SU1629763A1 - Способ изготовлени емкостного датчика давлени - Google Patents

Способ изготовлени емкостного датчика давлени Download PDF

Info

Publication number
SU1629763A1
SU1629763A1 SU894670299A SU4670299A SU1629763A1 SU 1629763 A1 SU1629763 A1 SU 1629763A1 SU 894670299 A SU894670299 A SU 894670299A SU 4670299 A SU4670299 A SU 4670299A SU 1629763 A1 SU1629763 A1 SU 1629763A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
plate
conductor
lead
edge
contact pads
Prior art date
Application number
SU894670299A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Михайлович Белозубов
Юрий Николаевич Ишкатов
Вера Васильевна Соболева
Наталья Михайловна Каневская
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1891
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1891 filed Critical Предприятие П/Я А-1891
Priority to SU894670299A priority Critical patent/SU1629763A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1629763A1 publication Critical patent/SU1629763A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к способам изготовлени  емкостных датчикой давлени , предназначенных дл  использовани  в услови х воздействи  высоких температур. Целью изобретени   вл етс  упрощение технологии изготовлени  датчика за счет устранени  необходимости сварки и расширени  температурного диапазона . Датчик содержит пластину и мембрану, с краевым буртом, на которых размещены электроды с контактными площадкамио При сборке датчика выводные проводники радиально размещают между контактной площадкой мембраны с буртом и пластиной. Причем проводники размещают равномерно по окружности буртао Затем сжимают пластину и мембрану с буртом определенным усилием и скрепл ют между собой. При этом проводники оказываютс  прижатыми к контактным площадкам, что исключает необходимость пайки или сварки этих элементов. 2 ил. I (Л

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к способам изготовлени  емкостных датчиков давлени , предназначенных дл  использовани  в услови х воздействи  высоких температур„
Цель изобретени  - расширение рабочего температурного диапазона датчика в области высоких температур и упрощение технологии изготовлени  за счет устранени  необходимости сварки
На фиг. 1 представлен фрагмент емкостного датчика давлени , изготовленного предлагаемым способом; на фиг„ 2 - размещение электродов на пластине и упругом элементе.
Способ осуществл ют следующим образом.
До закреплени  корпуса 1 и пластины 2 помещают выводные проводники 3 между упругим элементом 4 и пластиной вдоль радиусов упругого элемента под углом 120° друг к другу дл  обеспечени  равномерно распределенного усили  нажати , а следовательно , и одинакового значени  контактного сопротивлени  в контактном соединении контактна  площадка - выводной проводник, а также дл  обеспечени  равномерного зазора ме ду тонкопленочными электродами.5. Выводные проводники 3 располагают таким образом на контактных площадках 6, что каждый выводной проводник касаетс  одной из своих поверхностей контактной площадки, а другой - поверхности диэлектрика 7 дл  обеспеО
ГО
со
о со
чени  электрической св зи между эле- ме тами схемы. Помещают пластину и .корпус в технологическое приспособление (не показано), центрирующее пластину и упругий элемент, прижимают пластину к упругому элементу усилием, приложенным к центру пла- стины с целью равномерного распределени  прикладываемого усили . Величина усили  определ етс  соотношением
3(ГпЈ. S тр7+
К
тр,
Гт,
где (УПр- предел прочности выводного
проводника;
S - площадь поперечного сечени  выводного проводника; коэффициент трени  выводного проводника и упругого элемента;
коэффициент трбни  выводного проводника и пластины, и скрепл ют пластину с упругим эле- ментом, напримерj сваркой по периферии не менее чем в трех точках, равноудаленных от выводных проводников , дл  обеспечени  равномерного
К.
15
20
25
Способ изготовлени  емкос датчика давлени , заключающи нанесении электродов с конта площадками на мембрану с кра том и пластину, размещении в проводников на контактных пл и креплении краевого бурта к не, от. личающийс  что, с целью упрощени  техно и расширени  температурного на, перед креплением краево к пластине выводные проводни мещают равномерно по краевом и радиально между краевым и пластиной так, чтобы кажд ной проводник касалс  лишь из контактных площадок, и п пластину к краевому бурту у F, приложенным к центру пла
зазора между электродами и равномерно 3Q определ емым из соотношени 
распределенного контактного усили ,
Выбор суммарного приложенного усили , удерживающего выводной проводник равным усилию его разрыва, позвол ет оптимизировать величину этого усили  Если в еличина усили  больше усили  разрыва, это может привести к неоправданному увеличению усили  и в конечном счете к разрыву проводника. Если величина усили , удерживающего выводной проводник за счет сил трени , окажетс  недоF
зС
где
Gnp
Ктр,+
ли.
v ктрг
35
Л
40
К.
предел прочности проводника;
площадь поперечно ни  выводного про коэффициент трени него проводника и элемента;
коэффициент трени ного проводника и
5
0
5
статочной, то выводной проводник может сместитьс  в зазоре между .пластиной и упругим элементом относительно контактной площадки и тем самым не обеспечить электрического соединени  в схеме датчика.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ изготовлени  емкостного датчика давлени , заключающийс  в нанесении электродов с контактными площадками на мембрану с краевым буртом и пластину, размещении выводных проводников на контактных площадках и креплении краевого бурта к пластине , от. личающийс  тем, что, с целью упрощени  технологии и расширени  температурного диапазона , перед креплением краевого бурта к пластине выводные проводники размещают равномерно по краевому бурту и радиально между краевым буртом и пластиной так, чтобы каждый выводной проводник касалс  лишь одной из контактных площадок, и прижимают пластину к краевому бурту усилием F, приложенным к центру пластины и
    F
    зС
    где
    Gnp
    Ктр,+
    ли.
    v ктрг
    5
    Л
    0
    К.
    предел прочности выводного проводника;
    площадь поперечного сечени  выводного проводника; коэффициент трени  вывод- него проводника и упругого элемента;
    коэффициент трени  выводного проводника и пластины,
    Фм.1
SU894670299A 1989-02-12 1989-02-12 Способ изготовлени емкостного датчика давлени SU1629763A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894670299A SU1629763A1 (ru) 1989-02-12 1989-02-12 Способ изготовлени емкостного датчика давлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894670299A SU1629763A1 (ru) 1989-02-12 1989-02-12 Способ изготовлени емкостного датчика давлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1629763A1 true SU1629763A1 (ru) 1991-02-23

Family

ID=21437811

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894670299A SU1629763A1 (ru) 1989-02-12 1989-02-12 Способ изготовлени емкостного датчика давлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1629763A1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6505516B1 (en) 2000-01-06 2003-01-14 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensing with moving dielectric
US6516671B2 (en) 2000-01-06 2003-02-11 Rosemount Inc. Grain growth of electrical interconnection for microelectromechanical systems (MEMS)
US6520020B1 (en) 2000-01-06 2003-02-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor
US6561038B2 (en) 2000-01-06 2003-05-13 Rosemount Inc. Sensor with fluid isolation barrier

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент US № 4562742, кл. G 01 L 9/12, 1985. *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6505516B1 (en) 2000-01-06 2003-01-14 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensing with moving dielectric
US6516671B2 (en) 2000-01-06 2003-02-11 Rosemount Inc. Grain growth of electrical interconnection for microelectromechanical systems (MEMS)
US6520020B1 (en) 2000-01-06 2003-02-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor
US6561038B2 (en) 2000-01-06 2003-05-13 Rosemount Inc. Sensor with fluid isolation barrier

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6810746B2 (en) Sensor arrangement with pressure detector and sensor circuit
CA2028115C (en) Capacitive pressure sensor and method of manufacturing same
US4716492A (en) Pressure sensor with improved capacitive pressure transducer
EP0317163B1 (en) Cylinder pressure sensor for an internal combustion engine
US4500864A (en) Pressure sensor
EP0372773A3 (en) Pressure sensor with flexible printed circuit
US3899766A (en) Pressure transducer
JP3193752B2 (ja) 加速度計デバイス
US4658650A (en) Vibration and acoustic wave detecting device employing a piezoelectric element
JP2868562B2 (ja) 電子トランスデューサを組み立てる方法及び電子トランスデューサ
US4092696A (en) Variable area capacitive pressure transducer with temperature compensation
CN1035892A (zh) 热电式红外探测仪及其制造方法
SU1629763A1 (ru) Способ изготовлени емкостного датчика давлени
US4775850A (en) Thick-film sensor, particularly a pressure sensor
EP0352240B1 (en) A very-high-pressure transducer, particularly for detecting the pressure of a hydraulic fluid
JP2580115B2 (ja) 圧力検出器
JPH02146757A (ja) 半導体装置
JPS5853036Y2 (ja) 誘導加熱調理器
RU2095772C1 (ru) Датчик давления и способ его изготовления
JPH04171949A (ja) 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置
JPH034546A (ja) 半導体実装装置
EP0710827A2 (en) Combustion pressure sensor and fabrication method thereof
JP2800463B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP3801007B2 (ja) 重量センサ及びその製造方法
SU1652839A1 (ru) Емкостный датчик давлени и способ его изготовлени