SU1698915A1

SU1698915A1 - Specimen microanalyzer

Info

Publication number: SU1698915A1
Application number: SU894652653A
Authority: SU
Inventors: Борис Никитович Васичев; Юрий Сергеевич Смирнов
Original assignee: Предприятие П/Я А-3726
Priority date: 1989-02-20
Filing date: 1989-02-20
Publication date: 1991-12-15

Abstract

Изобретение относитс к устройствам дл микроанализа образца, Целью изобретени вл етс расширение диапазона изменении и точности микроанализа образца зи счет изменени в ходе эксперимента выхода вторичного излучени в двух или более противоположно-симметричных направлени х относительно точки возбуждени . Устройство содержит источник 1 излучени , камеру 2 объектов, состо щую из нитней часли 3 со столом 4 объектов и верхней части 5. В верхней час- I и 5 камеры 2 размещены детекторы 6, внутри камеры 1 размещены диа- 7 : . глоин-цг апспгурамн 8, гапгэв.тчч Г - 5 13, перьатель 10, r.Mt 11 и 5 у шов, силь- ci 01- 12, приводы 1 . О, патру- оок J г I ил. О еThe invention relates to a device for microanalyzing a sample. The aim of the invention is to expand the range of variation and the accuracy of microanalysis of a sample by changing the secondary radiation yield in two or more oppositely symmetrical directions relative to the excitation point during the experiment. The device contains a source of radiation 1, a camera of 2 objects consisting of threads of clock 3 with a table of 4 objects and an upper part 5. In the upper part I and 5 of camera 2 there are detectors 6, inside chamber 1 there are diameters 7:. gloin-cg apspugramn 8, gapgavev.tch G - 5 13, pertelle 10, r.Mt 11 and 5 at the seam, strength 01-12, actuators 1. Oh, patrol J g I Il. About e

Description

вод повторные измерени и манипул - 30 осью источника зондирующего излучеции с диафрагмами 7 и с детекторами 6, возможно экспериментально определить трехмерную картину функции распределени q(z,x,y). Степень ее отклонени от шаровой симметрии может быть св зана с химической неоднородностью или присутствием границ раздела ц зоне генерации и на пут х выхода рентгеновского излучени из образца.water measurements and manipulation - 30 axis of the source of probe radiation with diaphragms 7 and with detectors 6; it is possible to experimentally determine the three-dimensional picture of the distribution function q (z, x, y). Its degree of deviation from spherical symmetry may be related to chemical heterogeneity or the presence of interfaces between the generation zone and the path of x-ray radiation from the sample.

Достоинством данного устройства вл етс то, что вследствие изменени направлени перемещени образца относительно фронтальной границы неоднородности и одновременной регистрации носителей сигналов вторично- эмиссионных влений, например, рентгеновских квантов парными детекторамиThe advantage of this device is that, due to the change in the direction of movement of the sample relative to the frontal boundary of the inhomogeneity and the simultaneous recording of carriers of signals of secondary emission phenomena, for example, X-ray quanta, paired detectors

ни , установленного в центре верхней части, на которой размещены детекторы вторичных излучений, выполненные с возможностью радиального перемещени , отличающеес тем, что,installed in the center of the upper part, on which detectors of secondary radiation are placed, made with the possibility of radial displacement, characterized in that

с целью расширени диапазона измерений и точности, введена пара зеркально-симметричных отнсси ельчо оси, совпадающей с осью источника эондиРУищего излучени и центром стола объектов, диафрагм, выполненных с дискретным набором узловых апертур и с возможностью пол рного перемещени относительно цегтра стола объектов , при этом детекторы вторичных излучении выполнены с возможностью пол рного перемещени относительно центра стола объектов.In order to expand the range of measurements and accuracy, a pair of mirror-symmetrical axes coinciding with the axis of the source of radiation and the center of the table of objects, diaphragms made with a discrete set of nodal apertures and with the possibility of polar movement relative to the center of the table of objects is introduced, with detectors secondary radiation is made with the possibility of polar movement relative to the center of the table of objects.

Claims

Claim

A device for microanalysis of a sample containing a source of probe radiation, a camera of objects made in the form of a lower part, in the center of which a table of objects is placed, and an upper dome-shaped part made with the possibility of azimuthal rotation about an axis coinciding with the center of the table of objects and the axis of the source of probe radiation, installed in the center of the upper part, which contains detectors of secondary radiation, made with the possibility of radial movement, characterized in that, in order to expand the range Measurement and accuracy are introduced by a pair of mirror-symmetrical about the axis coinciding with the axis of the source of probe radiation and the center of the table of objects, diaphragms made with a discrete set of angular apertures and with the possibility of polar movement relative to the center of the table of objects, while the secondary radiation detectors are designed to polar displacement relative to the center table of objects.