SU149228A1 - Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер - Google Patents
Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мерInfo
- Publication number
- SU149228A1 SU149228A1 SU667076A SU667076A SU149228A1 SU 149228 A1 SU149228 A1 SU 149228A1 SU 667076 A SU667076 A SU 667076A SU 667076 A SU667076 A SU 667076A SU 149228 A1 SU149228 A1 SU 149228A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- parallel end
- end measures
- testing plane
- measures
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
Известны интерферометры дл проверки плоскопараллельных концевых мер длины бесконтактным способом.
Отличительна особенность описываемого интерферометра состоит в том, что в нем применен сменный клиновой компенсатор типа ФабриПеро .
Интерферометр такой конструкции дает возможность расширить технологические возможности, т. е. может быть использован как дл контрол плоскости и плоскопараллельности, так и дл относительного измерени длины концевой меры.
На чертеже изображена оптическа схема описываемого интерферометра . Измерение интерферометром производитс сравнительным методом по образцовой мере. Лучи от монохроматического источника / направл ютс конденсатором 2 через светофильтр 3 на щелевую диафрагму 4, котора находитс в фокусе коллиматорной линзы 5.
Пройд коллиматор, параллельный пучок лучей через полупрозрачное зеркало 6 и стекл нную пластину 7 освещает передние измерительные поверхности образцовой и провер емой мер 8 и 9. Концевые меры наход тс друг от друга на рассто нии, равном их ширине. Часть светового пучка проходит через этот промежуток и посредством призмы 10 освещает задние измерительные поверхности концевых мер. Плосъости пластины 7 и призмы 10, расположенные против измерительных поверхностей концевых мер, покрыты светоделительным слоем 11 серебра или алюмини .
Лучи, отраженные от передних поверхностей мер и светоделительного сло пластины, а также задних поверхностей и призмы, интерферируют . Картины интерференционных полос рассматриваютс через наблюдательную систему, состо щую из объектива 12 и зрительной трубы 13 небольщого увеличени .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU667076A SU149228A1 (ru) | 1960-05-18 | 1960-05-18 | Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU667076A SU149228A1 (ru) | 1960-05-18 | 1960-05-18 | Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU149228A1 true SU149228A1 (ru) | 1961-11-30 |
Family
ID=48304392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU667076A SU149228A1 (ru) | 1960-05-18 | 1960-05-18 | Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU149228A1 (ru) |
-
1960
- 1960-05-18 SU SU667076A patent/SU149228A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Kimbrough et al. | Low-coherence vibration insensitive Fizeau interferometer | |
US5157458A (en) | Polarization interferometer spectrometer | |
US3090279A (en) | Interferometer using a diffraction grating | |
SU149228A1 (ru) | Интерферометр дл проверки плоскопараллельных концевых мер | |
GB1392395A (en) | Stabilization of optical path length differences | |
US2568589A (en) | Apparatus for determining the course of the refractive index of an optically nonhomogeneous medium disposed in a cell, particularly an electrophoresis cell | |
JPH0789052B2 (ja) | 放物面鏡形状検査測定用の位相共役干渉計 | |
GB1190564A (en) | Method of and Means for Surface Measurement. | |
SU136932A1 (ru) | Интерферометр | |
SU1257475A1 (ru) | Лазерное интерферометрическое устройство дл определени нелинейности показател преломлени оптических сред | |
US3776636A (en) | Process and apparatus for investigating the coherence of light radiation | |
US3043182A (en) | Interferometer for testing large surfaces | |
SU364838A1 (ru) | Датчик линейного перемещения объекта | |
SU418717A1 (ru) | ||
SU389397A1 (ru) | Многолучевой клиновидный интерферометр | |
JPS6242327Y2 (ru) | ||
SU207427A1 (ru) | Контактный интерферометр уверского для линейных измерений | |
Matsumoto | Measurement of the group refractive index of air by two-wavelength interferometry | |
GB1106246A (en) | Improved "interferometer" | |
GB1176019A (en) | Method of and Apparatus for Measuring Lengths by Optical Interferometry. | |
SU108695A1 (ru) | Апохроматический компенсатор дл интерферометров | |
Iwata et al. | Profile measurement with a phase-shifting common-path polarization interferometer | |
SU645021A1 (ru) | Оптический микрометр нониального совмещени | |
SU1052856A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени размеров деталей | |
SU1413417A1 (ru) | Микроинтерферометр дл измерени шероховатости поверхности |