SU1630465A1 - Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени - Google Patents

Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени Download PDF

Info

Publication number
SU1630465A1
SU1630465A1 SU884618059A SU4618059A SU1630465A1 SU 1630465 A1 SU1630465 A1 SU 1630465A1 SU 884618059 A SU884618059 A SU 884618059A SU 4618059 A SU4618059 A SU 4618059A SU 1630465 A1 SU1630465 A1 SU 1630465A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
divergence
laser beam
angular
measuring
plane
Prior art date
Application number
SU884618059A
Other languages
English (en)
Inventor
Я.Г. Соскинд
К.Ю. Саар
Э.А. Урбаник
Original Assignee
Специальное Конструкторское Бюро Ан Эсср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Специальное Конструкторское Бюро Ан Эсср filed Critical Специальное Конструкторское Бюро Ан Эсср
Priority to SU884618059A priority Critical patent/SU1630465A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1630465A1 publication Critical patent/SU1630465A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, Цель изобретени  - расширение измер емых значений расходимости и повышение точности измерений. Сущность изобретени  в том, что измер ют диаметр сфокусированного пучка в зоне дифракции Фраунгофера, дополнительно преобразуют пучок в дискретный спектр угловых частот и измер ют угловое и линейное рассто ни  в плоскости регистрации между двум  угловыми частотами По резулыатам измерений суд т о значении расходимости Изобретение позвол ет согласовать значениеэперту- ры регистрирующего устройства с размерами сфокусированного пучка. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерений расходимости лазерного излучени .
Цель изобретени  - расширение диапазона измер емых значений расходимости и повышение точности измерений
На чертеже схематически изображено устройство дл  измерени  расходимости.
Оно содерх ит установленные на общей оптической оси лазер 1, интерферометр 2 Фабри-Перо.фокусирующую оптическую систему 3 и регистратор 4.
Способ реализуетс  следующим образом .
Излучение лазера 1 подают на интерферометр 2, где оно преобразуетс  в излучение с дискретным спектром угловых частот. Фокусирующа  система 3 в плоскости приемного элемента регистратора 4 формирует изображение этого спектра,
Из известных параметров интерферометра 2 Фабри-Перо или путем непосредст- ,
венного измерени  определ ют угловое рассто ние р между двум  выбранными частотами углового спектра а в плоскости регистрации с помощью регистратора 4 измер ют линейное рассто ние между максимумами, соответствующими этим двум частотам Поскольку услови  дл  дифракции Фраунгофера выполн ютс  не только о фок льной плоскости Фокусирующей системы 3. а в некоторой области вдоль оптической оси, то регистратор 4 устанавливают в этой области так, чтобы рассто ние I между двум  выбранными частотами разрешалось с наибольшей точностью
Затем удал ют интерферометр 2 Фабри-Перо и с помощью регистратора ,4 измер ют диаметр d пучка после прохождени  фокусирующей системы 3. Из соотношени 
0 4определ ют значение в расходимости.
Возможность выбора положени  регистратора 4 на оптической оси позвол ет из«ге&
noj)
менчть мэсииаб как оптического изображени  углето о спектра, так и исходного пучка, что обеспечивает при заданной апертуре приемного Ълемента регистратора 4, расширение диапазона измер емых значений расходимости. Это исключает также погрешность измерений, обусловленную несовпадением плоскости приемного элемента регистратора А с фокальной плоскостью фокусирующей системы 3.

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Способ измерени  расходимости пучка лазерного излучени , включающий пропускание пучка лазерного излучени  через фо- кусирующую оптическую систему, измерение поперечного размера d пучка в плоскости регистрации, установленной за
    0
    5
    фокусирующей системой, и определение значени  расходимости по результатам измерений , отличающийс  тем, что, с целью расширени  диапазона измер емых значений расходимости и повышени  точности измерений, дополнительно преобр - зуют лазерное излучение в излучение - дискретным спектром угловых частот, определ ют линейное рассто ние I в плоскости регистрации и угловое рассто ние ip между двум  частотами углового спектра, при этом положение плоскости регистрации на оптической оси выбирают в пределах зоны диф ракции Фраунгофера, а о значение расходимости Осуд т из соотношени .
    .
SU884618059A 1988-10-10 1988-10-10 Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени SU1630465A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884618059A SU1630465A1 (ru) 1988-10-10 1988-10-10 Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884618059A SU1630465A1 (ru) 1988-10-10 1988-10-10 Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1630465A1 true SU1630465A1 (ru) 1992-06-23

Family

ID=21414189

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884618059A SU1630465A1 (ru) 1988-10-10 1988-10-10 Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1630465A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 186563. кл. ПОЗ В 3/00. 1966. ВысокосооЕП идр Методы измерени расходимости излучени оптических квантовых генераторов - Измерительна техни- , ка, 1978.ГФ5, с 32 ( СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РАСХОДИМОСТИ - ПУСКА ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2732849B2 (ja) 干渉測長器
US4655597A (en) Micro-displacement measuring apparatus using a semiconductor laser
UST102104I4 (en) Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices
SU1630465A1 (ru) Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени
JPS606293A (ja) 光線の焦点を対象物に合せる方法および装置
ATE187245T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung einer verschiebung
JPH0242403B2 (ru)
JP3491464B2 (ja) レーザビーム拡がり角測定装置
JPS5856094B2 (ja) 微小振動測定装置
SU861936A1 (ru) Способ измерени поперечных размеров и глубины щели в объектах
JPS61223604A (ja) ギヤツプ測定装置
JPS60211306A (ja) 縞走査シエアリング干渉測定装置における光学系調整方法
RU2038628C1 (ru) Способ фазирования многоапертурной оптической системы
SU1413415A1 (ru) Способ определени диаметра отверстий
RU2042961C1 (ru) Способ фазирования многоапертурной оптической системы
KR100296008B1 (ko) 레이저를이용한합금강의성분함량측정방법
SU383139A1 (ru) УСТРОЙСТВО дл ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДИАГРАММЫ |ЙАЯНИШ-ТЕХИИ^йС^Ш НАПРАВЛЕННОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО | БКБЛИОТ&КД. КВАНТОВОГО ГЕНЕРАТОРА
RU2042966C1 (ru) Способ фазирования многоапертурной системы
SU1320657A1 (ru) Створофиксатор
SU1531690A1 (ru) Способ измерени длины волны излучени и измеритель дл его осуществлени
JP2996020B2 (ja) 赤外線mtf測定装置
RU1772634C (ru) Способ измерени амплитуды колебаний
SU1383128A1 (ru) Способ определени положени фокальной плоскости оптической системы
SU1247776A1 (ru) Способ оптического спектрального анализа двумерных сигналов
JPS59210304A (ja) 変位測定装置