SU165904A1

SU165904A1 - ПРИБОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ плоских ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Info

Publication number: SU165904A1
Application number: SU839933A
Authority: SU
Original assignee: Ю. П. Контиевский , Ф. Галеева

Description

Приборы дл контрол плоских оптических поверхностей посредством многолучевой интерференции известны. В них наблюдаетс изменение освещенности в центре интерференционной системы колец.

Предлагаемый прибор отличаетс тем, что, с целью повышени точности контрол путем нзмерени изменени диаметра интерференционных колец, в нем система наблюдени БЫцолнепа по схеме оптического дальномера с комцепсацией, например, оптическим клином.

Прибор дл контрол плоских оптических новерхностей основан на точном измерении углового диаметра внутреннего кольца интерференционной системы колец, образуемых при освещении прот женным источником монохроматического света провер емых поверхностей, покрытых светоделительными сло ми с высоким коэффициентом отражени и установленных параллельно одна другой.

На фиг. 1 изображен один из вариантов оптической схемы предлагаемого прибора; на фиг. 2 - другой вариант оптической схемы прибора.

Свет от прот женного монохроматического источника /, помещенного в фокальную плоскость объектива 2 коллимато-ра, освещает контролируемую и эталонную детали 3, собранные в виде эталона Фабри-Перо с точным промежуточным кольцом 4. В фокальной плоскости объектива 5, совпадающей с диафрагмой 6, образуетс интерференционна система колец . Коллиматор 7 обеспечивает телецентрический ход лучей. Свет от правой и левой частей интерференционной системы колец идет вначале различными пут ми (ромбические призмы 8, измерительные клинь Я объективы 10), затем изображени правой и левой частей интерференционной системы колец при помощи зеркал // и светоделительной пластинки

0 12 совмещаютс в фокальной плоскости окул ра 13. При перемещении диафрагмы 14 изменени в нромежутке между пластинками, вызываемые ощибками изготовлени или не5 параллельиостью пластинок, привод т к расхождению правой и левой частей интер(Ьеренционного кольца. Перемещением одного из измерительных клиньев части внутреннего кольца совмещаютс . По величине перемещени

0 клина определ ют изменение диаметра внутреннего интерференционного кольца и соответствующее ему изменение промежутка между провер емыми пластинками.

Прибор позвол ет также измер ть изменение интерференциопных колец, использу стереоскопический эффект, при этом противоположные части внутреннего интерференционного кольца изображаютс в плоскости сеток 15. Сетки имеют вид узкого пр моугольного окошка со щтрихом в центре и могут перемещатьс вдоль длинной стороны окошка, причем величина перемещени отсчитываетс пи микрометренному винту. При наблюдении через окул ры 16 в поле зрени в окошках сеток видны противоположные части внутреннего интерференционного кольца. Совмещение штриха сеток и интерференционного кольца по глубине при наблюдении через окул ры осуществл е-1с перемещением сеток.

Предмет изобретени

Прибор дл контрол плоских оптических поверхностей посредством многолучевой интерференции , отличающийс тем, что, с целью повышени точности контрол лутем измерени диаметра интерференционных колец, в нем система наблюдени выполнена по схеме оптического дальномера с компенсацией, например , оптическим клином.

/

Фиг.1

/5х П1

Фиг 2