JPH04321881A - 磁気シール回転導入機 - Google Patents
磁気シール回転導入機Info
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- JPH04321881A JPH04321881A JP3117831A JP11783191A JPH04321881A JP H04321881 A JPH04321881 A JP H04321881A JP 3117831 A JP3117831 A JP 3117831A JP 11783191 A JP11783191 A JP 11783191A JP H04321881 A JPH04321881 A JP H04321881A
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Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気シール回転導入機
の構造に関係する。
の構造に関係する。
【０００２】
【従来の技術】近年、真空技術の発展と共に、その応用
が様々な方面で行なわれている。例えば、磁気記録媒体
の製造への応用においては、図５に示すような装置を真
空容器（チャムバー）（図示せず）内の真空雰囲気１中
に設けて磁気記録媒体を製造している。即ち、フィルム
２が送り出しロール３からプリヒートガイドロール４を
介しキャン５に送られ、キャン５上の膜形成部６で磁気
記録層をフィルム２に形成し、巻き取りロール７に巻き
取っている。このような装置で製造する磁気記録媒体の
磁気特性の抗磁力Ｈｃは、一般に図６に示すように磁性
膜の作製温度に依存するため、磁性膜を形成するキャン
５の温度で制御している。
が様々な方面で行なわれている。例えば、磁気記録媒体
の製造への応用においては、図５に示すような装置を真
空容器（チャムバー）（図示せず）内の真空雰囲気１中
に設けて磁気記録媒体を製造している。即ち、フィルム
２が送り出しロール３からプリヒートガイドロール４を
介しキャン５に送られ、キャン５上の膜形成部６で磁気
記録層をフィルム２に形成し、巻き取りロール７に巻き
取っている。このような装置で製造する磁気記録媒体の
磁気特性の抗磁力Ｈｃは、一般に図６に示すように磁性
膜の作製温度に依存するため、磁性膜を形成するキャン
５の温度で制御している。
【０００３】ここで、フィルム２がキャン５上で熱膨張
してしわが発生することを防止するため、キャン５の前
のプリヒートガイドロール４はフィルム２を徐々に加熱
するように温度制御している。このプリヒートガイドロ
ール４の温度制御は、その内部に設けたヒーター（図示
せず）と外部より導入する熱媒体１９によって行なって
いる。また、製造する磁気記録媒体のカール量をフィル
ムに印加するテンションで制御しているために、これら
のロールは低いトルク損失でスムーズに回転することが
要求される。
してしわが発生することを防止するため、キャン５の前
のプリヒートガイドロール４はフィルム２を徐々に加熱
するように温度制御している。このプリヒートガイドロ
ール４の温度制御は、その内部に設けたヒーター（図示
せず）と外部より導入する熱媒体１９によって行なって
いる。また、製造する磁気記録媒体のカール量をフィル
ムに印加するテンションで制御しているために、これら
のロールは低いトルク損失でスムーズに回転することが
要求される。
【０００４】ところで、真空チャムバー内のプリヒート
ガイドロール４やキャン５には、中空軸タイプの磁気シ
ール回転導入機が連結されており、従来の中空軸タイプ
の磁気シール回転導入機は図３に示すような構造となっ
ていた。
ガイドロール４やキャン５には、中空軸タイプの磁気シ
ール回転導入機が連結されており、従来の中空軸タイプ
の磁気シール回転導入機は図３に示すような構造となっ
ていた。
【０００５】即ち、大気８と真空雰囲気１とを遮断する
真空容器９に取り付けられた、非磁性材料から成るハウ
ジング１０には円筒状に配された磁石１１と磁性材料か
ら成る円筒状ポールピース１２とが、スペーサ１３とベ
アリング１４と共にストッパ１５により固定されている
。磁性材料でできた軸１６はベアリング１４によって支
えられ、磁石１１及びポールピース１２とで磁気回路を
形成しているが、軸１６とポールピース１２とは接触し
ていない。ポールピース１２と軸１６との間には磁性流
体１７があり、その間の微小なギャップに発生する漏洩
磁界によって保持されている。軸１６は中空構造となっ
ており、ロールの軸１８が貫通して固定されていて、ロ
ールに熱媒体１９を供給及び排出している。ロールの軸
１８を介して、熱媒体１９から伝導する熱は、軸１６、
磁性流体１７、ポールピース１２、ハウジング１０と伝
導し、ハウジング１０の冷却水路２０を流れる冷却水２
１によって冷却される。
真空容器９に取り付けられた、非磁性材料から成るハウ
ジング１０には円筒状に配された磁石１１と磁性材料か
ら成る円筒状ポールピース１２とが、スペーサ１３とベ
アリング１４と共にストッパ１５により固定されている
。磁性材料でできた軸１６はベアリング１４によって支
えられ、磁石１１及びポールピース１２とで磁気回路を
形成しているが、軸１６とポールピース１２とは接触し
ていない。ポールピース１２と軸１６との間には磁性流
体１７があり、その間の微小なギャップに発生する漏洩
磁界によって保持されている。軸１６は中空構造となっ
ており、ロールの軸１８が貫通して固定されていて、ロ
ールに熱媒体１９を供給及び排出している。ロールの軸
１８を介して、熱媒体１９から伝導する熱は、軸１６、
磁性流体１７、ポールピース１２、ハウジング１０と伝
導し、ハウジング１０の冷却水路２０を流れる冷却水２
１によって冷却される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、以上説明し
た従来の磁気シール回転導入機は図３に示すように、熱
媒体の温度がある温度を越えると、大気の真空中への漏
れが急増する。しかも、大気の真空中への漏れが急増し
た後は、熱媒体の温度を低くしても、漏れの量が減少し
ない。このため、この温度以上の熱媒体を導入できない
という問題点があった。
た従来の磁気シール回転導入機は図３に示すように、熱
媒体の温度がある温度を越えると、大気の真空中への漏
れが急増する。しかも、大気の真空中への漏れが急増し
た後は、熱媒体の温度を低くしても、漏れの量が減少し
ない。このため、この温度以上の熱媒体を導入できない
という問題点があった。
【０００７】そこで、本発明の技術的課題は、熱媒体の
温度が高くても、熱媒体の冷却効果を高めて大気の真空
中への漏れを防止する磁気シール回転導入機を得ること
にある。
温度が高くても、熱媒体の冷却効果を高めて大気の真空
中への漏れを防止する磁気シール回転導入機を得ること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、ハウジ
ング内で、回転軸のまわりに軸方向に交互に設けられた
磁石及びポールピースを磁性流体を介して磁気シールす
る磁気シール回転導入機において、前記磁石及び前記ポ
ールピースは前記回転軸に固定するとともに、前記磁性
流体を前記ハウジングに接触している構成としたことを
特徴とする、磁気シール回転導入機が得られる。
ング内で、回転軸のまわりに軸方向に交互に設けられた
磁石及びポールピースを磁性流体を介して磁気シールす
る磁気シール回転導入機において、前記磁石及び前記ポ
ールピースは前記回転軸に固定するとともに、前記磁性
流体を前記ハウジングに接触している構成としたことを
特徴とする、磁気シール回転導入機が得られる。
【０００９】
【作用】発明者らは、熱媒体がある温度を越えると大気
の真空中への漏れが急増する原因が、磁性流体の過熱に
あることを究明した。
の真空中への漏れが急増する原因が、磁性流体の過熱に
あることを究明した。
【００１０】即ち、従来の磁気シール回転導入機は、ロ
ールの軸を介して熱媒体から伝導する熱が、ハウジング
の冷却水路を流れる冷却水によって冷却されるまでに、
軸、磁性流体、ポールピース、ハウジングと伝導してゆ
くが、磁性流体の接触している軸の温度が熱媒体から伝
達する熱により高温度になること、及び、磁性流体から
熱が伝導するポールピースの先端部分が磁気回路の構成
上、細く絞られていることが避けられないため熱伝導性
が良くないことから、磁性流体が過熱する。この結果、
磁性流体のベース液が蒸発し、粘度の上昇と流動性の劣
化など磁性流体の劣化が発生するため、軸の回転時に隙
間を生じ大気が真空中に漏れるのである。
ールの軸を介して熱媒体から伝導する熱が、ハウジング
の冷却水路を流れる冷却水によって冷却されるまでに、
軸、磁性流体、ポールピース、ハウジングと伝導してゆ
くが、磁性流体の接触している軸の温度が熱媒体から伝
達する熱により高温度になること、及び、磁性流体から
熱が伝導するポールピースの先端部分が磁気回路の構成
上、細く絞られていることが避けられないため熱伝導性
が良くないことから、磁性流体が過熱する。この結果、
磁性流体のベース液が蒸発し、粘度の上昇と流動性の劣
化など磁性流体の劣化が発生するため、軸の回転時に隙
間を生じ大気が真空中に漏れるのである。
【００１１】従って、磁性流体の過熱を防止するために
、磁性流体が冷却水路のあるハウジングに接触する構造
、即ち、磁性流体やポールピースなどの配置を従来と逆
にすれば、熱媒体からの熱の伝導が、軸、ポールピース
、磁性流体、ハウジングとなるため、ポールピースから
磁性流体へ伝達した熱はハウジングに容易に伝導され、
磁性流体の過熱がなくなる。この結果、磁性流体のベー
ス液の蒸発が押さえられるため、磁性流体の劣化がなく
なり大気の真空中への漏れが生じなくなる。
、磁性流体が冷却水路のあるハウジングに接触する構造
、即ち、磁性流体やポールピースなどの配置を従来と逆
にすれば、熱媒体からの熱の伝導が、軸、ポールピース
、磁性流体、ハウジングとなるため、ポールピースから
磁性流体へ伝達した熱はハウジングに容易に伝導され、
磁性流体の過熱がなくなる。この結果、磁性流体のベー
ス液の蒸発が押さえられるため、磁性流体の劣化がなく
なり大気の真空中への漏れが生じなくなる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を実施例と、従来の比較例の実
験結果に基づき説明する。
験結果に基づき説明する。
【００１３】（比較例）従来の磁気シール回転導入機で
、軸の温度と大気の真空中への漏れの量の関係を調べた
。軸の温度は、各温度で１時間保持した。この間、軸は
５００ｒｐｍ で回転させた。ハウジングの冷却水路に
は、常温の冷却水を毎分１０ｃｃ流した。
、軸の温度と大気の真空中への漏れの量の関係を調べた
。軸の温度は、各温度で１時間保持した。この間、軸は
５００ｒｐｍ で回転させた。ハウジングの冷却水路に
は、常温の冷却水を毎分１０ｃｃ流した。
【００１４】（実施例）本発明の一実施例を図１に示す
。本発明の実施例においては、磁性流体１７、ポールピ
ース１２、磁石１１及びスペーサ１３の配置を、従来の
磁気シール回転導入機の配置から逆にし、磁性流体１７
が外側にあるハウジング１０に接触するようにした。 また、ハウジング１０と軸１８の材質を変更し、ハウジ
ング１０を磁性材料で、軸１８を非磁性材料で形成した
。その他は、従来の磁気シール回転導入機と何ら変わら
ない。表１に諸元を示す。
。本発明の実施例においては、磁性流体１７、ポールピ
ース１２、磁石１１及びスペーサ１３の配置を、従来の
磁気シール回転導入機の配置から逆にし、磁性流体１７
が外側にあるハウジング１０に接触するようにした。 また、ハウジング１０と軸１８の材質を変更し、ハウジ
ング１０を磁性材料で、軸１８を非磁性材料で形成した
。その他は、従来の磁気シール回転導入機と何ら変わら
ない。表１に諸元を示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】以上、比較例と実施例について、軸の温度
と大気の真空中への漏れの量の関係を図２に示す。従来
の磁気シール回転導入機が軸の温度１２０℃以上で漏れ
が急増しているのに比し、実施例においては２５０℃に
おいても漏れの急増が見られない。
と大気の真空中への漏れの量の関係を図２に示す。従来
の磁気シール回転導入機が軸の温度１２０℃以上で漏れ
が急増しているのに比し、実施例においては２５０℃に
おいても漏れの急増が見られない。
【００１７】以上、本発明の磁気シール回転導入機は、
軸の温度が高温になっても大気の真空中への漏れが発生
しないことが明白となった。
軸の温度が高温になっても大気の真空中への漏れが発生
しないことが明白となった。
【００１８】以上、本発明を真空の応用に用いられてい
る中空軸タイプの磁気シール回転導入機に基づき説明し
たが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、
中空軸タイプでない磁気シール回転導入機の場合でも、
軸の回転を高速で行なった場合、磁気流体の粘度によっ
て磁性流体そのものが発熱源となり、その熱で磁性流体
の劣化が生じるが、本発明の構造にすれば容易に効率よ
く冷却され磁性流体の劣化を防止できる。
る中空軸タイプの磁気シール回転導入機に基づき説明し
たが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、
中空軸タイプでない磁気シール回転導入機の場合でも、
軸の回転を高速で行なった場合、磁気流体の粘度によっ
て磁性流体そのものが発熱源となり、その熱で磁性流体
の劣化が生じるが、本発明の構造にすれば容易に効率よ
く冷却され磁性流体の劣化を防止できる。
【００１９】即ち、本発明は、磁気シール回転導入機を
構成している磁石、ポールピース、磁性流体のうち、磁
石とポールピースは回転する軸に固定されており、磁性
流体は冷却機構を有するハウジングに接触していること
を特徴とするもので、軸の形状に限られないことは明白
である。ここで、ハウジングの冷却機構には、自然冷却
も含まれることは言うまでもない。また、用途は真空用
に限られるものでないことも言うまでもない。
構成している磁石、ポールピース、磁性流体のうち、磁
石とポールピースは回転する軸に固定されており、磁性
流体は冷却機構を有するハウジングに接触していること
を特徴とするもので、軸の形状に限られないことは明白
である。ここで、ハウジングの冷却機構には、自然冷却
も含まれることは言うまでもない。また、用途は真空用
に限られるものでないことも言うまでもない。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、磁性流体が冷却水路の
あるハウジングに接する構造としたため、熱媒体の温度
が高くても、磁性流体への熱はハウジングに伝導されて
、磁性流体の劣化を防止し、大気の真空中への洩れを防
止することができる。
あるハウジングに接する構造としたため、熱媒体の温度
が高くても、磁性流体への熱はハウジングに伝導されて
、磁性流体の劣化を防止し、大気の真空中への洩れを防
止することができる。
【図１】本発明の磁気シール回転導入機の構造を示す断
面図である。
面図である。
【図２】従来の磁気シール回転導入機の構造を（比較例
）とし、本発明の磁気シール回転導入機を（実施例）と
して比較した、軸の温度と大気の真空中への漏れの量の
関係を示す。
）とし、本発明の磁気シール回転導入機を（実施例）と
して比較した、軸の温度と大気の真空中への漏れの量の
関係を示す。
【図３】従来の磁気シール回転導入機の構造を示す断面
図である。
図である。
【図４】従来の磁気シール回転導入機の問題点を示すグ
ラフで、熱媒体の温度と大気の真空中への漏れの量の関
係を示す。
ラフで、熱媒体の温度と大気の真空中への漏れの量の関
係を示す。
【図５】真空を利用した磁気記録媒体の製造装置の構成
の概略図である。
の概略図である。
【図６】真空を利用した磁気記録媒体の製造における、
磁性膜の作製温度と磁気特性の抗磁力Ｈｃの関係を示す
。
磁性膜の作製温度と磁気特性の抗磁力Ｈｃの関係を示す
。
１ 真空
２ フィルム
３ 送り出しロール
４ プリヒートガイドロール
５ キャン
６ 膜形成部
７ 巻き取りロール
８ 大気
９ 真空容器
１０ ハウジング
１１ 磁石
１２ ポールピース
１３ スペーサ
１４ ベアリング
１５ ストッパ
１６ 軸
１７ 磁性流体
１８ ロールの軸
１９ 熱媒体
２０ 冷却水路
２１ 冷却水
Claims (1)
- 【請求項１】 ハウジング内で、回転軸のまわりに軸
方向に交互に設けられた磁石及びポールピースを磁性流
体を介して磁気シールする磁気シール回転導入機におい
て、前記磁石及び前記ポールピースは前記回転軸に固定
するとともに、前記磁性流体を前記ハウジングに接触し
ている構成としたことを特徴とする、磁気シール回転導
入機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3117831A JPH04321881A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 磁気シール回転導入機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3117831A JPH04321881A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 磁気シール回転導入機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04321881A true JPH04321881A (ja) | 1992-11-11 |
Family
ID=14721333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3117831A Withdrawn JPH04321881A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 磁気シール回転導入機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04321881A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007114051A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Eagle Industry Co., Ltd. | 磁性流体シール装置 |
| CN104165230A (zh) * | 2014-08-04 | 2014-11-26 | 北京交通大学 | 通气式气冷磁性液体密封装置 |
| WO2015098202A1 (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 株式会社リガク | 磁性流体シール装置 |
| CN105134964A (zh) * | 2015-09-09 | 2015-12-09 | 北京交通大学 | 磁性液体密封的多通道旋转输气装置 |
| CN106195278A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-12-07 | 自贡兆强环保科技股份有限公司 | 一种高速冷风机用磁性液体密封装置 |
| CN112963547A (zh) * | 2021-03-23 | 2021-06-15 | 清华大学 | 磁性液体隔热密封装置 |
-
1991
- 1991-04-23 JP JP3117831A patent/JPH04321881A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007114051A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Eagle Industry Co., Ltd. | 磁性流体シール装置 |
| WO2015098202A1 (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 株式会社リガク | 磁性流体シール装置 |
| JP2015121263A (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 株式会社リガク | 磁性流体シール装置 |
| CN105705808A (zh) * | 2013-12-24 | 2016-06-22 | 株式会社理学 | 磁流体密封装置 |
| US9746084B2 (en) | 2013-12-24 | 2017-08-29 | Rigaku Corporation | Magnetic fluid sealing apparatus |
| CN105705808B (zh) * | 2013-12-24 | 2018-01-05 | 株式会社理学 | 磁流体密封装置 |
| CN104165230A (zh) * | 2014-08-04 | 2014-11-26 | 北京交通大学 | 通气式气冷磁性液体密封装置 |
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| CN106195278A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-12-07 | 自贡兆强环保科技股份有限公司 | 一种高速冷风机用磁性液体密封装置 |
| CN112963547A (zh) * | 2021-03-23 | 2021-06-15 | 清华大学 | 磁性液体隔热密封装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980711 |