SU1677512A1 - Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  высокоточного измерени  угловых перемещений различных объектов. Целью изобретени   вл етс  расширение диапазона измерени . Устройство содержит лазер 1, коллиматор 2, светоделитель 3, неподвижно установленное двугранное зеркало 4 и оптически св занные двугранные зеркала 5 и 6, фотоприемник 7, щелевую диафрагму 8, линзу 9, приспособление дл  установки зеркал в виде барабана 10, кинематически св занного с вращающимс  валом 11, замкнутой ленты 12, охватывающей барабан 10, направл ющую 15, расположенную между роликами 13 и 14. Двугранные зеркала расположены на замкнутой ленте 12. 2 ил.

Description

Ј

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  высокоточного измерени  угловых перемещений объектов.

На фиг. 1 представлено устройство, общий вид; на фиг. 2 - вид А, на фиг. 1.

Устройство содержит лазер 1, коллиматор 2 и светоделитель 3, двугранное зеркало 4, установленное неподвижно в ходе проход щего светоделитель 3 излучени  и оптически св занные двугранные зеркала 5 и 6. фотоприемник 7, щелевую диафрагму 8, установленную между фотоприемником 7 и светоделителем 3, ориентированную параллельно ребрам двугранных зеркал 5 и 6, линзу 9, расположенную между щелевой диафрагмой 8 и фотоприемником 7, приспособление дл  установки зеркал выполнено в виде барабана 10, кинематически св занного с вращающимс  валом 11, замкнутой ленты 12, охватывающей барабан 10, двух

роликов 13 и 14 и направл ющей 15, расположенной между роликами 13 и 14, двугранные зеркала 5 и 6 расположены на замкнутой ленте 12 таким образом, что их грани расположены равномерно по окружности , центр которой совпадает с осью вращени  барабана 10 и ориентированы так, что биссектрисы двугранных углов направлены в одну сторону вдоль линии, образующей окружность, фотоприемник 7, линза 9 и щелева  диафрагма 8 расположены под заданным углом к направл ющей 15.

Устройство работает следующим образом .

Пучок света от лазера 1 расшир етс  коллиматором 2 и падает на светоделитель 3 и делитс  им на проход щий (опорный) и отраженный (измерительный) пучки. Проход щий пучок идет на неподвижное двугранное зеркало 4 и возвращаетс  им обратно на светоделитель 3, а отраженный направл етOs VI

VI

СЛ

ю

с  светоделителем 3 под заданным углом а к направл ющей 15 и падает на двугранные зеркала, например, 5 и 6, отразившись от них, возвращаетс  снова на светоделитель 3, опорный и измерительный пучки вторично дел тс , интерферируют и проход т на диафрагму 8. образу  интерференционную картину. Угол а наход т по формуле sin а - А/2 д, где А -длина волны излучени ; д- линейное перемещение двугранного зеркале. После частичного прохождени  диафрагмы 8 световой поток концентрируетс  линзой 9 на фотоприемнике 7, При вращении барабана 10 лента 12 и двугранные зеркала 5 и 6 перемещаютс  по кругу и линейно по направл ющей 15 между роликами 13 и 14. Двугранные зеркала 5 и б поочередно пересекают измерительный пучок и создают непрерывный отраженный поток лучей с измен ющейс  разностью хода , вследствие этого инерференционные полосы сканируют щелевую диафрагму 8, а фотоприемник 7 вырабатывает синусоидальный сигнал в неограниченном диапазоне . Угол р поворота барабана 10 вычисл етс  по формуле р А# N , где минимальный угол поворота (углова  цена), соответствующий одной интерференционной полосе; N - число полос, подсчитываемое фотоэлектронной системой (не показана).

0

Claims (1)

1. Формула изобретени  Интерференционное устройство дл  измерени  угловых перемещений объектов, содержащее последовательно расположенные лазер, коллиматор и светоделитель, двугранное зеркало, установленное неподвижно в ходе проход щего светоделитель излучени  и оптически св занные двугранные зеркала, фотоприемник и приспособление дл  установки двугранных зеркал, отличающеес  тем, что, с целью расширени  диапазона измерени , оно снабжено щелевой диафрагмой, установленной между светоделителем и фотоприемником и 5 ориентированной параллельно ребрам двугранных зеркал, и линзой, расположенной между щелевой диафрагмой и фотоприемником , приспособление дл  установки зеркал выполнено в виде барабана, 0 кинематически св занного с вращающимс  валом, замкнутой ленты, охватывающей барабан , двух роликов и направл ющей, расположенной между роликами, двугранные зеркала расположены на замкнутой ленте 5 таким образом, что их ребра расположены равномерно по окружности, центр которой совпадает с осью вращени  барабана и ори- ентировакы так, что биссектрисы двугранных углов направлены в одну сторону светоделител , а фотоприемник, линза и щелева  диафрагма расположены под заданным углом к направл ющей,

   0

   /4

   фиг

   7 6 4

   Вид А

   фиг.2