SU1670392A1

SU1670392A1 - Autocollimation reflector

Info

Publication number: SU1670392A1
Application number: SU894740499A
Authority: SU
Inventors: Михаил Валериевич Соколов
Original assignee: Научно-Исследовательский Институт "Рассвет"
Priority date: 1989-09-25
Filing date: 1989-09-25
Publication date: 1991-08-15

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и позвол ет контролировать профиль направл ющей или соосность отверстий. Цель изобретени - повышение чувствительности устройства к угловым разворотам марки. Излучение от автоколлиматора фокусируют на целевой знак, выполненный в виде радиального растра и расположенного в передней фокальной плоскости объектива 2 на плоской поверхности коллективной линзы 1. Излучение, прошедшее целевой знак с помощью объектива 2 и зеркала 3, расположенного в задней фокальной плоскости объектива, световозвращают и стро т его изображение в плоскости целевого знака. В результате наложени сформированного изображени радиального растра на сам растр образуетс муарова картина, по внешнему виду которой суд т о величине и направлении углового разворота автоколлимационной марки-отражател относительно оси автоколлиматора. 2 ил.The invention relates to a measurement technique and allows control of the profile of the guide or the alignment of the holes. The purpose of the invention is to increase the sensitivity of the device to angular turns of the mark. The radiation from the autocollimator is focused on the target sign, made in the form of a radial raster and located in the front focal plane of the lens 2 on a flat surface of the collective lens 1. The radiation transmitted to the target sign by the lens 2 and the mirror 3 located in the back focal plane of the lens, retroreflect and builds its image in the plane of the target sign. As a result of the imposition of the formed image of the radial raster on the raster itself, a moire pattern is formed, judging by its appearance, the magnitude and direction of the angular rotation of the autocollimation reflector brand relative to the axis of the autocollimator is judged. 2 Il.

Description

Изобретение относитс к измерительной технике, может быть использовано дл контрол профил направл ющей, а также дл контрол соосности отверстий и вл етс усовершенствованием известного устрой- ства по авт. св. М: 528444.The invention relates to measurement technology, can be used to control the profile of a guide, as well as to control the alignment of the holes and is an improvement of the known device according to the author. St. M: 528444.

Целью изобретени вл етс повышение чувствительности марки к ее угловым разворотам.The aim of the invention is to increase the sensitivity of the brand to its angular spreads.

На фиг. 1 приведена схема измерени с использованием автоколлимационной марки; на фиг. 2 - форма целевого знака, выполненного в виде радиального растра.FIG. 1 shows a measurement scheme using an autocollimation brand; in fig. 2 - the shape of the target mark, made in the form of a radial raster.

Марка-отражатель содержит коллективную линзу 1, на плоской поверхности которой выполнен целевой знак в виде радиального растра и полупрозрачного покрыти , объектив 2, плоское зеркало 3, расположенное в задней фокальной плоскости объектива 2, и корпус 4. Целевой знак расположен в пере- дней фокальной плоскости объектива 2. Линза 1, объектив 2 и зеркало 3 закреплены в корпусе 4. На фиг. 1 также показан автоколлиматор 5, работающий совместно с маркой.The reflector brand contains a collective lens 1, on the flat surface of which the target sign is made in the form of a radial raster and a translucent coating, a lens 2, a flat mirror 3 located in the rear focal plane of the lens 2, and the body 4. The target sign is located in the front focal the plane of the lens 2. The lens 1, the lens 2 and the mirror 3 are fixed in the housing 4. In FIG. 1 also shows an autocollimator 5 operating in conjunction with a brand.

Работает устройство следующим обра- Зом.The device works as follows.

Предварительно устанавливают автоколлимационную марку на контролируемый объект (не показан). Визируют зрительную трубу автоколлиматора 5 на целевой знак марки-отражател .Pre-install autocollimation mark on the controlled object (not shown). Sight the telescope autocollimator 5 on the target sign of the brand-reflector.

Часть автоколлимационного пучка, пройд целевой знак объективом 2, трансформируетс в коллимированный пучок, ко- торый, отразившись плоским зеркалом 3 иThe part of the autocollimation beam, passed through the target mark by lens 2, is transformed into a collimated beam, which is reflected by a flat mirror 3 and

пройд в обратном направлении через объектив 2, строитс им в плоскости растра.passing in the opposite direction through lens 2, is constructed by it in the raster plane.

При отсутствии угловых разворотов марки-отражател изображение растра совпадает с самим растром. Наличие углового разворота марки-отражател при контроле линейных смещений объекта (марки-отражател ) приводит к смещению изображени радиального растра относительно самого растра, в результате чего возникает муарова картина, внешний вид которой наблюдают в зрительную трубу автоколлиматора.In the absence of angular turns of the reflector mark, the raster image coincides with the raster itself. The presence of the angular reversal of the reflector mark while monitoring the linear displacements of the object (reflector mark) causes the image of the radial raster to shift relative to the raster itself, resulting in a moire pattern, the appearance of which is observed in the autocollimator telescope.

Угловыми разворотами марки добиваютс устранени муар-картины, после чего провод т измерение линейного смещени марки-отражател , При контроле угловых отклонений объекта перефокусируют зрительную трубу автоколлиматора 5 на бесконечность . Сформированный при этом параллельный пучок отражаетс от полупрозрачного покрыти , нанесенного на плоскую поверхность коллективной линзы. Автоколлиматор строит изображение отраженного пучка и по его смещению относительно марки самого автоколлиматора суд т о величине углового разворота объекта.The angular reversals of the mark achieve the elimination of the moire pattern, after which the measurement of the linear displacement of the reflector mark is carried out. When checking the angular deviations of the object, the telescope of the autocollimator 5 refocuses to infinity. The parallel beam thus formed is reflected from a translucent coating deposited on the flat surface of the collective lens. The autocollimator builds an image of the reflected beam and, by its displacement relative to the brand of the autocollimator itself, judges the magnitude of the angular reversal of the object.

Формирование муаровой картины позвол ет повысить чувствительность устройства к угловым разворотам марки-отражател .The formation of a moire pattern makes it possible to increase the sensitivity of the device to angular turns of the reflector brand.

Claims

The invention formula Autocollimation brand-reflector according to the author. St. No. 528444, characterized in that, in order to increase the sensitivity of the mark to its angular turns, the target sign is made in the form of a radial raster.