SU1655923A1 - Стекло - Google Patents
Стекло Download PDFInfo
- Publication number
- SU1655923A1 SU1655923A1 SU894695832A SU4695832A SU1655923A1 SU 1655923 A1 SU1655923 A1 SU 1655923A1 SU 894695832 A SU894695832 A SU 894695832A SU 4695832 A SU4695832 A SU 4695832A SU 1655923 A1 SU1655923 A1 SU 1655923A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- glass
- corrosion resistance
- ammonia
- water
- films
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/062—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight
- C03C3/07—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight containing lead
- C03C3/072—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight containing lead containing boron
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к свинцовобо- росиликатным бесщелочным диэлектрическим стеклам и предназначено дл применени в электронной и электротехнической промышленности в качестве материала дл защиты активной части кремниевых полупроводниковых приборов от неблагопри тных внешних воздействий среды. С целью повышени коррозионной устойчивости тонкопленомных стеклопокрытий в воде и водно-аммиачной среде стекло содержит, мас.%: SI02 13,8-23.9; А120з 1,9-9.3; В20з 8,4-23.8; РЬО 33,7-63,0: МдО 0,1- 2,0;SrO 0,2-5,2; ПОз 1.2-8,1; Sn02 4,6-11.0. Коррозионна устойчивость пленок (% потери массы через 1 сут) в Н20 0-3, в 10%-ном растворе аммиака до 30. 2 табл.
Description
Изобретение относитс к составам диэлектрических стекол с низким коэффициентом линейного термического расширени (КЛТР), способных образовывать тонкие пленки на кремнии путем термического испарени в вакууме и предназначено дл применени в электронной и электротехнической промышленности в качестве материала дл защиты активной части кремниевых полупроводниковых приборов (тиристоры, диоды, транзисторы) от неблагопри тных внешних воздействий среды.
Цель изобретени - повышение коррозионной устойчивости тонкопленочных стеклопокрытий в воде и водно-аммиачной среде.
Конкретные составы стекол приведены в табл.1.
В качестве исходных компонентов используют кварцевый песок, оксиды свинца, алюмини , титана, олова, борную кислоту,
карбонаты магни и стронци квалификации х.ч.. о.с.ч..
Исходные компоненты отвешивают в соответствии с заданным составом и смешивают , синтезируют стекла при 1350°С, измельчают их и отсеивают фракцию стекла с размером зерен 90-200 мкм. Полученный порошок стекла используют дл формировани стеклопленок методом термического испарени в вакууме с применением резистивного испарител . При использовании электронно-лучевого испарител из гра- нул та стекла после его повторного расплавлени изготавливают методом отливки стекл нную шайбу, соответствующую форме тигл электронно-лучевого испарител .
Физико-химические свойства стекол приведены в табл. 2.
Существенным преимуществом предлагаемого стекла вл етс высока коррозионна стойкость получаемых тонких степклопленок,
СП
С
о ел ел чэ
hO GO
что обеспечивает надежную защиту р-п-пе- рехода полупроводниковых приборов от неблагопри тного воздействи внешней среды как при технологических операци х изготовлени приборов, св занных с применением воды и водных растворов (фотолитографи ), так и в процессе эксплуатации приборов в атмосферных услови х.
Отсутствие в составе Хггекла оксидов, обладающих способностью к необратимой термической диссоциации в вакууме, или оксидов, обладающих слишком низким давлением паров, обеспечивает формирование тонкопленочных стеклопокрытий на кремнии при термическом испарении стекла в вакууме с сохранением состава исходного материала и, следовательно, с сохранением присущих исходному стеклу электрофизических и термических свойств.
Преимуществом предлагаемого стекла вл етс также отсутствие реиспарени его с подложки при вакуумном напылении тонких пленок. Вследствие хорошей растекае- мости стекол описываемых составов по поверхности кремни формируемые из них стеклопленки обладают пониженными по- ристостью и количеством дефектов поверхности .
Claims (1)
- Формула изобретениСтекло, включающее SiCte, А120з, В20з, PbO, MgO, SrO, отличающеес тем, что, с целью повышени коррозионной устойчивости тонкопленочных стеклопокрытий в воде и водно-аммиачной среде, оно дополнительно содержит SnU2 и ТЮ2 при следующем соотношении компонентов, мас.%: - SI0213,8-23,9А 20з1,9-9,3В20з8,4-23,8РЬО33,7-63,0MgO0,1-2,0SrO0,2-5,2Sn024,6-11,0TI021,2-8,1Таблица 1Таблица 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894695832A SU1655923A1 (ru) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Стекло |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894695832A SU1655923A1 (ru) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Стекло |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1655923A1 true SU1655923A1 (ru) | 1991-06-15 |
Family
ID=21449712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894695832A SU1655923A1 (ru) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | Стекло |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1655923A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2631709C1 (ru) * | 2016-10-31 | 2017-09-26 | Юлия Алексеевна Щепочкина | Стекло |
-
1989
- 1989-05-29 SU SU894695832A patent/SU1655923A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
За вка JP Nk 56-9460, кл. С 03 С 3/30, опублик. 1981. Патент JP № 62-15494, кл. С 03 С 3/108, опублик. 1987. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2631709C1 (ru) * | 2016-10-31 | 2017-09-26 | Юлия Алексеевна Щепочкина | Стекло |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4542105A (en) | Glass composition for covering semiconductor element | |
US3408212A (en) | Low melting oxide glass | |
US3873330A (en) | Bi{hd 2{b O{HD 3 {B and Al{hd 2{b O{HD 3{B containing PbO-ZnO-B{HD 2{B O{HD 3 {B low temperature sealing glass | |
SU1655923A1 (ru) | Стекло | |
US4185139A (en) | Filler for a glass-ceramic material comprising CaF2 granules overcoated with a silicon dioxide film | |
US3752701A (en) | Glass for coating semiconductors, and semiconductor coated therewith | |
US3420683A (en) | Low melting glass | |
CN1430585A (zh) | 玻璃组合物及含有该组合物的玻璃形成材料 | |
US3841883A (en) | Bi{11 O{11 {11 CONTAINING Pbo-Zno-B{11 O{11 {11 LOW TEMPERATURE SEALING GLASS | |
US3535133A (en) | Alkali-free electronic glass and method of manufacture | |
JPH0230641A (ja) | セラミック基板材料 | |
US3674520A (en) | Solder glass for adhering sealing or coating | |
JPH0149653B2 (ru) | ||
US3970464A (en) | Silica-free, alkali metal-free and lead-free sealing glasses | |
CN1210219C (zh) | 铅硼酸盐基质玻璃和含有该基质玻璃的封接玻璃粉 | |
US2466508A (en) | Beryllo-aluminate glass | |
JPS6042246A (ja) | 基板用ガラス | |
US3717441A (en) | Low expansion aluminosilicate glass compositions comprising a pentavalent metal oxide | |
SU1730063A1 (ru) | Стекло дл защитных тонкопленочных покрытий | |
GB1384000A (en) | Electronic switching devices | |
US3551171A (en) | Bao-pbo-sio2 semiconductor encapsulation glass | |
JPS5840845A (ja) | 半導体被覆用ガラス | |
JPS6146421B2 (ru) | ||
JPS55138235A (en) | Manufacture of titanic etching solution and semiconductor device using this etching solution | |
GB1569028A (en) | Solder-glass material filled with a granular filler |