SU1689664A1

SU1689664A1 - Молекул рный вакуумный насос

Info

Publication number: SU1689664A1
Application number: SU894713318A
Authority: SU
Inventors: Дмитрий Федотович Сидяков
Original assignee: Предприятие П/Я В-8150
Priority date: 1989-07-03
Filing date: 1989-07-03
Publication date: 1991-11-07

Abstract

Изобретение относитс к вакуумной технике и позвол ет улучшить откачные характеристики насоса. В корпусе (К) 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3 размещены закрепленные на внутренней поверхности К 1 статорные элементы (СЭ) и диски (ДМ) 6 молекул рных уплотнений. СЭ выполнены в виде многозаходных спиральных перегородок 8, образующих спиральные каналы 9. Ротор 4 снабжен роторными дисками (РД) 5, ДМ 6 имеют на поверхност х спиральные пазы (СП) 7, а РД 5, примыкающие к ДМ 6, отверсти 10 в корневой зоне. СП 7 снабжены перемычками 11 со стороны всасывани , предотвращающими обратные перетечки через зазоры. 2 з.п. ф-лы, 3. ил.

Description

Фиг. 2

Claims

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я °

1. Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками и закрепленными на его внут-

30 ренней поверхности статорными элементами и установленный по оси корпуса ротор с роторными дисками, образующими со статорными элементами проточную часть, разделенную на ступени при помощи 35 молекулярных уплотнений, выполненных в виде закрепленных на внутренней поверхности корпуса дисков с многозаходными спиральными пазами на поверхностях, обращенных к роторным дискам, причем ста40 торные элементы выполнены в виде спиральных пеоегородок, образующих многозаходные сквозные спиральные каналы, роторные диски, примыкающие к дискам молекулярных уплотнений, имеют в корне45 вой зоне отверстия, а направления спиральных пазов дисков молекулярных уплотнений и спиральных каналов статорных элементов, обращенных к одному роторному диску, совпадают, от л и ч а ю щи50 й с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, спиральные пазы дисков молекулярных уплотнений со стороны всасывания снабжены перемычками.
2. Насос по п.1, отл ичающийся

55 тем, что число заходов спиральных пазов дисков молекулярных уплотнений не превышает числа заходов спиральных каналов статорных элементов.
3. Насос по п.1,отл ичаю щийся тем, что глубина пазов дисков молекуляр ных уплотнений определяется из выражения h₂<h^, где h₂ - глубина пазов дисков молекулярных уплотнений;

ί hi-высота. спиральных перегородок статорных элементов;

п₂ - число заходов пазов дисков молекулярных уплотнений;
5 οι - число заходов спиральных каналов статорных элементов.