SU1689744A1 - Проходна муфельна печь - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к проходным печам муфельного типа дл  термообработки изделий электронной промышленности, в частности метэллостекл нных корпусов интегральных схем. Цель изобретени  - повышение качества обработки путем увеличени  точности поддержани  температуры в печи за счет снижени  вли ни  изменени  параметров среды и изделий в печи на характеристику вентил тора Печь содержит корпус с входным участком и участком размещени  нагревател , нагреватель , транспортер перемещени  изделий внутри печи, систему контрол  и peiynnpo- вани  температуры и систему отсоса газа Система отсоса газа состоит из выт жного патрубка, соединенного выт жным каналом с печью и с вентил тором На патрубке установлен шибер с приводом его перемещени . В шибере выполнено окно дл  удалени  газа из печи, а в выт жном патрубке - окно дл  подсоса воздуха, размещенное под шибером. Окна в шибере и патрубке и сечение выт жного канала соответствует друг другу по форме и размерам, а длина шибера от окна до торца равна рассто нию между центрами окна подсоса воздуха и сечени  выт жного канала Шибер выполнен из антиадгезионного материала например фторопласта 1 з. п. ф-лы 3 ил 00 С

Description

Изобретение относитс  к проходным печам муфельного типа дл  термообработки изделий электронной техники, в частности металлостекл нных корпусов интегральных схем.

Цель изобретени  - повышение качества обработки путем увеличени  точности поддержани  температуры в печи за счет снижени  вли ни  изменени  параметров среды и изделий в печи на характеристику вентил тора.

На фиг. 1 изображена проходна  муфельна  печь, общий вид, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг, 3 - разрез Б-Б на фиг. 1.

Проходна  муфельна  печь имеет начальный участок, зону С выжига св зки и

зону D - спекани  изделий, в которой размещен нагреватель. Печь содержит также металлический муфель 1, футеровку 2, нагреватели 3, теплообменник4, конвейерную ленту 5, температурный датчик 6, установленный в зоне выжига св зки Выт жной патрубок 7, размещенный на муфте 1 со стороны загрузки печи, содер -кит окно 8 дл  подсоса воздуха.

Вентил тор 9 подсоединен к выт жному патрубку 7, в котором установлен шибер 10 с окном 11, предназначенным дл  удалени  продуктов выжига св зки из рабочего канала . Окна 8 и 11 в шибере 10, в патрубке 7 и сечение канала, соедин ющего выт жной патрубок с печью, по форме и размерам соответствуют друг другу, а рнссто ние от

о

00

ю

VI 4

ci нь ji /b8; c до rupurt разно рассто нию e, ос ми окна в пог.л;оса воздуха и осью камглз, соедин ющего патрубок 1 с печью.

ПЕЧЬ ооноржмг реверсивный электро- /и пЈмель 12, размешенный на кронштейне io. пч уоед шзн. ом к вы  жному плтрубку с-ч-. } р верс / вкоггэтектродвтател  12 M - L,-i;e «.нчзои с пин-Х) 15 посредством му 1, 16 с рукоп канч 17.

1 с 8, жестко соединенна  с шибе- (ч П, 0,э УИНiом 15 винтовую пару. 1 ,i, ч-г и , )y5i . i 7 установлена кзме- I . л ч и р-ч,р чч.  11 шибер. 10. Нэ .х е: ic;:x пмр/Зкз 7 с внутренней i i.) у.,.г ч, - ы упорь: /.С дл  ограни- с ij ,( чпЈо,.-1 v...jb л деформаций шибера О .о прим гь о ь зн из антиадгезионного i г-. idT3, 4;jnpt f.iv4 фторопласта.

па i а 18 установлен кронштейн 21, а .г корпусе ночи (не показан) - перенастра- пу овыо конечные выключа1ели 22. ал пс1;1, о |крьп с обеих сторон но со O o.xim/1 гагр, 5ки на своде муфел  1 уста- 1Э, ;ов1-1й барьер 23, частично пере- К, ощии рабочее гфостоанство по пысоге дл  ограничени  забора воздуха в к |-г i печи со стороны загпуэки, выполнен- 1 . : о inn pe,i.,r, r.z стенкой па t рубка 7. В менкг г -i 7 г|родолжением которой rri jGHL- Ьефье;,1 и в стенке ка- i ,,i i9 tit i г iibi шелэвйдные отверсти  и поччзаны) л Ч Пс мэщсни  шибера 10. llei-ii содержи - также привод конвейерной , регул тор температуры с задатчи- чъ i, -p,Diicnoo HI-IS поддоны с издели ми (не показаны).

f(4b pao iveioi следующим образом.

/(здели  R транспортных поддонах в за- е устанавливаютс  на конвейернуо тенту Ь v перемещаютс  в канал печи, образованный мзтрлл /ческим муфелем 1. В зоне С издели  нагреваютс  до температуры вы- xiift; св зки за счет теплопроводности му- фе/ Я и тепла гор чего воздуха, посыпающего из зоны спекани  изделий.

Удаление продуктов выжига св зки осу- и есгнл етс  сен (ил  юром 9, подсоединен- чмм к выт жному патрубку 7. Сигнал от leMneoaivDHoro датчика 6 подаетс  на регу- м гоо темпера|уры (не ток чан), В зависи- Р1ости от положени  зада гчика температуры регул тор Формирует сигнал, управл ющий реверсивным электродвигателем 12

Перемещение шибера Юосуществл ет- г.г, от реверсивного электродвигател  12 че- перодаточный механизм, состо щий из мусЬть 15, жестко св зывающей вал 14 элек- 1 рсдпигател  с. винтом 5, и гайки 18, жестко сс1 зг нной с ммбеоом. Передаточный механизм npeofJOcJoyei вращательное движение

ьало реверсивного элекгродвигателч в возвратно-поступательное перемещение шибера .

Стабильность температурного режима

печи может быть нарушена неравномерной загрузкой изделий, неравномерной влажностью материала засыпки, перепадами атмосферного давлени , сквозн ками в помещении и т. д. При возрастании темпе0 ратуры в зоне С выше значени , установленною задатчипом регул тора температуры, реверсивный электродвигатель перемеща- ет шкбер влево, увеличива  проходное сече- нпе окна 11 шибера, одновременно

5 уменьша  проходное сечение окна 8 в выт жном патрубче

При этом происходит увеличение расхода удал емого из каналл печи газа при неизменной его скорости и уменьшение расхода

0 воздуха через очно выт жного патрубка

При уменьшении температуры в зоне С ниже значени , установленного задатчиком регул тора, реверсивный электродвигатель перемещает шибер вправо, уменьша  про5 ходное сечение окна шибера и увеличива  проходное сечение окна в выт жном патрубке . При этом происходит уменьшение расхода газа, удал емого из рабочего пространства , при неизменной его скорости и

0 увеличение расхода воздуха через окно в патрубке.

Форма и размеры окон шибера и выт жного патрубка одинаковы а суммарна  пло5 щадь проходного сечени  окон шибера и патрубка посто нна при любом промежуточном положении шибера и равна полной площади проходного сечени  одного окна, поэтому вентил тор удал ет из выт жного

Q патрубка посто нное количество газа, скорость которого посто нна независимо от Положени  шибера

Вопросы истечени  газов в предлагаемой печи рассмотрены без.учета разницы в

5 плотности воздуха и продуктов выжига св зки , в зкости воздуха и газа, удал емого из рабочего пространства, наличи  неодинаковых динамических сопротивлений потоку воздуха на входе в патрубок и потоку отво0 димого из рабочего пространства газа. Эти факторы оказываю1 вли ние на процесс равномерности автоматическом выт жки, в частности на скорость истечени , но во врем  работы печи это вли ние носит посто н5 ный характер, поэтому они не внос т заметных отклонений в точность поддержани  температуоы в рабочем пространстве.

При необходимости оператор может установить шибер в любое положение spv4- ную вращением муфты руко тками 17, что удобно ЦПР настройки выг жки при переходе на другой технологический режим работы печи. В крайних положени х шибера окно в выт жном патрубке или окно в заслонке полностью перекрыто. Путевые конечные выключатели 22 определ ют граничные по- ложени  шибера, который дл  уменьшени  налипани  продуктов удалени  св зки выполнен из антиадгезионного материала - листового фторопласта. После выжига св зки издели  поступают в зону спекани , за- тем охлаждаютс  в теплообменнике. Поддержание температурного режима в зоне спекани  изделий осуществл етс  известным способом.

Таким образом, печь позвол ет вести удаление продуктов выжига св зки из канала очень плавно, с посто нной скоростью, что повышает точность поддержани  температуры в зоне выжига св зки и улучшает качество изделий.-

Claims (2)

1. Формула изобретени  1. Проходна  муфельна  печь, преимущественно дл  спекани  корпусов интегральных схем, содержаща  футерованный корпус с входным участком и участком на-

   грева, нагреватель, транспортер дл  попе- мещенич изделий внутри печи, систему контрол  и peiулирорани  температуры и систему отсоса газа, состо щую из вентил тора и соединенного с ним выт жного патрубка , на котором установлен шибер с приводом его перемещени , отличающа с  тем, что, с целью повышени  качества обработки путем увеличени  точности поддержани  температуры в печи за счет стабильности характеристик вентил тора, в выт жном патрубке выполнено окно дл  подсоса воздуха, размешенное под шибером , d в шибере - окно длч удалени  газа из печи, при этом окна в шибере и патрубке и сечение канала, соедин ющего выт жной патрубок с печью, по форме и размерам равны между собой, з рассто ние от окна шибера до его торца равно рассто нию между ос ми симметрии окна подсоса воздуха в выт жном патрубке и осью канала, соедин ющего этот патрубок с печью.
2. 2. Печь по п. 1,отличающа с  тем, что шибер выполнен из антиадгезионного материала, например фторопласта

   Фиг.1

   20

   I и

   Х2/

   Фиг.г

   Фиг.З