SU1667639A3 - Способ рекуперации тепла дымового газа - Google Patents
Способ рекуперации тепла дымового газа Download PDFInfo
- Publication number
- SU1667639A3 SU1667639A3 SU853925750A SU3925750A SU1667639A3 SU 1667639 A3 SU1667639 A3 SU 1667639A3 SU 853925750 A SU853925750 A SU 853925750A SU 3925750 A SU3925750 A SU 3925750A SU 1667639 A3 SU1667639 A3 SU 1667639A3
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- flue gas
- cooling
- gas
- stage
- hydrogen chloride
- Prior art date
Links
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 35
- 239000003546 flue gas Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 23
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 8
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims 1
- 150000004045 organic chlorine compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 4
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 3
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010795 gaseous waste Substances 0.000 description 3
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005660 chlorination reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- HRYZWHHZPQKTII-UHFFFAOYSA-N chloroethane Chemical compound CCCl HRYZWHHZPQKTII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 2
- 229960003750 ethyl chloride Drugs 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002918 waste heat Substances 0.000 description 2
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CYTYCFOTNPOANT-UHFFFAOYSA-N Perchloroethylene Chemical group ClC(Cl)=C(Cl)Cl CYTYCFOTNPOANT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000535 Tan II Polymers 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- NHYCGSASNAIGLD-UHFFFAOYSA-N chlorine monoxide Inorganic materials Cl[O] NHYCGSASNAIGLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000003345 natural gas Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229950011008 tetrachloroethylene Drugs 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/68—Halogens or halogen compounds
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Chimneys And Flues (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к способам рекуперации тепла дымового газа, образующегос при сжигании органических хлористых соединений, и позвол ет сократить потери энергии и снизить коррозию оборудовани . Дл этого дымовой газ при рекуперации тепла и производстве вод ного пара высокого давлени охлаждают в двух следующих одна за другой охлаждающих ступен х и затем в третьей охлаждающей ступени подвергают переработке содержащийс в дымовом газе хлористый водород.
Description
Изобретение касаетс способа рекуперации тепла дымового газа, получаемого при сжигании органических хлористых соединений при 900-1300°С и давлении 0,9-1,5 абс.бар, причем дымовой газ в процессе рекуперации тепла охлаждают, а полученный хлористый водород подвергают переработке.
Цель изобретени - сокращение потерь энергии и снижение коррозии оборудовани .
Способ осуществл ют следующим образом .
Сжигание целесообразно производить при 900-1300°С и давлении 0,9-1,5 абс.бар при избытке кислорода. Часто дл достижени достаточно высокой теплотворной способности смеси сжигают дополнительное топливо. Этим топливом может быть горючий газ, питающий опорное плам .
Покидающий камеру сжигани дымовой газ содержит в качестве важных компонентов хлористый водород, вод ной пар, углекислый газ, кислород, азот и следы хлора и окиси углерода. Его сначала подвергают быстрому охлаждению в первой охлаждающей ступени до 250-350°С при времени контакта 0.05-0,15 с. Этот первый теплообменник может быть, например, сконструирован как котел-утилизатор в виде газотрубного котла, в котором дымовой газ проходит по трубам и охлаждаетс кип щей водой со стороны межтрубного пространства. Вследствие благопри тного температурного градиента между дымовым газом и стенкой трубы этот теплообменник может быть выполнен в виде относительно небольшого, компактного устройства, изготовленного из нелегированной стали.
Затем дымовой газ с 250-350°С направл ют во второй теплообменник. Этот теплообменник выполнен таким образом что по истечении времени контакта продолжительностью 1,3-2,0 с выход щий из второй охлаждающей ступени дымовой газ имеет еще температуру пор дка 140-160°С. ИспользуЁ
О
о JVJ о со
|Ю
со
ема в качестве охлаждающей среды вода протекает по охладителю в противоположном потоку дымового газа направлении; ее подвод т с минимальной температурой 110°С, преимущественно с 120-125°С, а на выходе из охладител ее температура равна 200-220°С. Подогретую таким образом воду подают в первый теплообменник, на выходе из которого она представл ет собой вод ной пар высокого давлени . Тепло, отданное дымовым газом охлаждающей среде в этой охлаждающей ступени, преобразуетс в энергию испарени воды, при этом вод ной пар имеет диапазон давлени 18- 21 абс.бар. Этот вод ной пар может быть в дальнейшем использован любым приемлемым способом, например дл обогрева дис- тилл ционных колонн и т.п.
Вторую охлаждающую ступень выполн ют в соответствии с подлежащими соблюдению параметрами способа. Особенно хорошо зарекомендовали себ котлообразные конструкции, оборудованные сребренными охлаждающими трубами . Дымовой газ проходит через межтрубное пространство охлаждающего устройства, в то врем как охлаждающа среда протекает по выполненным в большинстве случаев в виде охлаждающих змеевиков сребренным трубам.
При соблюдении параметров способа эта охлаждающа ступень может быть сконструирована без специального коррозион- ностойкого оборудовани . Например это устройство может быть выполнено из нелегированной стали.
Затем охлажденный во второй ступени до 140-160°С дымовой газ подзергают в третьей ступени переработке с получением сол ной кислоты. Охлаждение дымового газа до температуры, наход щейс ниже точки росы, осуществл ют непосредственным охлаждением водой или, при необходимости , полученной сол ной ислотой, направл емой по циркул ционному контуру. Эта треть ступень может быть, например, выполнена в виде коррозионностойкого устройства мгновенного охлаждени с подключенным за ним газопромывателем, из которого дымовой газ после интенсивной промывки направл ют в атмосферу.
По предлагаемому способу создаетс возможность утилизировать большее количество тепла дымовых газов, возникающих при сжигании органических хлористых соединений , чем это достигалось прежде. Кроме того, благодар уменьшению обьема дымового газа процессы конденсации и промывки станов тс более эффективными и менее вредными дл окружающей среды.
П р и м е р 1. В камере сжигани при 950°С и давлении 0,965 абс.бар посредством сжигани 450 норм, м /ч природного газа при добавке 9500 норм. м3/ч воздуха с длительностью воздействи 1,03 с было сожжено:
12000 норм. М3/ч газообразных отходов этиленоксихлорировэни ;
400 норм, м /ч газообразных технологи- 0 ческих отходов пр мого хлорировани этилена , дистилл ции и хранени 1.2-дихлорэтана;
300 кг/ч низкокип щих веществ бруттоформулы C1.35H2.3CI23;
5 900 кг/ч высококип щих веществ брут- тоформулы С2.1НзбС1з5;
1500 норм, м /ч хлористого водорода, загр зненного 0,4 моль.% четыреххлори- стого углерода и 100 объемными ррт перх0 лорэтилена.
Состав газообразных отходов этиленоксихлорировани , моль.%: хлористый водород 2, окись углерода 0,5;двуокись углерода 0,7; 1.2-дихлорэтан 0,15; этилхлорид 0.25;
5 этилен 0,05; кислород 20; азота + аргона 94.35.
Состав технологических газообразных отходов пр мого хлорировани этилена, моль.%: хлористый водород 2; 1.2-дихлорэ0 тан 2; этилхлорид 2; винилхлорид 4; кислород 5; этилен 2; азот 83.
Из камеры сжигани вышло24348 норм, м3 дымового газа с температурой 950°С следующего состава, моль.%: хлористый водород
5 9,4; вод ной пар 4,2: двуокись углерода 4,7; кислород 3,0; азот 78,7; 200 объемных ррт хлора, 10 объемных ррт окиси углерода.
Дымовой газ направл ли в котел-угили- затор, где он при длительности воздействи
0 0-15 с охлаждалс до 320°С. Выход щий из котла-утилизатора дымовой газ затем вводили во второй теплообменник, снабженный оребренными охлаждающими змеевиками, где он при времени контакта,
5 равном 1,67 с, охлаждалс до 150°С. Из второго теплообменника дымовой газ попадал в устройство мгновенного охлаждени , где он охлаждалс до температуры точки росы, равной 52°С.
Q Количество дымового газа на выходе из трубы дл отвода газов, расположенной позади газопромывател , составл ло 28300 норм. мэ/ч.
Во второй теплообменник подавали
5 12,3 мэ воды в час с температурой 120°С и давлением 20,5 бар. На выходе из подогревател питательной воды котла температура охлаждающей воды равн лась 213°С. С этой температурой воду при давлении 20 бар накачивали насосом ,в котел-утилизатор. На
выход дл охлаждающей среды котла-утилизатора поступало 12,3 т/ч вод ного пара с давлением 19 бар абс. Все произведенное количество пара направл лось в тепловую сеть завода.
По истечении двухлетнего срока эксплуатации в зоне второго теплообменника не было обнаружено никаких признаков коррозии или загр знени сребренных труб.
П р и м е р 2, Способ работы повторен согласно примеру 1 с той лишь разницей, что между котлом-утилизатором и устройством мгновенного охлаждени не была установлена дополнительна охлаждающа ступень. То же количество дымового газа того же состава было охлаждено в котле-утилизаторе . В котел-утилизатор также подавали охлаждающую воду, однако ее температура равн лась лишь 120°С, так как отсутствовал второй теплообменник.
Производство пара сократилось на 3 т/ч до 9,3 т/с в сравнении со способом работы согласно примеру 1. Кроме того, дымовой газ достигал устройства мгновенного охлаждени с температурой 320°С, где его охлаждали до температуры точки росы, равной 67°С. Вследствие более высокой температуры точки росы испарение воды возросло прибл. на 40,%, благодар чему количество дымового газа на выходе трубы дл отвода газов после промывки возросло до 31500 норм. м3/ч.
П р и м е р 3. Аналогично примеру 1 дымовой газ охлаждаетс на первой ступени охлаждени в течение 0.15 с до 320°С. Вслед, за этим он подаетс во вторую ступень , где охлаждаетс в течение 2,0 с до
0
160°С. Полученное количество пара составило 12,0 т/ч. После работы не наблюдалось коррозии оборудовани .
П р и м е р 4. Поток дымовых газов, согласно примеру 1, охлаждаетс на первой ступени в течение 0,05 с до 300°С. На второй ступени охлаждени поток дымовых газов охлаждалс в течение 1,3 с до 145°С. Полученное количество пара составило 12,4 т/ч. Коррозии оборудовани не наблюдалось.
Claims (1)
- Формула изобретени Способ рекуперации тепла дымового газа , полученного при сжигании органическиххлорных соединений при 900-1300°С и 0,9- 1,5 абс.бар, включающий охлаждение дымового газа с получением хлористого водорода и подачу хлористого водорода на переработку , отличающийс тем, что, с цельюсокращени потерь энергии и снижени коррозии оборудовани , охлаждение дымового газа провод т в три ступени, на первой из которых охлаждают газ до 250-350°С при времени контакта газа с теплообменной поверхностью 0,05-0,15с. на второй - до температуры не ниже 140°С при времени контакта газа с теплообменной поверхностью 1.3-2.0 с, а на третьей ступени - до температуры точки росы, с последующейпромывкой газа после третьей ступени водой с получением хлористого водорода в виде водного раствора, при этом в первых двух ступен х примен ют вод ное противо- точное охлаждение с подачей воды при 110140°С во вторую ступень и затем - при 200-220°С в первую, а треть ступень выполнена коррозионно-стойкой.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19843436139 DE3436139A1 (de) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | Verfahren zur waermerueckgewinnung bei der verbrennung von organischen chlorverbindungen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1667639A3 true SU1667639A3 (ru) | 1991-07-30 |
Family
ID=6246911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU853925750A SU1667639A3 (ru) | 1984-10-02 | 1985-07-04 | Способ рекуперации тепла дымового газа |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4606742A (ru) |
| EP (1) | EP0177013B1 (ru) |
| JP (1) | JPS6190725A (ru) |
| DE (2) | DE3436139A1 (ru) |
| SU (1) | SU1667639A3 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2610355C1 (ru) * | 2015-09-25 | 2017-02-09 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тверской государственный технический университет" | Утилизатор теплоты и конденсата дымовых газов ТЭЦ |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3616333C1 (de) * | 1986-05-15 | 1987-04-16 | Krantz H Gmbh & Co | Verfahren zum thermischen Reinigen der Abgase einer Waermebehandlungsvorrichtung |
| ES2042115T5 (es) * | 1989-04-17 | 1996-03-01 | Krc Umwelttechnik Gmbh | Procedimiento para la depuracion de gas de escape con alto contenido de cloruro. |
| AT392912B (de) * | 1989-12-27 | 1991-07-10 | Waagner Biro Ag | Verfahren zur verhinderung der bildung von organischen schadstoffen, wie dioxin und/oder furan |
| JP2694631B2 (ja) * | 1994-02-03 | 1997-12-24 | 株式会社タステム | 高温排ガス強制急速冷却装置 |
| DE4406967A1 (de) * | 1994-03-03 | 1995-09-28 | Erno Raumfahrttechnik Gmbh | Verfahren zur Vernichtung von Schadstoffen |
| DE102007018014A1 (de) * | 2007-04-17 | 2008-10-23 | Bayer Materialscience Ag | Wärmeintegration in einem Deacon-Prozess |
| CN102418103B (zh) * | 2011-12-13 | 2013-06-05 | 长沙市中蓝清洗技术有限公司 | 用于锅炉清洗的药剂 |
| CN105525071B (zh) * | 2016-01-30 | 2020-03-06 | 青岛海德锻造有限公司 | 余热充分利用的淬火炉 |
| CN109099453B (zh) * | 2018-09-29 | 2024-06-04 | 何秀锦 | 一种消除脱硫烟羽系统及其控制方法 |
| JP7401998B2 (ja) * | 2019-09-11 | 2023-12-20 | 東レ株式会社 | 芳香族ハロゲン化物の製造方法及び製造設備 |
| CN112675668A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-04-20 | 江苏爱姆欧光电材料有限公司 | 一种烷基金属生产过程中氯乙烷的回收吸收系统及方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2490454A (en) * | 1946-06-20 | 1949-12-06 | Du Pont | Process for the recovery of hydrogen chloride from off-gas |
| NL68945C (ru) * | 1946-11-04 | |||
| US2675890A (en) * | 1949-01-25 | 1954-04-20 | Schweizerhall Saeurefab | Process for separating chlorides from gaseous mixtures thereof |
| US2675889A (en) * | 1949-04-01 | 1954-04-20 | Schweizerhall Saeurefab | Method for processing crude gases obtained on halogenating metallic ores |
| IT951600B (it) * | 1971-11-17 | 1973-07-10 | Sir Soc Italiana Resine Spa | Miglioramenti relativi alla prepa razione di soluzioni acquose di acido cloridrico |
| DE2634959C2 (de) * | 1976-08-04 | 1984-09-20 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Verfahren zur Gewinnung von Salzsäure durch Entfernung von Chlorwasserstoff aus Verbrennungsgasen |
| US4227647A (en) * | 1977-05-25 | 1980-10-14 | Leif Eriksson | Device for cooling chimney gases |
-
1984
- 1984-10-02 DE DE19843436139 patent/DE3436139A1/de not_active Withdrawn
-
1985
- 1985-06-10 US US06/743,161 patent/US4606742A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-07-04 SU SU853925750A patent/SU1667639A3/ru active
- 1985-10-01 DE DE8585112395T patent/DE3575081D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-10-01 EP EP85112395A patent/EP0177013B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-10-02 JP JP60218179A patent/JPS6190725A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2610355C1 (ru) * | 2015-09-25 | 2017-02-09 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тверской государственный технический университет" | Утилизатор теплоты и конденсата дымовых газов ТЭЦ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0177013A2 (de) | 1986-04-09 |
| DE3436139A1 (de) | 1986-04-10 |
| DE3575081D1 (de) | 1990-02-08 |
| JPS6260134B2 (ru) | 1987-12-15 |
| EP0177013B1 (de) | 1990-01-03 |
| US4606742A (en) | 1986-08-19 |
| JPS6190725A (ja) | 1986-05-08 |
| EP0177013A3 (en) | 1988-01-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU1667639A3 (ru) | Способ рекуперации тепла дымового газа | |
| CA1091185A (en) | Process and apparatus for purifying waste waters | |
| GB2234984B (en) | Improvements in the production of power from fuel | |
| MY124698A (en) | Fluorine abatement using steam injection in oxidation treatment of semiconductor manufacturing effluent gases | |
| ATE164093T1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur rückgewinnung von dampf | |
| ES443500A1 (es) | Un dispositivo intercambiador de calor para enfriar gases calientes. | |
| JP2003530987A (ja) | フッ素ガスを含む半導体製造排出物を削減するための装置および方法 | |
| RU2001105617A (ru) | Способ производства синтез-газа, применяемого для синтеза бензина, керосина и газойля (варианты) | |
| US4138309A (en) | Multi-stage apparatus for concentrating sulphuric acid | |
| MX2007010368A (es) | Proceso y sistema que emplean generacion de atmosferas controladas de horno, sin el uso de suministros de gas separados o generadores de atmosferas autonomos. | |
| RU93045100A (ru) | Плазмотермический способ переработки угля в синтез-газ | |
| JP2834489B2 (ja) | 有機ハロゲン化合物含有量の少ない塩素不含の塩酸の製造方法 | |
| ATE132316T1 (de) | Verfahren zum stabilen betrieb eines plasmatrons mit wasserdampf als plasmagas | |
| RU2296107C1 (ru) | Установка для опреснения морской воды | |
| JPS5782605A (en) | Method of and apparatus for producing high heat energy by combusting steam at the instant when it is thermally dissociated and vaporized | |
| JP3288751B2 (ja) | 熱回収焼却炉 | |
| KR101937414B1 (ko) | 아산화질소 함유 기체화합물의 고주파 유도 가열 열분해 공정 | |
| JPS5767013A (en) | Producing and recovering method for gaseous co2 | |
| RU2139237C1 (ru) | Способ получения хлористого водорода и топка для его осуществления | |
| JPH05113105A (ja) | 炭酸ガスとイナートガスを製造しながら発電する方法 | |
| EA002895B1 (ru) | Способ получения гидразина гидролизом азина | |
| RU2090769C1 (ru) | Способ преобразования тепловой энергии и углеводородного газообразного топлива в работу и продукты конверсии | |
| JPS57170804A (en) | Recovering method for high purity chlorine | |
| ES8306463A1 (es) | "procedimiento para la preparacion simultanea de acido nitrico altamente concentrado y acido nitrico diluido". | |
| SU1430076A1 (ru) | Аппарат дл тонкой очистки газов |