SU1663407A1 - Полупроводниковый тензорезистор - Google Patents
Полупроводниковый тензорезистор Download PDFInfo
- Publication number
- SU1663407A1 SU1663407A1 SU884389365A SU4389365A SU1663407A1 SU 1663407 A1 SU1663407 A1 SU 1663407A1 SU 884389365 A SU884389365 A SU 884389365A SU 4389365 A SU4389365 A SU 4389365A SU 1663407 A1 SU1663407 A1 SU 1663407A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- strain gauge
- strain
- single crystal
- current
- semiconductor
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 5
- AZFQCTBZOPUVOW-UHFFFAOYSA-N methyl(triphenyl)phosphanium Chemical compound C=1C=CC=CC=1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C)C1=CC=CC=C1 AZFQCTBZOPUVOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 abstract description 2
- KSXHZOTTWSNEHY-UHFFFAOYSA-N 3-[3-(2-cyanoethoxy)-2,2-bis(2-cyanoethoxymethyl)propoxy]propanenitrile Chemical group N#CCCOCC(COCCC#N)(COCCC#N)COCCC#N KSXHZOTTWSNEHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000009533 lab test Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к полупроводниковой тензометрии и может быть использовано дл измерени деформаций в лабораторных исследовани х. Цель изобретени - повышение чувствительности тензорезистора к измер емой деформации - достигаетс таким расположением токовых и потенциальных электродов, при котором питание подаетс на токовые электроды 2, 3 в средней части монокристалла 1 соединени тетрацианхинондиметана и трифенилметилфосфони общей формулы PH3MEP(TCNO)2, а выходной сигнал снимаетс с потенциальных электродов 4 и 5 на торцах монокристалла 1. Нелинейные эффекты в полупроводнике слоистой игольчатой структуры привод т к увеличению тензочувствительности на 10 - 30%. Тензорезистор позвол ет измер ть деформации в диапазоне, расширенном в сторону малых значений деформаций. 1 ил.
Description
Изобретение относится к полупроводниковой тензометрии и может быть использовано для измерения деформаций в лабораторных исследованиях.
Цель изобретения - повышение чувствительности тензорезистора к измеряемой деформации. Цель достигается таким расположением токовых и потенциальных электродов, при котором питание подается на токовые электроды в средней части монокристалла соединения тетрацианхинондиметана и трйфенилметилфосфония общей формулы РЬз MeP(TCNO)2, а выходной сигнал снимается с потенциальных электродов на торцах монокристалла.
На чертеже представлен общий вид полупроводниковый тензорезистор.
Полупроводниковый тензорезистор содержит тензочувствительный элемент 1, выполненный из монокристалла органического полупроводникового материала - соединения тетрацианхинондиметана и трифенилметилфосфония общей формулы Рбз MeP(TCNO)2, два токовых электрода 2 и 3, закрепленных в средней части монокристалла 1, и два потенциальных электрода 4 и 5, закрепленных на торцах монокристалла 1.
Полупроводниковый тензорезистор работает следующим образом.
Перед измерением тензорезистор наклеивают на поверхность исследуемого объекта и соединяют токовые электроды 2 и 3 с источником питания постоянного тока, а потенциальные электроды 4 и 5 - с регистрирующей аппаратурой.
При нагружении исследуемого объекта деформация его поверхности передается на монокристалл 1. Так как полупроводниковый материал тензочувствительного элемента 1 имеет слоистую игольчатую структуру, то при прохождении тока в нем возникают нелинейные эффекты, связанные с выпрямляющим действием р-п-переходов в точках контакта токопроводящих структур. При этом ток течет по более длинному пути, и величина изменения сопротивления изменяется в зависимости от приложенной деформации более сильно, чем при традиционном включении - подаче питания на торцы кристалла и снятии сигнала с электродов в средней части. Чувствительность повышается при этом на 10-30%.
Использование описанного тензорезистора позволяет измерять деформации в более широком диапазоне в области малых деформаций.
Claims (1)
- Формула изобретенияПолупроводниковый тензорезистор, содержащий тензочувствительный элемент, выполненный из монокристалла органического полупроводникового материала - соединения тетрацианхинондиметана и трифенилметилфосфония РЬзМе P(TCNQ)2,' два токовых и два потенциальных электрода, отличающийся тем, что, с целью· повышения чувствительности, два потенциальных электрода установлены на торцах монокристалла, а два токовых - в средней части монокристалла.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884389365A SU1663407A1 (ru) | 1988-03-09 | 1988-03-09 | Полупроводниковый тензорезистор |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884389365A SU1663407A1 (ru) | 1988-03-09 | 1988-03-09 | Полупроводниковый тензорезистор |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1663407A1 true SU1663407A1 (ru) | 1991-07-15 |
Family
ID=21360059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU884389365A SU1663407A1 (ru) | 1988-03-09 | 1988-03-09 | Полупроводниковый тензорезистор |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1663407A1 (ru) |
-
1988
- 1988-03-09 SU SU884389365A patent/SU1663407A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 1419254, кл. G 01 В 7/18, 1987. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0189825A3 (en) | Extension sensor | |
| SU1663407A1 (ru) | Полупроводниковый тензорезистор | |
| US4890084A (en) | Inductance strain gauge | |
| DE4334080C2 (de) | Piezoresistive Sensorstruktur | |
| SU1474488A1 (ru) | Датчик высокого давлени | |
| SU702801A1 (ru) | Оптический тензодатчик | |
| JPH02128155A (ja) | 酸素センサ | |
| SU125915A1 (ru) | Фотодиодный измеритель малых перемещений светового луча | |
| SU879521A1 (ru) | Датчик Холла | |
| SU661357A1 (ru) | Автокомпенсатор | |
| DE4111148A1 (de) | Sensor | |
| SU1488902A1 (ru) | Способ определения флуктуаций переходного сопротивления скользящих контактов | |
| SU853424A1 (ru) | Устройство дл измерени температуры,НАпР жЕННОСТи МАгНиТНОгО пОл и МЕХАНи-чЕСКиХ НАпР жЕНий | |
| SU783573A1 (ru) | Интегральный тензодатчик | |
| SU1613888A1 (ru) | Интегральный преобразователь давлени | |
| SU1408262A1 (ru) | Тензопреобразователь давлени с раздельными цеп ми питани и измерени | |
| SU1379654A1 (ru) | Пьезоэлектрическое устройство дл измерени механических величин | |
| RU2043671C1 (ru) | Полупроводниковый тензорезистор | |
| SU555326A1 (ru) | Емкостный преобразователь | |
| RU1538703C (ru) | Способ определения переходного сопротивления контакта к тонкопленочным резисторам с электродами | |
| SU1157346A1 (ru) | Тензорезисторный датчик | |
| SU1262424A1 (ru) | Устройство дл измерени продольного пьезомодул | |
| SU1486946A1 (ru) | Cпocoб изmepehия moщhoctи и элektpичeckoй эhepгии | |
| SU1250842A1 (ru) | Фольговый датчик дл определени степени накоплени усталостных повреждений | |
| JPS6486536A (en) | Semiconductor device |