SU1629763A1 - Способ изготовлени емкостного датчика давлени - Google Patents
Способ изготовлени емкостного датчика давлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1629763A1 SU1629763A1 SU894670299A SU4670299A SU1629763A1 SU 1629763 A1 SU1629763 A1 SU 1629763A1 SU 894670299 A SU894670299 A SU 894670299A SU 4670299 A SU4670299 A SU 4670299A SU 1629763 A1 SU1629763 A1 SU 1629763A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- plate
- conductor
- lead
- edge
- contact pads
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к способам изготовлени емкостных датчикой давлени , предназначенных дл использовани в услови х воздействи высоких температур. Целью изобретени вл етс упрощение технологии изготовлени датчика за счет устранени необходимости сварки и расширени температурного диапазона . Датчик содержит пластину и мембрану, с краевым буртом, на которых размещены электроды с контактными площадкамио При сборке датчика выводные проводники радиально размещают между контактной площадкой мембраны с буртом и пластиной. Причем проводники размещают равномерно по окружности буртао Затем сжимают пластину и мембрану с буртом определенным усилием и скрепл ют между собой. При этом проводники оказываютс прижатыми к контактным площадкам, что исключает необходимость пайки или сварки этих элементов. 2 ил. I (Л
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к способам изготовлени емкостных датчиков давлени , предназначенных дл использовани в услови х воздействи высоких температур„
Цель изобретени - расширение рабочего температурного диапазона датчика в области высоких температур и упрощение технологии изготовлени за счет устранени необходимости сварки
На фиг. 1 представлен фрагмент емкостного датчика давлени , изготовленного предлагаемым способом; на фиг„ 2 - размещение электродов на пластине и упругом элементе.
Способ осуществл ют следующим образом.
До закреплени корпуса 1 и пластины 2 помещают выводные проводники 3 между упругим элементом 4 и пластиной вдоль радиусов упругого элемента под углом 120° друг к другу дл обеспечени равномерно распределенного усили нажати , а следовательно , и одинакового значени контактного сопротивлени в контактном соединении контактна площадка - выводной проводник, а также дл обеспечени равномерного зазора ме ду тонкопленочными электродами.5. Выводные проводники 3 располагают таким образом на контактных площадках 6, что каждый выводной проводник касаетс одной из своих поверхностей контактной площадки, а другой - поверхности диэлектрика 7 дл обеспеО
ГО
со
о со
чени электрической св зи между эле- ме тами схемы. Помещают пластину и .корпус в технологическое приспособление (не показано), центрирующее пластину и упругий элемент, прижимают пластину к упругому элементу усилием, приложенным к центру пла- стины с целью равномерного распределени прикладываемого усили . Величина усили определ етс соотношением
3(ГпЈ. S тр7+
К
тр,
Гт,
где (УПр- предел прочности выводного
проводника;
S - площадь поперечного сечени выводного проводника; коэффициент трени выводного проводника и упругого элемента;
коэффициент трбни выводного проводника и пластины, и скрепл ют пластину с упругим эле- ментом, напримерj сваркой по периферии не менее чем в трех точках, равноудаленных от выводных проводников , дл обеспечени равномерного
К.
15
20
25
Способ изготовлени емкос датчика давлени , заключающи нанесении электродов с конта площадками на мембрану с кра том и пластину, размещении в проводников на контактных пл и креплении краевого бурта к не, от. личающийс что, с целью упрощени техно и расширени температурного на, перед креплением краево к пластине выводные проводни мещают равномерно по краевом и радиально между краевым и пластиной так, чтобы кажд ной проводник касалс лишь из контактных площадок, и п пластину к краевому бурту у F, приложенным к центру пла
зазора между электродами и равномерно 3Q определ емым из соотношени
распределенного контактного усили ,
Выбор суммарного приложенного усили , удерживающего выводной проводник равным усилию его разрыва, позвол ет оптимизировать величину этого усили Если в еличина усили больше усили разрыва, это может привести к неоправданному увеличению усили и в конечном счете к разрыву проводника. Если величина усили , удерживающего выводной проводник за счет сил трени , окажетс недоF
зС
где
Gnp
Ктр,+
ли.
v ктрг
35
Л
40
К.
предел прочности проводника;
площадь поперечно ни выводного про коэффициент трени него проводника и элемента;
коэффициент трени ного проводника и
5
0
5
статочной, то выводной проводник может сместитьс в зазоре между .пластиной и упругим элементом относительно контактной площадки и тем самым не обеспечить электрического соединени в схеме датчика.
Claims (1)
- Формула изобретениСпособ изготовлени емкостного датчика давлени , заключающийс в нанесении электродов с контактными площадками на мембрану с краевым буртом и пластину, размещении выводных проводников на контактных площадках и креплении краевого бурта к пластине , от. личающийс тем, что, с целью упрощени технологии и расширени температурного диапазона , перед креплением краевого бурта к пластине выводные проводники размещают равномерно по краевому бурту и радиально между краевым буртом и пластиной так, чтобы каждый выводной проводник касалс лишь одной из контактных площадок, и прижимают пластину к краевому бурту усилием F, приложенным к центру пластины иFзСгдеGnpКтр,+ли.v ктрг5Л0К.предел прочности выводного проводника;площадь поперечного сечени выводного проводника; коэффициент трени вывод- него проводника и упругого элемента;коэффициент трени выводного проводника и пластины,Фм.1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894670299A SU1629763A1 (ru) | 1989-02-12 | 1989-02-12 | Способ изготовлени емкостного датчика давлени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894670299A SU1629763A1 (ru) | 1989-02-12 | 1989-02-12 | Способ изготовлени емкостного датчика давлени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1629763A1 true SU1629763A1 (ru) | 1991-02-23 |
Family
ID=21437811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894670299A SU1629763A1 (ru) | 1989-02-12 | 1989-02-12 | Способ изготовлени емкостного датчика давлени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1629763A1 (ru) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6505516B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-14 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensing with moving dielectric |
US6516671B2 (en) | 2000-01-06 | 2003-02-11 | Rosemount Inc. | Grain growth of electrical interconnection for microelectromechanical systems (MEMS) |
US6520020B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-02-18 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor |
US6561038B2 (en) | 2000-01-06 | 2003-05-13 | Rosemount Inc. | Sensor with fluid isolation barrier |
-
1989
- 1989-02-12 SU SU894670299A patent/SU1629763A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент US № 4562742, кл. G 01 L 9/12, 1985. * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6505516B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-01-14 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensing with moving dielectric |
US6516671B2 (en) | 2000-01-06 | 2003-02-11 | Rosemount Inc. | Grain growth of electrical interconnection for microelectromechanical systems (MEMS) |
US6520020B1 (en) | 2000-01-06 | 2003-02-18 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor |
US6561038B2 (en) | 2000-01-06 | 2003-05-13 | Rosemount Inc. | Sensor with fluid isolation barrier |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6810746B2 (en) | Sensor arrangement with pressure detector and sensor circuit | |
CA2028115C (en) | Capacitive pressure sensor and method of manufacturing same | |
US4716492A (en) | Pressure sensor with improved capacitive pressure transducer | |
EP0317163B1 (en) | Cylinder pressure sensor for an internal combustion engine | |
US4500864A (en) | Pressure sensor | |
EP0372773A3 (en) | Pressure sensor with flexible printed circuit | |
US3899766A (en) | Pressure transducer | |
JP3193752B2 (ja) | 加速度計デバイス | |
US4658650A (en) | Vibration and acoustic wave detecting device employing a piezoelectric element | |
JP2868562B2 (ja) | 電子トランスデューサを組み立てる方法及び電子トランスデューサ | |
US4092696A (en) | Variable area capacitive pressure transducer with temperature compensation | |
CN1035892A (zh) | 热电式红外探测仪及其制造方法 | |
SU1629763A1 (ru) | Способ изготовлени емкостного датчика давлени | |
US4775850A (en) | Thick-film sensor, particularly a pressure sensor | |
EP0352240B1 (en) | A very-high-pressure transducer, particularly for detecting the pressure of a hydraulic fluid | |
JP2580115B2 (ja) | 圧力検出器 | |
JPH02146757A (ja) | 半導体装置 | |
JPS5853036Y2 (ja) | 誘導加熱調理器 | |
RU2095772C1 (ru) | Датчик давления и способ его изготовления | |
JPH04171949A (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 | |
JPH034546A (ja) | 半導体実装装置 | |
EP0710827A2 (en) | Combustion pressure sensor and fabrication method thereof | |
JP2800463B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3801007B2 (ja) | 重量センサ及びその製造方法 | |
SU1652839A1 (ru) | Емкостный датчик давлени и способ его изготовлени |