SU149228A1 - Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер - Google Patents

Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер

Info

Publication number
SU149228A1
SU149228A1 SU667076A SU667076A SU149228A1 SU 149228 A1 SU149228 A1 SU 149228A1 SU 667076 A SU667076 A SU 667076A SU 667076 A SU667076 A SU 667076A SU 149228 A1 SU149228 A1 SU 149228A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
interferometer
parallel end
end measures
testing plane
measures
Prior art date
Application number
SU667076A
Other languages
English (en)
Inventor
В.П. Голубкова
В.П. Коронкевич
Е.И. Финкельштейн
Original Assignee
В.П. Голубкова
В.П. Коронкевич
Е.И. Финкельштейн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by В.П. Голубкова, В.П. Коронкевич, Е.И. Финкельштейн filed Critical В.П. Голубкова
Priority to SU667076A priority Critical patent/SU149228A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU149228A1 publication Critical patent/SU149228A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

Известны интерферометры дл  проверки плоскопараллельных концевых мер длины бесконтактным способом.
Отличительна  особенность описываемого интерферометра состоит в том, что в нем применен сменный клиновой компенсатор типа ФабриПеро .
Интерферометр такой конструкции дает возможность расширить технологические возможности, т. е. может быть использован как дл  контрол  плоскости и плоскопараллельности, так и дл  относительного измерени  длины концевой меры.
На чертеже изображена оптическа  схема описываемого интерферометра . Измерение интерферометром производитс  сравнительным методом по образцовой мере. Лучи от монохроматического источника / направл ютс  конденсатором 2 через светофильтр 3 на щелевую диафрагму 4, котора  находитс  в фокусе коллиматорной линзы 5.
Пройд  коллиматор, параллельный пучок лучей через полупрозрачное зеркало 6 и стекл нную пластину 7 освещает передние измерительные поверхности образцовой и провер емой мер 8 и 9. Концевые меры наход тс  друг от друга на рассто нии, равном их ширине. Часть светового пучка проходит через этот промежуток и посредством призмы 10 освещает задние измерительные поверхности концевых мер. Плосъости пластины 7 и призмы 10, расположенные против измерительных поверхностей концевых мер, покрыты светоделительным слоем 11 серебра или алюмини .
Лучи, отраженные от передних поверхностей мер и светоделительного сло  пластины, а также задних поверхностей и призмы, интерферируют . Картины интерференционных полос рассматриваютс  через наблюдательную систему, состо щую из объектива 12 и зрительной трубы 13 небольщого увеличени .
SU667076A 1960-05-18 1960-05-18 Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер SU149228A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU667076A SU149228A1 (ru) 1960-05-18 1960-05-18 Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU667076A SU149228A1 (ru) 1960-05-18 1960-05-18 Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU149228A1 true SU149228A1 (ru) 1961-11-30

Family

ID=48304392

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU667076A SU149228A1 (ru) 1960-05-18 1960-05-18 Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU149228A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kimbrough et al. Low-coherence vibration insensitive Fizeau interferometer
US5157458A (en) Polarization interferometer spectrometer
US3090279A (en) Interferometer using a diffraction grating
SU149228A1 (ru) Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер
GB1392395A (en) Stabilization of optical path length differences
US2568589A (en) Apparatus for determining the course of the refractive index of an optically nonhomogeneous medium disposed in a cell, particularly an electrophoresis cell
JPH0789052B2 (ja) 放物面鏡形状検査測定用の位相共役干渉計
GB1190564A (en) Method of and Means for Surface Measurement.
SU136932A1 (ru) Интерферометр
SU1257475A1 (ru) Лазерное интерферометрическое устройство дл определени нелинейности показател преломлени оптических сред
US3776636A (en) Process and apparatus for investigating the coherence of light radiation
US3043182A (en) Interferometer for testing large surfaces
SU364838A1 (ru) Датчик линейного перемещения объекта
SU418717A1 (ru)
SU389397A1 (ru) Многолучевой клиновидный интерферометр
JPS6242327Y2 (ru)
SU207427A1 (ru) Контактный интерферометр уверского для линейных измерений
Matsumoto Measurement of the group refractive index of air by two-wavelength interferometry
GB1106246A (en) Improved "interferometer"
GB1176019A (en) Method of and Apparatus for Measuring Lengths by Optical Interferometry.
SU108695A1 (ru) Апохроматический компенсатор дл интерферометров
Iwata et al. Profile measurement with a phase-shifting common-path polarization interferometer
SU645021A1 (ru) Оптический микрометр нониального совмещени
SU1052856A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени размеров деталей
SU1413417A1 (ru) Микроинтерферометр дл измерени шероховатости поверхности