SU1618906A1

SU1618906A1 - Высоковакуумна установка

Info

Publication number: SU1618906A1
Application number: SU884455895A
Authority: SU
Inventors: Эльмас Гумерович Фахрутдинов; Владимир Григорьевич Редкин; Леонид Александрович Котов; Рафаэль Рахимжанович Зиганшин
Original assignee: Предприятие П/Я А-3634
Priority date: 1988-07-07
Filing date: 1988-07-07
Publication date: 1991-01-07

Abstract

Изобретение относитс к вакуумной технике. Цель изобретени - повышение надежности , упрощение конструкции и сокращение энергозатрат. Высоковакуумна установка содержит откачиваемую камеру 1, подключенные к ней форвакуумный 2 и высоковакуумный 3 насосы, высоковакуум/ ный затвор 4 с запорным органом 5 и приводом , размещенные между камерой 1 и высоковакуумным насосом 3. Причем привод затвора 4 выполнен в виде вакуумного цилиндра 6 с поршнем 7, соединенным с запорным органом 5 затвора 4 и раздел ющим цилиндр 6 на две герметичные полости 8 и 9. Цилиндр 6 снабжен нормально открытыми клапанами 10 и 11, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с обьемом камеры 1, а полость 9 - с атмосферой, и нормально закрытыми клапанами 12 и 13, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с атмосферой, а полость 9 - с обьемом камеры 1. Использование изобретени исключает необходимость применени дополнительного оборудовани дл обеспечени привода запорного органа 4. 1 ил.

Description

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в высоковакуумных установках, оснащенных паромасляными вакуумными насосами,

Цель изобретения - повышение надеж- 5 ности, упрощение конструкции и сокращение энергозатрат.

На чертеже схематично изображена высоковакуумная установка.

Высоковакуумная установка содержит 10 откачиваемую камеру 1, подключенные к ней форвакуумный 2 и высоковакуумный 3 насосы, высоковакуумный затвор 4 с запорным органом 5 и приводом, размещенные между камерой 1 и высоковакуумным насо- 15 сом 3, причем привод затвора 4 выполнен в виде вакуумного цилиндра 6 с поршнем 7, соединенным с заг >рным органом 5 затвора 4 и разделяющим цилиндр 6 на две герметичные полости 8 и 9, а цилиндр 6 снабжен 20 нормально открытыми клапанами 10 и 11, сообщающими полость 8 со стороны затвора 4 с объемом камеры 1, а вторую полость 9 - с атмосферой, и нормально закрытыми клапанами 12 и 13, сообщающими полость 8 со 25 стороны затвора 4 с атмосферой, а вторую полость 9 - с объемом камеры 1.

Установка содержит также клапаны 14 и 15, сообщающие форвакуумный насос 2 соответственно с камерой 1 и с выходом 30 высоковакуумного насоса 3.

Установка работает следующим образом.

Камера 1 предварительно откачивается форвакуумным насосом 2 при открытых кла- 35 панах 14, 10 и 11, закрытых клапанах 15, 12 и 13 и затворе 4 и подготовленном к работе высоковакуумном насосе 3. Затем клапаны •14, 10 и 11 последовательно закрываются, а клапаны 15,12 и 13 открываются и дальней- 40 шая откачка ведется последовательно высоковакуумным насосом 3 и форвакуумным ' насосом 2.

Полость 9 сообщается с полостью камеры 1, а полость 8 - с атмосферой. Поршень и связанный с ним запорный орган 5 затвора 4 под разностью давлений в полостях и 9 перемещаются, и открывается впускное отверстие насоса 2.

При выданном отключении электроэнергии клапаны 12 и 13 открываются, а клапаны 10 и 11 открываются и под воздействием разности давлений в полостях 8 и запорный орган 5 затвора 4 перемещается'и закрывает впускное отверстие насоса 2, исключая тем самым выброс рабочей жидкости из высоковакуумного насоса 2 в камеру 1.

Использование уже затраченной энергии, обусловленной технологическим процессом для создания вакуума в камере 1, исключает необходимость применения дополнительных единиц оборудования для обеспечения привода запорного органа 4.

Claims

Формула изобретения

Высоковакуумная установка, содержащая откачиваемую камеру, подключенные к ней форвакуумный и высоковакуумный насосы, высоковакуумный затвор с запорным органом и приводом, размещенные между камерой и высоковакуумным насосом, о тличающаяся тем, что, с целью повышения надежности установки, упрощения конструкции и сокращения энергозатрат, привод затвора выполнен в виде вакуумного цилиндра с поршнем, соединенным с запорным органом и разделяющим цилиндр на две герметичные полости, а цилиндр снабжен нормально открытыми клапанами, сообщающими полость со стороны затвора с объемом камеры, а вторую полость - с атмосферой, и нормально закрытыми клапанами, сообщающими полость со стороны затвора с атмосферой, а вторую полость - с объемом камеры.