SU1638636A1 - Алексерометр на поверхностных акустических волнах - Google Patents
Алексерометр на поверхностных акустических волнах Download PDFInfo
- Publication number
- SU1638636A1 SU1638636A1 SU884609600A SU4609600A SU1638636A1 SU 1638636 A1 SU1638636 A1 SU 1638636A1 SU 884609600 A SU884609600 A SU 884609600A SU 4609600 A SU4609600 A SU 4609600A SU 1638636 A1 SU1638636 A1 SU 1638636A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- phase
- signal
- surfactant
- photodetector
- console
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
(21)4609600/10
(22)17.10088
(46) 30.03.91. Бюл. fr 12
(71)Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса
(72)В.Ю. Снитко
(53)531.768(088.8)
(56)Патент Франции № 2537726, кл. G 01 Р 15/08, 1982„
Патент Франции У 2528183, кл. G 01 Р 15/08, 1982„
(54)АКСЕЛЕРОМЕТР НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ
(57)Изобретение относитс к низкочастотным линейным акселерометрам пр мого преобразовани . Цель изобретени - повышение точности измерени ускорений,, В процессе измерени чувствительный элемент, несущий на себе оптическую фазовую решетку 15, прогибаетс . Световой поток от источника 5, модулированный по фазе решеткой 15, проходит через свето- прозрачную пьезоэлектрическую пластину 10, по которой распростран етс поверхностна акустическа волна. Фаза сигнала с фотоприемника 9 по отношению к сигналу с генератора 12 зависит от угла между плоскост ми поверхности пластинки 10 и консоли при прогибе последнего под действием измерительных сил. 3 ил.
оэ
GO 00 О
со
О5
Изобретение относитс к технике измерени параметров движени , в частности к низкочастотным акселерометрам пр мого преобразовани на поверхностных акустических волнах.
Цель изобретени - повышение точности измерений.
На фиг. 1 представлена схема предлагаемого акселерометра; на фиг„ 2 - несуща рама с консольным элементом; на фиг. 3 - временные диаграммы, по сн ющие работу акселерометра
Акселерометр на поверхностных акустических волнах (ПАВ) содержит корпус 1, прикрепленную к нему несущую раму 2 с консольным элементом
3,встречно-штыревой преобразователь
4,когерентный источник с плоскопараллельным фронтом излучени - полупроводниковый диодный лазер 5 с линзой 6, фокусирующую линзу 7, диафрагму 8, фотодиод 9, светопрозрачную полированную с обеих сторон пьезоэлектрическую пластинку 10 с поглотител ми ft ПАВ, а также генератор 12
и последовательно соединенные фазометр 13 и блок 14 считывани . Выход генератора 12 параллельно соединен с встречно-штыревым преобразователем 4 ПАВ и вторым входом фазометра 13„ Несуща рама 2 с консольным элементом 3 выполнена из светопрозрач7 ного материала с нанесенной оптической фазовой решеткой 15, представл ющей собой периодическую структуру полос с чередующимс коэффициентом преломлени света с шагом, равным длине ПАВ.
Акселерометр на ПАВ работает следующим образом.
При подаче возбуждающего напр жени от генератора 12 на встречно- штыревой преобразователь 4 в свето- прозрачной полированной с обеих сторон пьезоэлектрической пластинке возбуждаетс ПАВ, котора распростран етс вдоль пьезоэлектрической пластинки, в конце которой поглощаетс поглотителем 11. Одновременно полупроводниковый диодный лазер 5 излучает поток световой волны 1 (фиг„ 3, а), плоский фронт которой формируетс линзой 6 и проходит через светопрозрачную консоль 3 с нан сенной фазовой решеткой 15, где глубина фазовой модул ции равна /4, а шаг равен длине ПАВ Д пав (фиг. 3 б) „ При 3fOM предполагаетс , что
5
0
5
0
5
0
45
50
55
Claims (1)
- распределение фазы в пространстве - посто нное и определ етс профилем решетки. Далее модулированный по фазе световой поток Ф(1) проходит через светопроэрачную полированную с обеих сторон пьезоэлектрическую пластинку 10, по которой распростран етс ПАВ. Момент t 0 показан на фиг,, 3, г„ После этого сфокусированный фокусирующей линзой 7 световой поток, пройд диафрагму 8, ограничивающую паразитное освещение, попадает в фотодетектор 9, в котором, благодар интерференции модулированных фазовой оптической решеткой и ПАВ световых лучей, получаетс сигнал с минимальной амплитудой (фиг, 3, д). Через интервал Т/2, где Т - период ПАВ, ПАВ перемещаетс на рассто ние ft/2, где Д - длина волны ПАВ, и получаетс модулированный по фазе фронт световой волны (фиг. 3, е), после чего образуетс сигнал с максимальной амплитудой (фиг. 3, ж). Так как ПАВ распростран етс непрерывно, интенсивность освещени и амплитуда выходного сигнала фотодетектора из-за интерференции мен ютс периодически с частотой ПАВ (фиг0 3, з). Сигнал с фотодиода 9 (фиг„ 3, з) подаетс на фазометр 13, на второй вход которого поступает сигнал от генератора 12„ Фаза сигнала (фиг. 3, з), сн того с фотодиода 9, по отношению к сигналу генератора 12, зависит от угла между плоскост ми поверхности пьезопластин- ки 10 и консоли 3, При наличии ускорени консоль 3 под действием инерционных сил отклон етс на угол, пропорциональный ускорению, вследствие чего пропорционально измен етс фаза выходного сигнала фотодиода 9, котора измер етс фазометром 13 и фиксируетс блоком 14 считывани . Дл получени максимального сигнала рассто ние L между консолью 3 и поверхностью пьезопластинки 10 выбираетс из услови L п-ft2/А, где А - длина световой волны; п - целое число Формула изобретениАкселерометр на поверхностных акустических волнах, содержащий установленную в корпусе несущую раму с консольным чувствительным элементом и встречно-штыревой преобразователь поверхностных акустических волн, включенный в цепь генератора, о т личающийс тем, что, с целью повышени точности измерени , он снабжен когерентным источником с плоскопараллельным фронтом излучени , установленным в корпусе по одну сторону от консоли чувствительного элемента, светопрозрачной пьезоэлектрической пластинкой с поглотител ми поверхностных акустических волн, установленной в корпусе по другую сторону от чувствительного элемента, последовательно установленными по ходу излучени источника фокусирующейлинзой, диафрагмой и фотоприемником излучени , а также последовательно соединенными фазометром и блоком считывани , при этом встречно-штыревой преобразователь расположен на пьезоэлектрической пластинке с поглотителем , а чувствительный элемент выполнен из светопрозрачного мг триала с нанесенной на нем оптической фазовой решеткой, причем выход генератора подключен к одному из входов фазометра, к другому входу которого подключен выход фотоприемника./5фиг. IаV V V V V U V V 1 VФарЬа решеткаLr jruTi jМЯЛОlfel.фЛ/MflЭtelIIеФШ.Ti t VWW-2 J-- №) Г«ЗДФ(1ш)ДWWЖ(ФМЈ1lfel.е14
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884609600A SU1638636A1 (ru) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | Алексерометр на поверхностных акустических волнах |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884609600A SU1638636A1 (ru) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | Алексерометр на поверхностных акустических волнах |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1638636A1 true SU1638636A1 (ru) | 1991-03-30 |
Family
ID=21411220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884609600A SU1638636A1 (ru) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | Алексерометр на поверхностных акустических волнах |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1638636A1 (ru) |
-
1988
- 1988-10-17 SU SU884609600A patent/SU1638636A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101608944B (zh) | 一种光纤振动传感头及其制作方法 | |
JP2005508095A (ja) | Vcselを用いて刺激を測定する方法及び装置 | |
KR100486937B1 (ko) | 광섬유에 의해 구현된 패브리 페로 공진기와 이를 이용한 원자간력 현미경에서의 외팔보 탐침의 변위 측정 및 보정시스템 | |
SU1638636A1 (ru) | Алексерометр на поверхностных акустических волнах | |
EP0134487A2 (en) | Coherent radiation detecting apparatus | |
EP0672897A2 (en) | Vibrating element transducer | |
US4947038A (en) | Process and arrangement for optically measuring a physical quantity | |
SU1638580A1 (ru) | Устройство дл измерени акустического давлени | |
SU1753271A1 (ru) | Способ определени параметров вибрации | |
KR100588532B1 (ko) | 반사형 광검지기를 이용한 초음파 측정장치 | |
SU911168A1 (ru) | Оптический виброметр | |
JP2915636B2 (ja) | 変位測定装置 | |
JPH0215808B2 (ru) | ||
SU1044171A2 (ru) | Устройство дл измерени угловой скорости | |
SU1245884A1 (ru) | Устройство дл измерени геометрических параметров | |
SU1413422A1 (ru) | Акустооптическое устройство дл измерени перемещений | |
SU1486779A1 (ru) | Волоконно-оптическое устройство для измерения параметров движения ' объектов | |
SU679789A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений | |
SU695307A1 (ru) | Мессбауэровский спектрометр с лазерным интерферометром дл абсолютного измерени скорости относительного перемещени | |
SU1201688A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров механических колебаний | |
SU1675662A1 (ru) | Оптико-электронный датчик угла поворота | |
GB2055193A (en) | Measuring optical interference | |
SU1163274A1 (ru) | Акселерометр | |
SU1643971A1 (ru) | Юстировочное устройство | |
SU287355A1 (ru) | Оптико-акустический датчик оптической следящейсистемы |