한 방법 및 장치 | |
ATE248295T1 (de) | Drehkolbenverdichter mit axialer förderrichtung | |
JPH1083960A (ja) | スパッタリング装置 | |
GR3021128T3 (en) | Method and device for heat exchange with a fluid which is partially freezing. | |
JPH10169789A (ja) | 磁気シール装置 | |
JPH0639666A (ja) | 凍結により試料片を固定するための方法および該方法を実施するための装置 | |
JPH0893687A (ja) | 真空ポンプ装置 | |
US3753463A (en) | Device for cooling the bearings of heated rolls | |
JP4413567B2 (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
KR102699836B1 (ko) | 극저온 열 전달 시스템 및 이온 주입 시스템 | |
JPS6176674A (ja) | 薄膜製造装置 | |
JPH04321881A (ja) | 磁気シール回転導入機 | |
KR100472046B1 (ko) | 스퍼터링 장치 | |
JPH081475A (ja) | ターンテーブル装置 | |
SU1337578A1 (ru) | Тормозной диск с охлаждением | |
JPH06241231A (ja) | スライド軸受 |