SU1630465A1 - Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени - Google Patents
Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1630465A1 SU1630465A1 SU884618059A SU4618059A SU1630465A1 SU 1630465 A1 SU1630465 A1 SU 1630465A1 SU 884618059 A SU884618059 A SU 884618059A SU 4618059 A SU4618059 A SU 4618059A SU 1630465 A1 SU1630465 A1 SU 1630465A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- divergence
- laser beam
- angular
- measuring
- plane
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, Цель изобретени - расширение измер емых значений расходимости и повышение точности измерений. Сущность изобретени в том, что измер ют диаметр сфокусированного пучка в зоне дифракции Фраунгофера, дополнительно преобразуют пучок в дискретный спектр угловых частот и измер ют угловое и линейное рассто ни в плоскости регистрации между двум угловыми частотами По резулыатам измерений суд т о значении расходимости Изобретение позвол ет согласовать значениеэперту- ры регистрирующего устройства с размерами сфокусированного пучка. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерений расходимости лазерного излучени .
Цель изобретени - расширение диапазона измер емых значений расходимости и повышение точности измерений
На чертеже схематически изображено устройство дл измерени расходимости.
Оно содерх ит установленные на общей оптической оси лазер 1, интерферометр 2 Фабри-Перо.фокусирующую оптическую систему 3 и регистратор 4.
Способ реализуетс следующим образом .
Излучение лазера 1 подают на интерферометр 2, где оно преобразуетс в излучение с дискретным спектром угловых частот. Фокусирующа система 3 в плоскости приемного элемента регистратора 4 формирует изображение этого спектра,
Из известных параметров интерферометра 2 Фабри-Перо или путем непосредст- ,
венного измерени определ ют угловое рассто ние р между двум выбранными частотами углового спектра а в плоскости регистрации с помощью регистратора 4 измер ют линейное рассто ние между максимумами, соответствующими этим двум частотам Поскольку услови дл дифракции Фраунгофера выполн ютс не только о фок льной плоскости Фокусирующей системы 3. а в некоторой области вдоль оптической оси, то регистратор 4 устанавливают в этой области так, чтобы рассто ние I между двум выбранными частотами разрешалось с наибольшей точностью
Затем удал ют интерферометр 2 Фабри-Перо и с помощью регистратора ,4 измер ют диаметр d пучка после прохождени фокусирующей системы 3. Из соотношени
0 4определ ют значение в расходимости.
Возможность выбора положени регистратора 4 на оптической оси позвол ет из«ге&
noj)
менчть мэсииаб как оптического изображени углето о спектра, так и исходного пучка, что обеспечивает при заданной апертуре приемного Ълемента регистратора 4, расширение диапазона измер емых значений расходимости. Это исключает также погрешность измерений, обусловленную несовпадением плоскости приемного элемента регистратора А с фокальной плоскостью фокусирующей системы 3.
Claims (1)
- Формула изобретени Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени , включающий пропускание пучка лазерного излучени через фо- кусирующую оптическую систему, измерение поперечного размера d пучка в плоскости регистрации, установленной за05фокусирующей системой, и определение значени расходимости по результатам измерений , отличающийс тем, что, с целью расширени диапазона измер емых значений расходимости и повышени точности измерений, дополнительно преобр - зуют лазерное излучение в излучение - дискретным спектром угловых частот, определ ют линейное рассто ние I в плоскости регистрации и угловое рассто ние ip между двум частотами углового спектра, при этом положение плоскости регистрации на оптической оси выбирают в пределах зоны диф ракции Фраунгофера, а о значение расходимости Осуд т из соотношени ..
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884618059A SU1630465A1 (ru) | 1988-10-10 | 1988-10-10 | Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884618059A SU1630465A1 (ru) | 1988-10-10 | 1988-10-10 | Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1630465A1 true SU1630465A1 (ru) | 1992-06-23 |
Family
ID=21414189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884618059A SU1630465A1 (ru) | 1988-10-10 | 1988-10-10 | Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1630465A1 (ru) |
-
1988
- 1988-10-10 SU SU884618059A patent/SU1630465A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 186563. кл. ПОЗ В 3/00. 1966. ВысокосооЕП идр Методы измерени расходимости излучени оптических квантовых генераторов - Измерительна техни- , ка, 1978.ГФ5, с 32 ( СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РАСХОДИМОСТИ - ПУСКА ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2732849B2 (ja) | 干渉測長器 | |
US4655597A (en) | Micro-displacement measuring apparatus using a semiconductor laser | |
UST102104I4 (en) | Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices | |
SU1630465A1 (ru) | Способ измерени расходимости пучка лазерного излучени | |
JPS606293A (ja) | 光線の焦点を対象物に合せる方法および装置 | |
ATE187245T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur messung einer verschiebung | |
JPH0242403B2 (ru) | ||
JP3491464B2 (ja) | レーザビーム拡がり角測定装置 | |
JPS5856094B2 (ja) | 微小振動測定装置 | |
SU861936A1 (ru) | Способ измерени поперечных размеров и глубины щели в объектах | |
JPS61223604A (ja) | ギヤツプ測定装置 | |
JPS60211306A (ja) | 縞走査シエアリング干渉測定装置における光学系調整方法 | |
RU2038628C1 (ru) | Способ фазирования многоапертурной оптической системы | |
SU1413415A1 (ru) | Способ определени диаметра отверстий | |
RU2042961C1 (ru) | Способ фазирования многоапертурной оптической системы | |
KR100296008B1 (ko) | 레이저를이용한합금강의성분함량측정방법 | |
SU383139A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДИАГРАММЫ |ЙАЯНИШ-ТЕХИИ^йС^Ш НАПРАВЛЕННОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО | БКБЛИОТ&КД. КВАНТОВОГО ГЕНЕРАТОРА | |
RU2042966C1 (ru) | Способ фазирования многоапертурной системы | |
SU1320657A1 (ru) | Створофиксатор | |
SU1531690A1 (ru) | Способ измерени длины волны излучени и измеритель дл его осуществлени | |
JP2996020B2 (ja) | 赤外線mtf測定装置 | |
RU1772634C (ru) | Способ измерени амплитуды колебаний | |
SU1383128A1 (ru) | Способ определени положени фокальной плоскости оптической системы | |
SU1247776A1 (ru) | Способ оптического спектрального анализа двумерных сигналов | |
JPS59210304A (ja) | 変位測定装置 |