SU1583911A1 - Устройство дл лазерной обработки объектов с визуальным контролем на просвет - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к лазерной технике, более конкретно к устройствам дл  визуального контрол  объектов на просвет путем проекции на экран с одновременной лазерной обработкой объектов. Оно может примен тьс  дл  контрол  и обработки прозрачных пленок, фотошаблонов, а также в биологии и в медицине. Цель изобретени  - обеспечение свободного доступа к обрабатываемому объекту за счет увеличени  рассто ни  между объектом и оптическими элементами. Устройство состоит из лазерного усилител  1, первого объектива 2, формирующего изображение объекта 3 на экране 4. Экран 4 установлен в плоскости П 1, оптически сопр женной с плоскостью П относительно объектива 2. С плоскостью П оптически сопр жена плоскость П 11 посредством второго объектива 5. Проход щий через каждую точку объекта пучок практически полностью возвращаетс  в эту же точку с другой стороны. Благодар  двойному прохождению пучка через каждую точку объекта контраст изображени  объекта 3 на экране 4 увеличиваетс . При этом можно одновременно обрабатывать объект, контролирую его визуально. Продукты обработки из-за большого рассто ни  от объекта до оптических деталей не загр зн ют оптику. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к лазерной технике,, более конкретно к оборудованию дл  лазерной обработки и визуального контрол  на просвет с исполь- зованием лазерного усилени  и проекции и может быть использовано дл  контрол  фотошаблонов, пленочных изделий, а также в биологии и в медицине .

Целью изобретени   вл етс  обеспечение свободного доступа к обрабатываемому объекту за счет увеличени  рассто ни  между объектом и оптическими элементами,

На чертеже представлена схема устройства .

Схема содержит лазерный усилитель 1, объектив 2, формирующий изображение объекта 3 обработки на экране 40 Экран 4 установлен в плоскости II оптически сопр женной посредством объектива 2 с плоскостью П, совмещенной с объектом 3. Посредством второго объектива 5 с плоскостью П оптически сопр жена также плоскостью П .

С плоскостью П совмещена вершина отражател  6, выполненного в форме сферического зеркала. В фо-

кальной плоскости объектива 2, проход щей через фокальную точку F, установлена апертурна  диафрагма 7, котора  одновременно  вл етс  выходным зрачком первого объектива 20 Изображение апертурной диафрагмы 8 расположено в фокальной плоскости второго объектива 5, проход щей через точку Р.Это изображение  вл етс  выходным зрачком второго объектива 5. Введением апертурных диафрагм 7 и 8 реализуетс  телецентрический ход лучей со стороны объекта дл  обоих объективов 2 и 50

Центр кривизны отражател  6 (сфери- ческого зеркала) совмещен с центром выходного зрачка 8 второго объектива 5, т.е0 с точкой F,Соблюдение телецентрического хода лучей дл  обоих объективов и выполнение указанных условий дл  отражател  6 обеспечивают одинаковую апертуру дл  всех точек объекта в пределах пол  зрени 0

Устройство работает следующим образом

,

, Излучение лазерного усилител , вы ход щее в сторону объекта 3, попадает на объект 3, После прохождени  через некоторую локальную область

,5 Ю

15

20 25

,Q

,«

дс

35

50

55

объекта 3 освещающее излучение фокусируетс  вторым объективом 5 на поверхности сферического эеркапа 6, отражаетс  от него и после прохождени  объектива 5 в обратном направлении возвращаетс  в исходную локальную область объекта в пределах той же апертуры. Таким образом, без учета потерь и рассеивани  возвращенное излучение проходит в обратном направлении через объект 3 через те же точки, что и при прохождении в пр мом направлении (от объектива 2 через объект 3 к второму объективу 5), Бпаю- дар  двойному прохождению излучени  через каждую локальную область контраст изображени  дл  слабоконтрастных объектов повышаетс  примерно в два раза, что следует из формулы, дающей величину контраста дл  предлагаемого устройства

к - Ј4

т, + т

где Т, ,Т . - коэффициент пропускани  двух областей объекта.

В качестве лазерного усилител  в предлагаемом устройстве может быть использован усилитель на парах меди, работающий с частотой 8 кГц на двух длинах волн Л, 510,6 нм и 578,2 нм0

При проверке прозрачных малоконтрастных объектов, например полиимид- ных пленок с химически протравленными отверсти ми, предлагаемое устройство значительно повышает скорость и надежность нахождени  недотравлен- ных отверстийь Кроме того, увеличив мощность пучка, можно легко доработать отверсти  лазерным n, IKOMO При этом достаточно большое рассто ние от объекта до оптических деталей позвол ет практически исключить их загр знение продуктами выброса, лет щими от объекта при его обработке.

Claims (2)

1. Устройство дл  лазерной обработки объектов с визуальным контролем на просвет, содержащее расположенные последовательно вдоль оптической оси экран, лазерный усилитель, первый объектив и отражатель, между последними из которых расположен объект обработки, отличаю51

щ е е с   тем, что, с целью обеспечени  свободного доступа к обрабатываемому объекту за счет увеличени  рассто ни  между объектом и оптичес - кими элементами, между отражателем и объектом установлен второй объектив, так, что отражатель и объект наход тс  в оптически сопр женных плоскост х относительно второго объек- тмва.

II6

2. Устройство по п„I, отличающеес  тем, что, с целью улучшени  качества изображени , оно снабжено двум  диафрагмами, наход щимис  во внешних по отношению к объекту фокальных плоскост х первого и второго объективов, а отражатель выполнен в форме сферического зеркала с центром кривизны в ближайшем к отражателю фокусе второго объектива,.